CN218421866U - 一种晶棒喷砂加工除尘装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及除尘装置的技术领域，尤其是公开了一种晶棒喷砂加工除尘装置，包括过滤仓、过滤塔、连通于所述过滤仓和过滤塔之间的转接管，所述过滤仓上连通有进气管，所述过滤塔上连通有排气管，所述过滤仓内设有位于所述进气管和所述转接管之间的多个过滤网，所述过滤塔内设有喷淋组件和过滤部，所述过滤部位于所述喷淋组件下方。本申请将排风系统排出的气体和粉尘通过进气管传输至过滤仓，过滤网阻隔部分粉尘，初步过滤粉尘。部分粉尘跟随气体通过转接管进入过滤塔，喷淋组件从外界接入水源喷淋，气体中残留的粉尘经过喷淋融入水中，实现了对粉尘的再过滤，经过二次过滤的气体最后通过排气管排出，减少了对环境的污染。

Description

一种晶棒喷砂加工除尘装置

技术领域

本申请涉及除尘装置的技术领域，尤其涉及一种晶棒喷砂加工除尘装置。

背景技术

喷砂是半导体晶片加工环节中一道必不可少的工序，整个工作过程中高压空气带动金刚砂粉尘形成粉尘流体，粉尘流体通过管口喷出并作用于晶棒表面。由于金刚砂具有较高的硬度，在喷砂的过程中晶棒表面的污染物和氧化层逐渐被去除。

喷砂设备上一般外接有排风系统，喷砂过程中容易产生的粉尘经由排风系统排出，然而，直接排出粉尘会造成环境污染，同时，损害工作人员的身体健康。

实用新型内容

为了能够解决上述技术问题，本申请的技术方案提供了一种晶棒喷砂加工除尘装置。技术方案如下：

本申请提供了一种晶棒喷砂加工除尘装置，包括过滤仓、过滤塔、连通于所述过滤仓和所述过滤塔之间的转接管，所述过滤仓上连通有进气管，所述过滤塔上连通有排气管，所述过滤仓内设有位于所述进气管和所述转接管之间的多个过滤网，所述过滤塔内设有喷淋组件和过滤部，所述过滤部位于所述喷淋组件下方。

通过上述技术方案，排风系统排出的气体和粉尘沿着进气管传输直至进入过滤仓，在过滤仓内时，气体和粉尘依次经过过滤网，过滤网阻隔部分粉尘，实现了对粉尘的初步过滤。部分粉尘跟随气体通过转接管进入过滤塔，喷淋组件从外界接入水源进行喷淋，气体中残留的粉尘经过喷淋融入水中，实现了对粉尘的再过滤，经过二次过滤的气体最后通过排气管排出，减少了对环境的污染。

进一步地，所述喷淋组件包括连接于所述过滤塔内的安装套、插设于所述安装套内的喷淋主管、连通于所述喷淋主管的喷淋分管，所述喷淋分管上设有多个喷淋头。

具体的，还包括水箱，所述水箱与所述安装套之间连通有进水管，所述水箱和所述过滤塔的底部之间连通有出水管，所述进水管和所述出水管上均设有水泵。

特别地，所述过滤仓内设有驱动部，所述驱动部被配置于驱动所述喷淋主管转动。

进一步地，所述驱动部包括连接于所述过滤仓的驱动电机、套设于所述喷淋主管的齿圈，所述驱动电机的输出轴上套设有与所述齿圈相啮合的齿轮。

具体的，所述过滤部为碎石子层。

特别地，所述过滤仓上开设有检修门。

进一步地，所述过滤仓的内壁上固定连接有固定条，所述过滤网的外周连接有过滤框，所述固定条上开有卡接槽，所述过滤框滑动插设在所述卡接槽内。

本申请与现有技术相比所具有的有益效果是：排风系统排出的气体和粉尘沿着进气管传输直至进入过滤仓，在过滤仓内时，气体和粉尘依次经过过滤网，过滤网阻隔部分粉尘，实现了对粉尘的初步过滤。部分粉尘跟随气体通过转接管进入过滤塔，在两个水泵的作用下，水箱内的水依次流经进水管、安装套、喷淋主管和喷淋分管，最终经由喷淋头喷出。此时，气体中残留的粉尘经过喷淋融入水中，实现了对粉尘的再过滤，经过二次过滤的气体最后通过排气管排出，减少了对环境的污染。另外，喷淋后的水通过碎石子层的过滤后，沿着出水管回到水箱，实现了喷淋水的循环利用，减少了资源的浪费。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理，其中：

