CN218372514U - 一种加热腔 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种加热腔。所述加热腔包括其中从上至下依次设置有上安装板、上加热器、载板载送模块、下加热器以及下安装板的腔体，上安装板、下安装板分别与上加热器、下加热器固定连接，上安装板通过从其穿过的多个上安装杆固定在腔体顶板上，下安装板通过从其穿过的多个下安装杆固定在腔体底板上，上安装杆的第一安装段穿过多个第一垫圈及上安装板，下安装杆的第二安装段穿过多个第二垫圈及下安装板，上加热器与下加热器之间间距随着设置在上安装板内外两侧的第一垫圈数量以及下安装板内外两侧的第二垫圈数量的变化而变化。本实用新型能通过调节加热器安装高度，调节加热器与硅片间距，能容纳不同厚度的硅片载板以及适量的载板变形。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造领域，特别涉及一种加热腔。
背景技术
薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称HIT或SHJ太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。
异质结太阳能电池制造过程中将会用到诸如等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备、物理气相沉积(PVD)设备等真空镀膜设备，以便分别形成非晶硅/微晶硅层、透明导电层TCO。加热腔可为在进行 PECVD工艺或PVD工艺之前对硅片进行预热的预热腔。加热腔也可为直接进行PECVD工艺或PVD工艺的PECVD反应腔或PVD反应腔。加热腔将硅片加热到一定温度，具体温度要根据具体工艺进行确定，合适的加热温度可以使膜层与硅片的附着力增强、膜层致密，对于PVD工艺形成的ITO膜层，合适的加热温度可降低方块电阻。同时要求加热腔对硅片加热均匀，以减少色差，使多片硅片的膜层性能一致。
加热腔中布置有上下板式加热器，逐步使硅片达到200℃，上下加热器分多区，每区加热器功率分别可调，使腔体内传输的多片硅片温差控制在3℃范围内。现有加热腔中的上下加热器之间的距离是固定的，会造成调温困难，特别是难以调节对载板上多个硅片加热的均匀性。另外不能适配各种不同厚度的硅片载板，也无法容纳一定量的载板变形。
因此，如何提供一种加热腔，以通过调节加热器安装高度调节加热器与硅片间距，能提高对多片硅片进行加热的均匀性，还能通过调节加热器安装高度容纳不同厚度的硅片载板或容纳适量的载板变形，已成为业内亟待解决的技术问题。
实用新型内容
针对现有技术的上述问题，本实用新型提出了一种加热腔，其包括腔体，所述腔体中从上至下依次设置有上安装板、上加热器、载板载送模块、下加热器以及下安装板，上安装板与上加热器固定连接，所述上安装板通过从其穿过的多个上安装杆固定在腔体的顶板上，所述下安装板与下加热器固定连接，所述下安装板通过从其穿过的多个下安装杆固定在腔体的底板上，所述上安装杆的第一安装段穿过多个第一垫圈以及上安装板，所述下安装杆的第二安装段穿过多个第二垫圈以及下安装板，所述上加热器与所述下加热器之间的间距随着设置在所述上安装板内外两侧的第一垫圈的数量以及所述下安装板内外两侧的第二垫圈的数量的变化而变化。
在一实施例中，所述上安装杆的第一安装段上设置四个第一垫圈，所述下安装杆的第二安装段上设置四个第二垫圈，每个第一垫圈以及每个第二垫圈的厚度范围均在0.4-1厘米。
在一实施例中，所述上安装杆包括设置在所述顶板的内壁上的第一固定段，所述第一固定段的直径大于所述第一安装段的直径。
在一实施例中，所述下安装杆包括设置在所述底板的内壁上的第二固定段，所述第二固定段的直径大于所述第二安装段的直径。
在一实施例中，所述上加热器与所述下加热器之间的间距范围为 8-15厘米。
在一实施例中，所述上安装板内侧每个上安装杆上设置两个第一垫圈，所述上安装板外侧每个上安装杆上设置两个第一垫圈，所述下安装板内侧每个下安装杆上设置两个第二垫圈，所述下安装板外侧每个下安装杆上设置两个第二垫圈，所述上加热器与所述下加热器之间的间距为10厘米。
