CN218397889U - 一种靶材组件取放器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种靶材组件取放器，靶材组件包括背板、靶材本体以及安装于背板上的固定杆，取放器包括本体，本体的两个相对端分别设有夹持部，夹持部用于夹持住固定杆。本实用新型所设计的靶材组件取放器可用于PVD设备上对靶材组件的拆装，利用靶材组件取放器上的夹持部将固定杆夹持住，搬运靶材组件时，双手握住靶材组件取放器的本体进行发力，由于靶材组件取放器的本体远比固定杆的手持部面积大，更容易抓住且手部不易脱力，在实际使用时，一组靶材组件上可安装一对靶材组件取放器，两人各自握住一个靶材组件取放器向上抬起对靶材组件进行拆装，相比于现有技术中仅靠手握固定杆抬起更加稳定，避免了搬运过程中意外掉落造成靶材的损坏。

Description

一种靶材组件取放器

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备，具体涉及一种靶材组件取放器。

背景技术

物理气相沉积（PVD）工艺是半导体制造中常用的一道工序，工艺腔室内设有靶材组件，通过蒸发或溅射方式在基材表面形成一层涂层。而靶材组件中如图1所示，是将靶材本体2固定安装于背板1上，两者通过螺丝固定在一起组合成靶材组件，两者之间为形成密封还设有密封圈3。靶材组件安装于工艺腔室内或从工艺腔室内取出时，都需要借助工具进行搬运，现有技术中主要采用在背板1边缘安装固定杆4，固定杆4顶部设有圆形手持部，手握住固定杆4的手持部作为发力点对靶材组件进行提取。由于靶材本体2比较重，尤其是金、银、镍、钒等材质的靶材重量较大，手持固定杆4从机台上抬起搬下过程中，由于固定杆4的手持部比较圆滑，在提取过程中容易脱力造成靶材组件的意外跌落，也容易造成手腕的损伤，现有的靶材组件搬运工具尚存在一定的改进空间。

实用新型内容

本实用新型公开一种靶材组件取放器，可利用该取放器将安装于背板上的固定杆夹持住，搬运时手持取放器的本体作为发力点，手部不易脱力。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：

一种靶材组件取放器，所述靶材组件包括背板、靶材本体以及安装于背板上的固定杆，所述取放器包括本体，所述本体的两个相对端分别设有夹持部，所述夹持部用于夹持住所述固定杆。

进一步，所述夹持部包括开合机构和锁紧机构，所述开合机构包括贯通本体的嵌合孔，所述嵌合孔采用拼合方式形成，所述锁紧机构用于拼合形成所述嵌合孔后的固定。

进一步，所述开合机构的旁侧设有平行于背板中心轴的铰接轴，所述开合机构的另一相对侧可沿所述铰接轴转动开合，所述锁紧机构包括开设于所述开合机构转动开合侧的槽孔、开设于所述本体上的滑槽以及设置于所述滑槽内的插销，所述滑槽与所述槽孔连通，所述插销可沿所述滑槽滑动并插入所述槽孔内。

进一步，所述开合机构的转动开合侧设有磁吸机构，所述磁吸机构用于将所述开合机构的转动开合侧与所述本体吸附在一起。

进一步，所述磁吸机构采用磁铁。

进一步，所述靶材取放器还包括顶靶螺丝，所述本体的中部开设有能够与所述背板上的水管孔配合对位的螺丝插入孔，所述螺丝插入孔的内壁设置内螺纹，所述顶靶螺丝的外壁上设置有与所述螺丝插入孔的内螺纹对应配合的外螺纹。

进一步，所述顶靶螺丝自上而下包括盘体、螺杆及顶头，所述盘体与所述螺杆的顶部固定连接，所述螺杆的底部与所述顶头可拆卸连接，所述螺杆上设置与所述螺丝插入孔的内螺纹配合的外螺纹，所述顶头的外径小于所述螺丝插入孔的内径。

进一步，所述顶头采用塑料材质制成。

进一步，所述盘体的外周侧设有防滑纹。

进一步，所述盘体的横截面为椭圆形。

本实用新型所设计的靶材组件取放器可用于PVD设备上对靶材组件的拆装，靶材组件中的背板上按现有技术中安装多个固定杆，对靶材组件进行取放时，利用本实用新型的靶材组件取放器上的夹持部将固定杆夹持住，搬运靶材组件时，双手握住靶材组件取放器的本体进行发力，由于靶材组件取放器的本体远比固定杆的手持部面积大，更容易抓住且手部不易脱力，在实际使用时，一组靶材组件上可安装一对本实用新型所公开的靶材组件取放器，两人各自握住一个靶材组件取放器向上抬起对靶材组件进行拆装，相比于现有技术中仅靠手握固定杆抬起更加稳定，避免了搬运过程中意外掉落造成靶材的损坏。

