CN218395078U - 一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置，包括鼓风机构及出风机构，鼓风机构与出风机构连通，可通过出风机构向晶圆片分拣设备内部送风，出风机构底部开设有竖向出风口，竖向出风口指向出风机构下方，鼓风机构可通过竖向出风口向晶圆片分拣设备送风，出风机构侧部还开设有横向出风口，横向出风口指向出风机构侧方，鼓风机构可通过横向出风口向晶圆片分拣设备送风。该送风装置在出风机构中开设竖向出风口及横向出风口，可在多个方向对晶圆分拣设备内部进行鼓风除尘，减少送风死角，同时在出风机构中安装过滤器，对送风过程进行净化除尘处理，从而提高晶圆分拣设备内部的洁净度，减少对晶圆片表面的损伤，提高晶圆片质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产设备，尤其涉及一种具有多向出风结构的半导体设备送风装置。
背景技术
半导体器件，尤其是高敏感度高密度的集成电路，是易损体质，非常容易受到污染。半导体器件尤其是小尺寸晶片，体积非常小，其微小的表面沉积层非常受尘埃的困扰。因此要保证半导体生产的良品率，必须要有一个优质的半导体环境。半导体器件的生产对生产环境要求很严，个别区域的洁净度要求甚至达到十级的标准。半导体器件涉及数百个制造工序，生产技术非常具有特殊性，其特殊性导致它对生产环境，如温度、湿度，洁净度都有严格要求，这些环境参数关系到晶圆生产的合格率和使用寿命。
晶圆片分拣设备的任务是将芯片生产线上的晶圆通过制程需要进行分批、合并、翻转后进行下一道程序，晶圆必须是在无尘的环境中的，所以要求具有极高的洁净度，同时晶圆在传送过程中不能产生摩擦，从而使晶圆表面出现磨损。此外的难点就是在保证以上条件的情况下，分拣、运送的效度越高越好。晶圆片分拣设备处在无尘室内，同时设备内也有自己的洁净装置，风机滤器单元是一种自带动力、具有过滤功能的模块化末端送风装置，送出的风会在一个相对密闭的空间内，通过整流的出风口对设备内部进行除尘。以往的出风口都是在下方，两侧是个盲区，吹气的表现就会显得不协调，没有被吹到的地方灰尘就会飞舞，不能被带走，就有可能落到晶圆片上。因此，有必要对这种送风装置进行结构优化，以克服上述缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置，以提升晶圆片分拣设备内部的洁净度，提高晶圆片质量。
本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置，包括鼓风机构及出风机构，鼓风机构与出风机构连通，可通过出风机构向晶圆片分拣设备内部送风，出风机构底部开设有竖向出风口，竖向出风口指向出风机构下方，鼓风机构可通过竖向出风口向晶圆片分拣设备送风，出风机构侧部还开设有横向出风口，横向出风口指向出风机构侧方，鼓风机构可通过横向出风口向晶圆片分拣设备送风。
进一步，竖向出风口中安装有竖向整流孔板，由竖向整流孔板对竖向出风口送出的风进行整流，横向出风口中安装有横向整流孔板，由横向整流孔板对横向出风口送出的风进行整流。
进一步，出风机构中安装有高效过滤器或超高效过滤器，由高效过滤器或超高效过滤器对进入出风机构内的风进行过滤。
在本实用新型的一个实施例中，出风机构采用板件围合组成，在其内部形成容纳空间，其顶部与鼓风机构连通。
出风机构通过可拆卸连接结构安装于支撑座板底部，鼓风机构通过可拆卸连接结构安装于支撑座板顶部，支撑座板中开设有贯通开口，鼓风机构与出风机构通过贯通开口连通，支撑座板边缘通过连接件安装于晶圆片分拣设备中，由支撑座板对鼓风机构及出风机构进行支撑。
本实用新型的优点在于：
该送风装置在出风机构中开设竖向出风口及横向出风口，可在多个方向对晶圆分拣设备内部进行鼓风除尘，减少送风死角，将尽量多的尘屑吹离，同时在出风机构中安装过滤器，对送风过程进行净化除尘处理，避免外界尘屑侵入，从而提高晶圆分拣设备内部的洁净度，减少对晶圆片表面的损伤，提高晶圆片质量。
附图说明
图1是本实用新型提出的具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置的结构示意图之一；
图2是送风装置的结构示意图之二。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1、图2所示，本实用新型提出的具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置包括鼓风机构100及出风机构200，鼓风机构与出风机构连通，可通过出风机构向晶圆片分拣设备内部送风，出风机构底部开设有竖向出风口210，竖向出风口指向出风机构下方，鼓风机构可通过竖向出风口向晶圆片分拣设备送风，出风机构侧部还开设有横向出风口220，横向出风口指向出风机构侧方，鼓风机构可通过横向出风口向晶圆片分拣设备送风。
