CN218333700U - 一种辐照晶圆的辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种辐照晶圆的辅助装置，包括支撑箱体与承载托盘，所述支撑箱体内部设有机械泵与离心电机，所述支撑箱体的上部设有水箱，所述水箱的上表面设有圆形凹陷部，所述圆形凹陷部的中心设有通孔，所述通孔上设有旋转轴承，所述旋转轴承用于连接所述承载托盘与所述离心电机，所述承载托盘用于放置以及吸附晶圆。本实用新型首先通过旋转晶圆，来提高辐照晶圆的均匀性。为了避免在辐照过程中出现的高温从而使得放置晶圆的样品台损坏，本实用新型设置了水箱与循环冷却水系统，通过冷却水为放置晶圆的样品台进行降温。

Description

一种辐照晶圆的辅助装置

技术领域

本实用新型涉及辐照领域，具体涉及一种辐照晶圆的辅助装置。

背景技术

辐照技术在诱变育种、食品灭菌、医疗器械消毒与功能材料改性等领域具有广泛应用，是衡量一个国家高技术应用水平的标志之一。近年来，辐照技术在半导体晶圆少子寿命调控、电阻率控制等方面的应用引起人们的关注。中国专利CN112760719A提出了一种利用辐照制备半绝缘碳化硅晶圆的方法，其辐照方式为碳化硅晶片自转同时高能粒子束在晶片表面做轨迹运动。但对于如何实现晶片自转并没有给出技术方案。另外利用粒子辐照在晶圆中引入点缺陷，所需要的辐照能量大，辐照时间长，在辐照过程中会出现500℃以上的高温。现有的辐照加工装置(CN209347677U)并没有给样品台配备冷却装置，样品台无法承受高辐照剂量带来的高温。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种辐照晶圆的辅助装置，通过旋转晶圆可提高辐照晶圆的均匀性，通过冷却水为辅助装置进行降温，从而避免样品台过热。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种辐照晶圆的辅助装置，包括支撑箱体与承载托盘，所述支撑箱体内部设有机械泵与离心电机，所述支撑箱体的上部设有水箱，所述水箱的上表面设有圆形凹陷部，所述圆形凹陷部的中心设有通孔，所述通孔上设有旋转轴承，所述旋转轴承用于连接所述承载托盘与所述离心电机，所述承载托盘用于放置以及吸附晶圆。

作为本实用新型的一种优选方案，所述旋转轴承垂直于支撑箱体设置，所述旋转轴承中心沿长度方向设有气路通孔。

作为本实用新型的一种优选方案，所述气路通孔通过气管与所述机械泵连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述承载托盘通过卯榫结构与旋转轴承固定。

作为本实用新型的一种优选方案，所述承载托盘的下端面设有四个榫头，旋转轴承的上表面相应设有四个卯眼。

作为本实用新型的一种优选方案，所述承载托盘的中心设有抽气孔。

作为本实用新型的一种优选方案，所述水箱上设有进水口与出水口。

作为本实用新型的一种优选方案，所述支撑箱体的下表面设有多个支撑腿。

作为本实用新型的一种优选方案，还包括控制面板，所述控制面板设置于支撑箱体上。

在本实用新型中，本实用新型首先通过旋转晶圆，来提高辐照晶圆的均匀性。为了避免在辐照过程中出现的高温从而使得放置晶圆的样品台损坏，本实用新型设置了水箱与循环冷却水系统，通过冷却水为放置晶圆的样品台进行降温。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

1)本实用新型通过旋转晶圆可提高辐照晶圆的均匀性。

2)本实用新型的降温效果良好，避免样品台出现过热的情况。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

图2是承载托盘与旋转轴承的示意图。

图中，1.支撑腿；2.支撑箱体；3.机械泵；4.气管；5.气路通孔；6.离心电机；7.水箱；8.旋转轴承；9.圆形凹陷部；10.承载托盘；11.抽气孔；12.进水口；13.控制面板；14.榫头；15.卯眼；16.出水口。