在一实施例中，所述上安装板内侧每个上安装杆上设置一个第一垫圈，所述上安装板外侧每个上安装杆上设置三个第一垫圈，所述下安装板内侧每个下安装杆上设置一个第二垫圈，所述下安装板外侧每个下安装杆上设置三个第二垫圈，所述上加热器与所述下加热器之间的间距为9厘米。
在一实施例中，所述上安装板内侧每个上安装杆上设置三个第一垫圈，所述上安装板外侧每个上安装杆上设置一个第一垫圈，所述下安装板内侧每个下安装杆上设置三个第二垫圈，所述下安装板外侧每个下安装杆上设置一个第二垫圈，所述上加热器与所述下加热器之间的间距为11厘米。
在一实施例中，所述上安装杆的第一安装段的侧端为开设有第一螺纹的第一螺纹段，通过第一螺母在第一螺纹段与第一螺纹的螺合将多个第一垫圈以及上安装板固定在第一安装段上。
在一实施例中，所述下安装杆的第二安装段的侧端为开设有第二螺纹的第二螺纹段，通过第二螺母在第二螺纹段与第二螺纹的螺合将多个第二垫圈以及下安装板固定在第二安装段上。
与现有技术中预热腔的上加热器与下加热器之间的间距不能调节相比，本实用新型的加热腔中的上安装板与上加热器固定连接，所述上安装板通过从其穿过的多个上安装杆固定在腔体的顶板上，所述上安装杆的第一安装段穿过多个第一垫圈以及上安装板，所述下安装板与下加热器固定连接，所述下安装板通过从其穿过的多个下安装杆固定在腔体的底板上，所述下安装杆的第二安装段穿过多个第二垫圈以及下安装板，所述上加热器与所述下加热器之间的间距随着设置在所述上安装板内外两侧的第一垫圈的数量以及所述下安装板内外两侧的第二垫圈的数量的变化而变化。本实用新型能通过调节加热器安装高度调节加热器与硅片间距，能提高对多片硅片进行加热的均匀性，还能通过调节加热器安装高度容纳不同厚度的硅片载板或容纳适量的载板变形。
附图说明
在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本实用新型的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
图1为本实用新型的加热腔的组成结构示意图；
图2为将图1中的加热腔的上加热器与下加热器之间的间距调小的示意图；以及
图3为将图1中的加热腔的上加热器与下加热器之间的间距调大的示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作详细描述，以便更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点。应理解的是，以下结合附图和具体实施例描述的诸方面仅是示例性的，而不应被理解为对本实用新型的保护范围进行任何限制。除非上下文明确地另外指明，否则单数形式“一”和“所述”包括复数指代物。本说明书以及权利要求书中所使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。
参见图1，其为本实用新型的加热腔的组成结构示意图。如图1 所示，加热腔1包括其包括腔体10，所述腔体10中从上至下依次设置有上安装板11、上加热器12、载板载送模块13、下加热器15以及下安装板16。所述腔体10由顶板100、两个侧板102以及底板104封闭形成。载板载送模块13用于传送和/或支撑承载有硅片的载板(未图
上安装板11与上加热器12固定连接(例如通过配套的螺杆与螺母连接，或销钉连接)，所述上安装板11通过从其穿过的多个上安装杆14固定在腔体10的顶板100上。每个上安装杆14包括依次连接的第一固定段140、第一安装段142以及第一螺纹段144。
所述上安装杆14的第一固定段140设置在所述顶板100的内壁上，所述第一固定段140的直径大于第一安装段142的直径。第一螺纹段 144位于第一安装段142的末端，第一螺纹段144上开设有第一螺纹(未图示)，通过第一螺母N1在第一螺纹段144与其第一螺纹的螺合将多个第一垫圈RS1以及上安装板11固定在第一安装段142上。
所述下安装板16与下加热器15固定连接(例如通过配套的螺杆与螺母连接，或销钉连接)，所述下安装板16通过从其穿过的多个下安装杆17固定在腔体的底板104上。每个下安装杆17包括依次连接的第二固定段170、第二安装段172以及第二螺纹段174。所述第二固定段170设置在所述底板的内壁104上，所述第二固定段170的直径大于所述第二安装段172的直径。第二螺纹段174设置在所述第二安装段172的末端，第二螺纹段174上开设有第二螺纹，通过第二螺母 N2在第二螺纹段174与其第二螺纹的螺合将多个第二垫圈RS2以及下安装板16固定在第二安装段172上。