在实施例1中，竖向出风口中安装有竖向整流孔板，由竖向整流孔板对竖向出风口送出的风进行整流，横向出风口中安装有横向整流孔板，由横向整流孔板对横向出风口送出的风进行整流。出风机构中安装有高效过滤器或超高效过滤器，由高效过滤器或超高效过滤器对进入出风机构内的风进行过滤。出风机构通过可拆卸连接结构安装于支撑座板底部，鼓风机构通过可拆卸连接结构安装于支撑座板顶部，支撑座板中开设有贯通开口，鼓风机构与出风机构通过贯通开口连通，支撑座板边缘通过连接件安装于晶圆片分拣设备中，由支撑座板对鼓风机构及出风机构进行支撑。其中，鼓风机构采用现有技术的风机，其进口位于顶部，其出口位于底部，并与贯通开口位置对应。
在实施例2中，竖向出风口中安装有竖向整流孔板，由竖向整流孔板对竖向出风口送出的风进行整流，横向出风口中安装有横向整流孔板，由横向整流孔板对横向出风口送出的风进行整流。竖向整流孔板及横向整流孔板为开设有若干通风孔的板件。
出风机构中安装有高效过滤器或超高效过滤器，由高效过滤器或超高效过滤器对进入出风机构内的风进行过滤。
在本实施例中，出风机构采用板件围合组成，在其内部形成容纳空间，其顶部与鼓风机构连通。
出风机构通过可拆卸连接结构安装于支撑座板底部，鼓风机构通过可拆卸连接结构安装于支撑座板顶部，支撑座板中开设有贯通开口，鼓风机构与出风机构通过贯通开口连通，支撑座板边缘通过连接件安装于晶圆片分拣设备中，由支撑座板对鼓风机构及出风机构进行支撑。
其中，鼓风机构采用现有技术的风机，其进口位于顶部，其出口位于底部，并与贯通开口位置对应。同时，鼓风机构及出风机构均设有一对，各鼓风机构及出风机构位置相互对应。风机从顶部将空气吸入后经高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA)过滤净化，净化后的洁净空气通过横向整流孔板或竖向整流孔板以0.45m/s±20％的风速均匀送出，送出的风会在一个相对密闭的空间内，对设备内部进行除尘，再通过安装于晶圆分拣设备中的排风装置排出。高效过滤器(HEPA)及超高效过滤器(ULPA)为现有技术，其结构不做赘述。
该送风装置在出风机构中开设竖向出风口及横向出风口，可在多个方向对晶圆分拣设备内部进行鼓风除尘，减少送风死角，将尽量多的尘屑吹离，同时在出风机构中安装过滤器，对送风过程进行净化除尘处理，避免外界尘屑侵入，从而提高晶圆分拣设备内部的洁净度，减少对晶圆片表面的损伤，提高晶圆片质量。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
Claims (5)
1.一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置，包括鼓风机构及出风机构，鼓风机构与出风机构连通，其特征在于：
出风机构底部开设有竖向出风口，竖向出风口指向出风机构下方，出风机构侧部还开设有横向出风口，横向出风口指向出风机构侧方。
2.根据权利要求1所述的一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置，其特征在于：
竖向出风口中安装有竖向整流孔板，横向出风口中安装有横向整流孔板。
3.根据权利要求1所述的一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置，其特征在于：
出风机构中安装有高效过滤器或超高效过滤器。
4.根据权利要求1所述的一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置，其特征在于：
出风机构采用板件围合组成，在其内部形成容纳空间，其顶部与鼓风机构连通。
5.根据权利要求1所述的一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置，其特征在于：
出风机构通过可拆卸连接结构安装于支撑座板底部，鼓风机构通过可拆卸连接结构安装于支撑座板顶部，支撑座板中开设有贯通开口，鼓风机构与出风机构通过贯通开口连通，支撑座板边缘通过连接件安装于晶圆片分拣设备中。
Priority Applications (1)
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| CN202222332297.4U CN218395078U (zh) | 2022-09-01 | 2022-09-01 | 一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN218395078U true CN218395078U (zh) | 2023-01-31 |
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Family Applications (1)
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| CN202222332297.4U Active CN218395078U (zh) | 2022-09-01 | 2022-09-01 | 一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置 |
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2022
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