附图说明

图1为现有技术中靶材组件的爆炸图；

图2为实施例中靶材组件取放器的结构示意图；

图3为图2中取放器的夹持部打开状态示意图；

图4为图2中顶靶螺丝的拆分结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

本实施例公开一种靶材组件取放器，即可用于PVD设备中的靶材组件的搬运（从机台上搬下或将装配好的靶材组件搬运至机台上），也可以配合本实施例中的顶靶螺丝7一起使用，以便于将靶材组件中的背板1与靶材本体2进行分离。其中，靶材组件取放器如图2和图3所示，靶材组件取放器包括本体6，本体6的两个相对端分别设有夹持部，夹持部用于夹持住背板1上的固定杆4。

本体6通过夹持部将原本用于抬起靶材组件的固定杆4固定住，以本体6作为手持的受力部位，为更加方便手握住施力，本体6可以选择图2所示的长条形，以充分给两只手提供充足的握住空间，为避免手握打滑，本体6优选为带棱角的多边体，如长方体。

上述给出的夹持部为了方便与固定杆4进行夹持操作，本实施例中将夹持部设计为可开合的结构（如图2虚线框所示部分为合拢后的结构，图3展示的是打开后的结构），即夹持部包括开合机构和锁紧机构，其中，开合机构包括贯通本体6的嵌合孔63，本实施例中的嵌合孔63采用拼合方式形成，即相互拼合的两部分上各自形成半圆形孔，拼合在一起后形成完整的圆形嵌合孔63。而此处的锁紧机构是用于将相互拼合后的两部分进行固定，以令拼合后的嵌合孔63始终保持完整且能很好的夹持住固定杆4。

相互拼合的两部分可以采用两端均分离的结构，即其中一部分的拼合部与本体6连为一体，另一部分的拼合部完全与本体6可拆卸分离，需要拼合时将其两端分别固定即可。考虑到配件的收纳管理方便，本实施例中将拼合部设计成一端铰接，另一端通过锁紧机构固定的方式，即：在开合机构的旁侧设有平行于背板1中心轴的铰接轴65，令相互拼合的两部分最外端通过铰接轴65铰接在一起，而开合机构的另一相对侧则在未锁紧的情况下，可沿铰接轴65转动开合以令嵌合孔63拼合完整或分开。此处的锁紧机构可以采用现有技术中的多种结构来实现，本实施例仅给出其中一种简单易行的结构加以展示。

在本实施例中，锁紧机构包括开设于开合机构转动开合侧的槽孔66、开设于本体6上的滑槽以及设置于滑槽内的插销67，滑槽与槽孔66内部相互连通，插销67的一端可沿滑槽滑动并插入到槽孔66内，以便将能转动开合的拼合部与本体6固定在一起，插销67的另一端可设置滑块64，方便手持滑块64对插销67进行滑动操作。通常情况下，固定杆4的下部和上部均比中部粗，固定杆4的上部作为手持部，本实施例中的嵌合孔63的直径可略大于固定杆4的中部外径，但需小于固定杆4的上部外径，以便可以令固定杆4的上部外露在嵌合孔63顶部，搬运过程中，固定杆4的上部可以起到限位作用，避免固定杆4从嵌合孔63中脱离。按上述给出的结构设置，夹持部与固定杆4并不是完全锁死以至于相互无法移动，当手持本体6向上抬起时，本体6的底部与背板1顶部会出现一定的间隙，方便手指从该间隙处穿过以增加握力。

进一步优化设计，为方便锁紧机构中的插销67快速且准确的插入槽孔66中，本实施例中还在开合机构的转动开合侧设有磁吸机构，该磁吸机构用于将开合机构的转动开合侧与本体6拼合后互相吸附在一起，起到定位作用。磁吸机构可以采用磁铁或磁铁与铁片的配合实现互吸，例如图3所示，在转动开合侧的一端内壁上设置第一磁铁68，在与本体6连为一起的一端外壁上设置第二磁铁69（或将该处设置铁片）。

上述给出的靶材组件取放器能够实现稳定的抬起靶材组件的目的，但考虑到在替换靶材本体2时，需将靶材本体2从背板1上拆下，但由于靶材本体2与背板1之间密封圈3的存在，靶材组件在工艺腔室内经过高温高压等环境，密封圈3会将靶材本体2与背板1紧紧粘连在一起，难以分开，现实生产过程中，需要借助额外的工具插入背板1上的水管孔5中，通过不断敲击工具的顶部施以向下的力，以令背板1与靶材本体2分开。但由于水管孔5处设有塑料或橡胶连接接口，上述现有敲击分离方式容易对水管孔5处的连接接口造成损伤，引起漏水问题，插入水管孔5的工具通常为金属材质，在敲击过程中与靶材本体2表面接触也会造成靶材本体2的损伤，对转换下来的靶材本体2的二次利用也会造成影响。因此，本实施例中的靶材组件取放器还配备有顶靶螺丝7共同使用，还可用于对靶材本体2与背板1的分离。