所述上安装杆14的第一安装段142穿过多个第一垫圈RS1以及上安装板11，所述下安装杆17的第二安装段172穿过多个第二垫圈RS2 以及下安装板16，所述上加热器12与所述下加热器15之间的间距随着设置在所述上安装板11内外两侧的第一垫圈RS1的数量以及所述下安装板16内外两侧的第二垫圈RS2的数量的变化而变化。所述上加热器12与所述下加热器15之间的间距范围为8-15厘米。
在图1至图3所示的加热腔1的腔体10中，所述上安装杆14的第一安装段142上设置四个第一垫圈RS1，所述下安装杆17的第二安装段172上设置四个第二垫圈RS2，每个第一垫圈RS1以及每个第二垫圈RS2的厚度均在0.4-1厘米。在本实施例中，每个第一垫圈RS1以及每个第二垫圈RS2的厚度均为0.5厘米。在本实用新型其他实施例中，第一垫圈RS1与第二垫圈RS2的厚度可以不同。
在本实用新型其他实施例中，可以设置其他数量的第一垫圈RS1 和第二垫圈RS2，例如将第一垫圈RS1和第二垫圈RS2均设置成6个。
在图1所示的反应腔1中，所述上安装板11内侧每个上安装杆14 上设置两个第一垫圈RS1，所述上安装板11外侧每个上安装杆14上设置两个第一垫圈RS1，所述下安装板16内侧每个下安装杆17上设置两个第二垫圈RS2，所述下安装板16外侧每个下安装杆17上设置两个第二垫圈RS2，所述上加热器12与所述下加热器15之间的间距为10厘米。
在图1所示的加热腔1的基础上，可以通过调节设置在所述上安装板11内外两侧的第一垫圈RS1的数量以及所述下安装板16内外两侧的第二垫圈RS2的数量来调节上加热器12与所述下加热器15之间的间距。如图2所示，上加热器12与所述下加热器15之间的间距被调小。如图3所示，上加热器12与所述下加热器15之间的间距被调大。
如图2所示，所述上安装板11内侧每个上安装杆14上设置一个第一垫圈RS1，所述上安装板11外侧每个上安装杆14上设置三个第一垫圈RS1，所述下安装板16内侧每个下安装杆17上设置一个第二垫圈 RS2，所述下安装板16外侧每个下安装杆17上设置三个第二垫圈RS2，所述上加热器12与所述下加热器15之间的间距D2为9厘米。
如图3所示，所述上安装板11内侧每个上安装杆14上设置三个第一垫圈RS1，所述上安装板11外侧每个上安装杆14上设置一个第一垫圈RS1，所述下安装板16内侧每个下安装杆17上设置三个第二垫圈 RS2，所述下安装板16外侧每个下安装杆17上设置一个第二垫圈RS2，所述上加热器12与所述下加热器15之间的间距D3为11厘米。
本实用新型的加热腔包括腔体，所述腔体中从上至下依次设置有上安装板、上加热器、载板载送模块、下加热器以及下安装板，上安装板与上加热器固定连接，所述上安装板通过从其穿过的多个上安装杆固定在腔体的顶板上，所述下安装板与下加热器固定连接，所述下安装板通过从其穿过的多个下安装杆固定在腔体的底板上，所述上安装杆的第一安装段穿过多个第一垫圈以及上安装板，所述下安装杆的第二安装段穿过多个第二垫圈以及下安装板，所述上加热器与所述下加热器之间的间距随着设置在所述上安装板内外两侧的第一垫圈的数量以及所述下安装板内外两侧的第二垫圈的数量的变化而变化。本实用新型能通过调节加热器安装高度调节加热器与硅片间距，能提高对多片硅片进行加热的均匀性，还能通过调节加热器安装高度容纳不同厚度的硅片载板或容纳适量的载板变形。
上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本实用新型的，熟悉本领域的人员可在不脱离本实用新型的实用新型思想的情况下，对上述实施例做出种种修改或变化，因而本实用新型的保护范围并不被上述实施例所限，而应该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。
Claims (10)