具体实施方式

为进一步了解本实用新型的内容，结合附图及实施例对本实用新型作详细描述。

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。本实用新型中所述的第一、第二等词语，是为了描述本实用新型的技术方案方便而设置，并没有特定的限定作用，均为泛指，对本实用新型的技术方案不构成限定作用。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。同一实施例中的多个技术方案，以及不同实施例的多个技术方案之间，可进行排列组合形成新的不存在矛盾或冲突的技术方案，均在本实用新型要求保护的范围内。

需要明确的是，本实用新型不是给辐照设备降温的，辐照设备自带降温装置，是给放置晶圆的样品台降温的，现有样品台承受不了高温。

实施例1

参见图1，本实施例提供了一种辐照晶圆的辅助装置，包括支撑箱体2，支撑箱体2的底部设有4个均匀分布的支撑腿1。支撑箱体2内部放置有机械泵3和离心电机6。支撑箱体2上部放置有水箱7和控制面板13。

水箱7的上表面带有圆形凹陷部9，圆形凹陷部9的中心打有通孔，在该通孔中放置旋转轴承8，旋转轴承8的下部连接离心电机6，旋转轴承8的上部连接承载托盘10。

参见图2，承载托盘10用卯榫的方式固定在旋转轴承8上部，承载托盘10下端面有四个榫头14，与旋转轴承8上表面的四个卯眼15相对应。

旋转轴承8内部开设有气路通孔5，气路通孔5的下部连接有气转接头，气转接头通过气管4连接机械泵3。

承载托盘10用于放置晶圆，承载托盘10中间开设有抽气孔11，当开启机械泵3和离心电机6，晶圆可吸附在承载托盘10上随离心电机一起旋转。

承载托盘需要选用热导率高且机械强度大的材料，包括AlN陶瓷，SiC陶瓷等。

水箱7侧部开设有进水口12和出水口16，其通过水管外接工业用冷水机，为辅助装置降温。冷水机的使用属于本领域的公知常识，不再赘述。

控制面板13的输出端分别与离心电机6和机械泵3电性连接，控制面板控制机械泵3与离心电机6的开关通过本领域技术人员简单的编程即可实现，属于本领域的公知常识，仅对其进行使用，不进行改造，不详细描述控制方式和电路连接。控制面板13通过导线与外部电源连接，方便供电。

使用时，将本实用新型的辅助装置放置在辐照设备下方，将水箱的出水口16与进水口12连接至外置冷水机，确保冷水机正常工作。

将待辐照晶圆放置在承载托盘10上，通过控制面板13开启机械泵3，确保晶圆被吸附在承载托盘10上。

通过控制面板13开启离心电机6，设置一定的旋转速率，使晶圆稳定地旋转。

以上示意性的对本实用新型及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种辐照晶圆的辅助装置，其特征在于，包括支撑箱体与承载托盘，所述支撑箱体内部设有机械泵与离心电机，所述支撑箱体的上部设有水箱，所述水箱的上表面设有圆形凹陷部，所述圆形凹陷部的中心设有通孔，所述通孔上设有旋转轴承，所述旋转轴承用于连接所述承载托盘与所述离心电机，所述承载托盘用于放置以及吸附晶圆。

2.根据权利要求1所述的一种辐照晶圆的辅助装置，其特征在于，所述旋转轴承垂直于支撑箱体设置，所述旋转轴承中心沿长度方向设有气路通孔。

3.根据权利要求2所述的一种辐照晶圆的辅助装置，其特征在于，所述气路通孔通过气管与所述机械泵连接。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种辐照晶圆的辅助装置，其特征在于，所述承载托盘通过卯榫结构与旋转轴承固定。

5.根据权利要求4所述的一种辐照晶圆的辅助装置，其特征在于，所述承载托盘的下端面设有四个榫头，旋转轴承的上表面相应设有四个卯眼。

6.根据权利要求1所述的一种辐照晶圆的辅助装置，其特征在于，所述承载托盘的中心设有抽气孔。

7.根据权利要求1所述的一种辐照晶圆的辅助装置，其特征在于，所述水箱上设有进水口与出水口。

8.根据权利要求1所述的一种辐照晶圆的辅助装置，其特征在于，所述支撑箱体的下表面设有多个支撑腿。

9.根据权利要求1所述的一种辐照晶圆的辅助装置，其特征在于，还包括控制面板，所述控制面板设置于支撑箱体上。

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