为配合顶靶螺丝7的使用，上述本体6上开设有贯通的螺丝插入孔62，鉴于现有使用的背板1上的水管孔5沿背板1边缘设置有两个，每个水管孔5的外侧各安装一固定杆4（参考图1所示），因此，本体6上的螺丝插入孔62可间隔设置两个，两个螺丝插入孔62的位置分别对应于两个水管孔5的位置，螺丝插入孔62的直径也与水管孔5的直径相当，以便顶靶螺丝7能够穿过螺丝插入孔62以进入到水管孔5中。由于固定杆4和水管孔5均沿背板1的外圈边缘设置，两者并不在同一直线上，因此，本体6的中部需向一侧延伸形成凸出部61，螺丝插入孔62开设在凸出部61上，确保本体6两端的夹持部将固定杆4夹持后，螺丝插入孔62正对水管孔5。

螺丝插入孔62的内壁设置内螺纹，顶靶螺丝7的外壁上设置有与螺丝插入孔62的内螺纹对应配合的外螺纹，顶靶螺丝7插入螺丝插入孔62中后，通过两者的螺纹配合不断旋转顶靶螺丝7的过程中，顶靶螺丝7的底部与靶材本体2接触并给予向下的推力，最终令靶材本体2与背板1分离。

为避免顶靶螺丝7的底部与靶材本体2接触造成损伤，同时也避免顶靶螺丝7对水管孔5处的塑料或橡胶连接接口造成破坏，本实施例中的顶靶螺丝7的下部采用质软的塑料材质制成，如特氟龙。进一步考虑到顶靶螺丝7在多次使用后的接触磨损更换的方便，本实施例将顶靶螺丝7的上部和下部设计为可拆卸结构，如图4所示，即将顶靶螺丝7自上而下分为盘体71、螺杆72及顶头73，盘体71与螺杆72的顶部固定连接，螺杆72的底部与顶头73可拆卸连接（如采用螺纹连接），顶头73用特氟龙制成，顶头73底部为圆头，避免对靶材本体2造成损伤。顶头73的外表面光滑，且顶头73的外径小于螺丝插入孔62的内径，以确保顶头73比较容易的插入到水管孔5内。螺杆72利用其外螺纹与螺丝插入孔62的内螺纹配合，在不断转动盘体71的过程中向下施力。

进一步，盘体71的形状可选择圆形、多边形等常见形状，但为了方便在转动顶靶螺丝7过程中施力，本实施例中将盘体71的横截面设计为椭圆形，进一步为了避免转动过程中发生手滑，可在盘体71的外周侧设置防滑纹。

采用上述给出的靶材组件取放器用于搬运靶材组件时，可同时使用两个靶材组件取放器，每个靶材组件取放器的两端各自夹持一个固定杆4，双人搬运时每人各自双手握住一个靶材组件取放器的本体6向上抬起即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种靶材组件取放器，所述靶材组件包括背板、靶材本体以及安装于背板上的固定杆，其特征在于：所述取放器包括本体，所述本体的两个相对端分别设有夹持部，所述夹持部用于夹持住所述固定杆。

2.根据权利要求1所述的一种靶材组件取放器，其特征在于：所述夹持部包括开合机构和锁紧机构，所述开合机构包括贯通本体的嵌合孔，所述嵌合孔采用拼合方式形成，所述锁紧机构用于拼合形成所述嵌合孔后的固定。

3.根据权利要求2所述的一种靶材组件取放器，其特征在于：所述开合机构的旁侧设有平行于背板中心轴的铰接轴，所述开合机构的另一相对侧可沿所述铰接轴转动开合，所述锁紧机构包括开设于所述开合机构转动开合侧的槽孔、开设于所述本体上的滑槽以及设置于所述滑槽内的插销，所述滑槽与所述槽孔连通，所述插销可沿所述滑槽滑动并插入所述槽孔内。

4.根据权利要求3所述的一种靶材组件取放器，其特征在于：所述开合机构的转动开合侧设有磁吸机构，所述磁吸机构用于将所述开合机构的转动开合侧与所述本体吸附在一起。

5.根据权利要求4所述的一种靶材组件取放器，其特征在于：所述磁吸机构采用磁铁。

6.根据权利要求1所述的一种靶材组件取放器，其特征在于：所述靶材取放器还包括顶靶螺丝，所述本体的中部开设有能够与所述背板上的水管孔配合对位的螺丝插入孔，所述螺丝插入孔的内壁设置内螺纹，所述顶靶螺丝的外壁上设置有与所述螺丝插入孔的内螺纹对应配合的外螺纹。

7.根据权利要求6所述的一种靶材组件取放器，其特征在于：所述顶靶螺丝自上而下包括盘体、螺杆及顶头，所述盘体与所述螺杆的顶部固定连接，所述螺杆的底部与所述顶头可拆卸连接，所述螺杆上设置与所述螺丝插入孔的内螺纹配合的外螺纹，所述顶头的外径小于所述螺丝插入孔的内径。

8.根据权利要求7所述的一种靶材组件取放器，其特征在于：所述顶头采用塑料材质制成。

9.根据权利要求7所述的一种靶材组件取放器，其特征在于：所述盘体的外周侧设有防滑纹。

10.根据权利要求7所述的一种靶材组件取放器，其特征在于：所述盘体的横截面为椭圆形。

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