图1为本申请的整体结构示意图；

图2为本申请中体现过滤仓和过滤塔的剖视图。

附图标记：1、过滤仓；11、维修门；12、固定条；2、过滤塔；21、安装架；22、排气管；3、进气管；4、转接管；5、过滤网；51、过滤框；6、喷淋组件；61、安装套；62、喷淋主管；63、喷淋分管；64、喷淋头；7、过滤部；8、水箱；81、进水管；82、出水管；83、水泵；9、驱动部；91、驱动电机；92、齿圈；93、齿轮；10、承载板。

具体实施方式

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。

喷砂是半导体晶片加工环节中一道必不可少的工序，整个工作过程中高压空气带动金刚砂粉尘形成粉尘流体，粉尘流体通过管口喷出并作用于晶棒表面。由于金刚砂具有较高的硬度，在喷砂的过程中晶棒表面的污染物和氧化层逐渐被去除。

喷砂设备上一般外接有排风系统，喷砂过程中容易产生的粉尘经由排风系统排出，然而，直接排出粉尘会造成环境污染，同时，损害工作人员的身体健康。为了能够解决上述技术问题，本申请的技术方案提供了一种晶棒喷砂加工除尘装置。技术方案如下：

下面根据图1至图2对本申请做进一步详细说明。

如图1所示，本申请提供了半导体晶棒喷砂加工除尘装置，包括过滤仓1和过滤塔2，过滤仓1的顶端连通有进气管3，进气管3被配置于与外界的排风系统相连。过滤仓1的底端连通有转接管4，转接管4远离过滤仓1的端部与过滤塔2的侧壁相连通。

如图1和图2所示，过滤仓1内设有过滤网5和过滤框51，过滤网5嵌设在过滤框51内，且过滤网5与过滤框51一一对应设置。过滤网5呈水平设置且由上至下依次设置有三个。为了便于对过滤网5进行清洗和维修，过滤仓1的侧壁上栓接有维修门11。

如图2所示，另外，过滤仓1相对的两内侧壁上固定连接有水平设置的固定条12。固定条12的侧壁上开有卡接槽，过滤框51滑动插设在卡接槽内，实现了过滤网5和固定条12的可拆卸连接，从而便于对过滤网5进行定期清洗，保证了除尘效果。

如图1所示，过滤塔2内由上至下依次设有喷淋组件6和过滤部7，转接管4与过滤塔2相连的的端部位于喷淋组件6和过滤部7之间。过滤塔2的一侧设有水箱8，水箱8上连通有进水管81和出水管82，进水管81的端部与喷淋组件6相连通，出水管82的端部和过滤塔2的底部连通，进水管81和出水管82上均设有水泵83。

使用时，在两个水泵83的作用下，水箱8内的水通过进水管81进入喷淋组件6，然后经由喷淋组件6喷出，气体中残留的粉尘经过喷淋融入水中，喷淋后的水经过滤部7的过滤后，沿着出水管82回到水箱8，实现了喷淋水的循环利用，减少了资源的浪费。

如图2所示，喷淋组件6包括安装套61、喷淋主管62和喷淋分管63，过滤塔2的内壁上固定连接有安装架21。安装套61固定插设在安装架21上，进水管81远离水箱8的端部固定插设在安装套61内，且安装套61的轴线和过滤塔2的中心线共线。

如图2所示，喷淋主管62的顶端插设在安装套61内且通过轴承与安装套61转动配合，喷淋主管62的底端伸出安装套61。喷淋分管63水平设置，且喷淋分管63的两端封闭。喷淋分管63固定连接于喷淋主管62的底端且与喷淋主管62相连通。喷淋分管63的下表面连接有喷淋头64，喷淋头64朝向过滤塔2的底部设置，且喷淋头64沿着喷淋分管63的轴向等间距设置有多个。

如图2所示，为了提高喷淋组件6在过滤塔2内喷淋的均匀性，过滤塔2内连接有驱动部9，驱动部9驱动喷淋组件6沿着安装套61的轴向转动。本实施例中，驱动部9包括驱动电机91和齿圈92，驱动电机91通过螺栓连接于安装架21且竖向设置。驱动电机91的输出轴上固定套设有齿轮93，齿圈92固定套设在喷淋主管62的周壁上，且齿圈92与齿轮93两者相互啮合。

驱动电机91的输出轴转动，联动齿轮93，齿轮93通过齿圈92带动喷淋主管62转动，从而联动喷淋分管63和喷淋头64，进一步扩大了喷淋头64的喷淋范围。

如图2所示，本实施例中，过滤塔2的内部由上至下依次固定连接有两个承载板10，每个承载板10上均开设有多个透水孔，且承载板10为透水板。过滤部7为碎石子层，且铺设在两个承载板10之间。过滤塔2上还连通有排气管22，排气管22位于承载板10的上方。

本申请的实施原理为：实际使用时，排风系统排出的气体和粉尘沿着进气管3传输直至进入过滤仓1，在过滤仓1内时，气体和粉尘依次经过多个过滤网5，过滤网5阻隔部分粉尘，实现了对粉尘的初步过滤。

部分粉尘跟随气体通过转接管4进入过滤塔2，在两个水泵83的作用下，水箱8内的水依次流经进水管81、安装套61、喷淋主管62和喷淋分管63，最终经由喷淋头64喷出。此时，气体中残留的粉尘经过喷淋融入水中，实现了对粉尘的再过滤，经过二次过滤的气体最后通过排气管22排出，减少了对环境的污染。另外，喷淋后的水通过碎石子层的过滤后，沿着出水管82回到水箱8，实现了喷淋水的循环利用，减少了资源的浪费。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里发明的发明后，将容易想到本申请的其它实施方案。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本申请的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本申请的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本申请并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本申请的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (8)

1.一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，包括过滤仓、过滤塔、连通于所述过滤仓和所述过滤塔之间的转接管，所述过滤仓上连通有进气管，所述过滤塔上连通有排气管，所述过滤仓内设有位于所述进气管和所述转接管之间的多个过滤网，所述过滤塔内设有喷淋组件和过滤部，所述过滤部位于所述喷淋组件下方。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，所述喷淋组件包括连接于所述过滤塔内的安装套、插设于所述安装套内的喷淋主管、连通于所述喷淋主管的喷淋分管，所述喷淋分管上设有多个喷淋头。

3.根据权利要求2所述的一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，还包括水箱，所述水箱与所述安装套之间连通有进水管，所述水箱和所述过滤塔的底部之间连通有出水管，所述进水管和所述出水管上均设有水泵。

4.根据权利要求2所述的一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，所述过滤仓内设有驱动部，所述驱动部被配置于驱动所述喷淋主管转动。

5.根据权利要求4所述的一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，所述驱动部包括连接于所述过滤仓的驱动电机、套设于所述喷淋主管的齿圈，所述驱动电机的输出轴上套设有与所述齿圈相啮合的齿轮。

6.根据权利要求1所述的一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，所述过滤部为碎石子层。

7.根据权利要求1所述的一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，所述过滤仓上开设有检修门。

8.根据权利要求1所述的一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，所述过滤仓的内壁上固定连接有固定条，所述过滤网的外周连接有过滤框，所述固定条上开有卡接槽，所述过滤框滑动插设在所述卡接槽内。

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