1.一种加热腔，其包括腔体，所述腔体中从上至下依次设置有上安装板、上加热器、载板载送模块、下加热器以及下安装板，上安装板与上加热器固定连接，所述上安装板通过从其穿过的多个上安装杆固定在腔体的顶板上，所述下安装板与下加热器固定连接，所述下安装板通过从其穿过的多个下安装杆固定在腔体的底板上，其特征在于，所述上安装杆的第一安装段穿过多个第一垫圈以及上安装板，所述下安装杆的第二安装段穿过多个第二垫圈以及下安装板，所述上加热器与所述下加热器之间的间距随着设置在所述上安装板内外两侧的第一垫圈的数量以及所述下安装板内外两侧的第二垫圈的数量的变化而变化。
2.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述上安装杆的第一安装段上设置四个第一垫圈，所述下安装杆的第二安装段上设置四个第二垫圈，每个第一垫圈以及每个第二垫圈的厚度范围均在0.4-1厘米。
3.根据权利要求2所述的加热腔，其特征在于，所述上安装杆包括设置在所述顶板的内壁上的第一固定段，所述第一固定段的直径大于所述第一安装段的直径。
4.根据权利要求2所述的加热腔，其特征在于，所述下安装杆包括设置在所述底板的内壁上的第二固定段，所述第二固定段的直径大于所述第二安装段的直径。
5.根据权利要求2所述的加热腔，其特征在于，所述上加热器与所述下加热器之间的间距范围为8-15厘米。
6.根据权利要求5所述的加热腔，其特征在于，所述上安装板内侧每个上安装杆上设置两个第一垫圈，所述上安装板外侧每个上安装杆上设置两个第一垫圈，所述下安装板内侧每个下安装杆上设置两个第二垫圈，所述下安装板外侧每个下安装杆上设置两个第二垫圈，所述上加热器与所述下加热器之间的间距为10厘米。
7.根据权利要求5所述的加热腔，其特征在于，所述上安装板内侧每个上安装杆上设置一个第一垫圈，所述上安装板外侧每个上安装杆上设置三个第一垫圈，所述下安装板内侧每个下安装杆上设置一个第二垫圈，所述下安装板外侧每个下安装杆上设置三个第二垫圈，所述上加热器与所述下加热器之间的间距为9厘米。
8.根据权利要求5所述的加热腔，其特征在于，所述上安装板内侧每个上安装杆上设置三个第一垫圈，所述上安装板外侧每个上安装杆上设置一个第一垫圈，所述下安装板内侧每个下安装杆上设置三个第二垫圈，所述下安装板外侧每个下安装杆上设置一个第二垫圈，所述上加热器与所述下加热器之间的间距为11厘米。
9.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述上安装杆的第一安装段的侧端为开设有第一螺纹的第一螺纹段，通过第一螺母在第一螺纹段与第一螺纹的螺合将多个第一垫圈以及上安装板固定在第一安装段上。
10.根据权利要求1所述的加热腔，其特征在于，所述下安装杆的第二安装段的侧端为开设有第二螺纹的第二螺纹段，通过第二螺母在第二螺纹段与第二螺纹的螺合将多个第二垫圈以及下安装板固定在第二安装段上。
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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Address after: 201306 plant 3, Lane 2699, Jiangshan Road, Lingang xinpian District, China (Shanghai) pilot Free Trade Zone, Pudong New Area, Shanghai Patentee after: Ideal Wanlihui Semiconductor Equipment (Shanghai) Co.,Ltd. Address before: 201306 plant 3, Lane 2699, Jiangshan Road, Lingang xinpian District, China (Shanghai) pilot Free Trade Zone, Pudong New Area, Shanghai Patentee before: SHANGHAI LIXIANG WANLIHUI FILM EQUIPMENT Co.,Ltd. |
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |