CN218291180U - 一种夹持装置和单晶炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种夹持装置和单晶炉，涉及直拉单晶生长技术领域，以解决现有技术中在取晶时晶棒易与副室相撞，致使晶棒掉落进而导致晶棒和单晶炉损坏的问题。所述夹持装置应用于单晶炉，该夹持装置包括：基架、支架、驱动件和夹持组件。两个支架设置于基架，至少一个支架与基架移动连接。驱动件与至少一个支架驱动连接，用于使两个支架沿相互靠近和远离的方向移动。每个支架上均设置一个夹持组件，两个夹持组件用于相互靠近以夹持晶棒以及相互远离以释放晶棒。本实用新型还提供了一种单晶炉。该单晶炉包括副室和如上述技术方案所述的夹持装置。夹持装置设置于副室的侧壁，夹持组件沿副室的径向伸入副室内，用于夹持固定晶棒。

Description

一种夹持装置和单晶炉

技术领域

本实用新型涉及直拉单晶生长技术领域，尤其涉及一种夹持装置和单晶炉。

背景技术

直拉法又称为切克劳斯基法，是由切克劳斯基建立起来的一种单晶生长方法，简称CZ法。目前，广泛采用单晶炉作为单晶生长设备，利用直拉法生长单晶硅棒。上述单晶炉一般包括坩埚、提拉头、主室和副室等。

现有技术中，采用单晶炉生长单晶硅时，先将坩埚内容纳的硅料熔化成硅熔体，接着将籽晶硅与坩埚内的硅熔体表面充分接触，然后再进行引晶、放肩、转肩、等径、收尾等晶体生长工艺，以形成细长型的晶棒。

在取晶过程中，由于副室的旋转，使位于副室内的晶棒会随之晃动，致使晶棒与副室相撞。此时，晶棒的籽晶细颈位置会因受到径向力发生断裂，进而导致晶棒掉落。基于此，会使晶棒和单晶炉被损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种夹持装置和单晶炉，用于确保晶棒和单晶炉的安全性。

为了实现上述目的，第一方面，本实用新型提供了一种夹持装置，应用于单晶炉。该夹持装置包括：基架、支架、驱动件和夹持组件。两个支架设置于基架，至少一个支架与基架移动连接。驱动件与至少一个支架驱动连接，用于使两个支架沿相互靠近和远离的方向移动。每个支架上均设置一个夹持组件，两个夹持组件用于相互靠近以夹持晶棒以及相互远离以释放晶棒。

与现有技术相比，本实用新型提供的夹持装置中，由于两个夹持组件用于相互靠近以夹持晶棒。因此，在取晶的过程中，可以使两个夹持组件相互靠近以夹持晶棒，使晶棒与副室处于相对静止的状态。此时，可以减小或消除由于晶棒在副室内晃动，致使晶棒与副室相撞导致籽晶细颈处受到径向力发生断裂的概率，进而避免晶棒掉落以及避免掉落的晶棒砸坏单晶炉。基于此，不仅可以确保晶棒的安全性，同时还可以确保单晶炉的安全性。并且，由于两个夹持组件可以相互远离以释放晶棒，此时，在不需要夹持固定晶棒的时候，夹持组件不影响晶棒的正常运动。进一步地，在本实用新型中由于利用驱动件驱动支架运动，以带动支架上的夹持组件运动，进而实现对晶棒的夹持和释放。此时，不仅可以减少人工的参与，节省劳动力。同时，还可以避免因晶棒掉落或发生其他危险时对工作人员造成的伤害，进而确保工作人员的生命安全。

在一种实现方式中，上述夹持组件包括：连接件和夹持件。连接件设置于基架，夹持件的第一端设置于支架，夹持件的第二端贯穿连接件且与连接件滑动连接。夹持装置处于夹持状态时，两个夹持件用于相互靠近以夹持晶棒。

采用上述技术方案的情况下，当连接件或夹持件损坏时，可以快速的更换，以确保夹持组件的正常使用，进而确保晶棒和单晶炉的安全性。并且，由于夹持组件仅包括连接件和夹持件两部分，使得夹持组件不仅结构简单，易于制作，同时还易于组装和使用，提高了工作效率。

在一种实现方式中，上述夹持装置还包括第一缓冲件。夹持件通过第一缓冲件与支架缓冲连接，第一缓冲件用于对夹持件施加远离支架的缓冲力。

采用上述技术方案的情况下，利用上述第一缓冲件可以消除一部分驱动件对夹持件的驱动力，以降低夹持件靠近晶棒的速度。基于此，可以减小夹持件与晶棒抵接时夹持件对晶棒施加的作用力，以避免夹持件损坏晶棒，进一步确保晶棒的安全性。

在一种实现方式中，上述夹持装置还包括第二缓冲件。第二缓冲件设置于支架，第二缓冲件的缓冲端位于支架和基架之间，缓冲端用于与基架缓冲接触以对支架施加远离基架的缓冲力。

采用上述技术方案的情况下，利用上述第二缓冲件可以消除一部分驱动件对夹持件的驱动力，以降低夹持件靠近晶棒的速度。基于此，可以减小夹持件与晶棒抵接时，夹持件对晶棒施加的作用力，以避免夹持件损坏晶棒，进一步确保晶棒的安全性。

在一种实现方式中，上述夹持装置还包括可伸缩密封套。可伸缩密封套套设于夹持件上，且可伸缩密封套的两端分别与支架和连接件密封连接。

采用上述技术方案的情况下，由于密封套可伸缩，此时可以确保两个夹持件正常的相互远离或靠近，以确保夹持装置正常工作。并且，由于可伸缩密封套的两端分别与支架和连接件密封连接。因此，可以确保当夹持装置应用在副室上时，副室仍然处于密封状态。基于此，可以避免外界的气体或其他物质通过夹持装置或夹持装置与副室连接处进入副室内，进而确保位于副室内的晶棒不被污染，以确保晶棒的质量。

在一种实现方式中，上述夹持装置还包括限位件。限位件的第一端与支架固定连接，限位件的第二端贯穿基架，且限位件的第二端设置有限制限位件沿远离基架移动的限位结构。

采用上述技术方案的情况下，利用上述限位件和限位结构可以限制相互远离的两个支架之间的最大距离，避免支架从基架上脱落，确保夹持装置的安全性。并且，还可以限制与支架连接的两个夹持件之间的最大距离。此时，可以根据待夹持的晶棒的尺寸选择合适的夹持装置，以确保夹持件相互远离释放晶棒后，晶棒可以自由运动。

在一种实现方式中，上述夹持装置还包括导向件和移动件。导向件设置于基架，移动件与导向件滑动连接，移动件与支架固定连接。

采用上述技术方案的情况下，利用上述导向件和移动件，不仅可以限定支架和夹持件的移动方向，以使夹持组件更加准确的夹持晶棒，确保晶棒的安全性。同时，在导向件和移动件的辅助下更有利于驱动件驱动支架沿靠近和远离基架的方向移动，进而有利于两个夹持组件相互靠近夹持晶棒或相互远离释放晶棒。

在一种实现方式中，上述驱动件为伸缩缸，伸缩缸的固定端和伸缩端分别与两个支架连接。上述驱动件易于获得，降低了夹持装置的制作难度。

在一种实现方式中，上述基架包括：固定件和基板。两个固定件相对且间隔设置，基板具有相对的两端，基板的两端分别与固定件连接。两个支架分别设置于基板的两端，至少一个支架与基板移动连接。

采用上述技术方案的情况下，由于基架仅包括固定件和基板两部分，使得基架不仅结构简单，易于制作，同时还易于组装和使用，提高了工作效率。

第二方面，本实用新型还提供了一种单晶炉。该单晶炉包括副室和如上述技术方案所述的夹持装置。夹持装置设置于副室的侧壁，夹持组件沿副室的径向伸入副室内，用于夹持固定晶棒。

与现有技术相比，本实用新型提供的单晶炉的部分有益效果与上述技术方案所述夹持装置的有益效果相同，此处不做赘述。此外，由于上述夹持装置可以自启动取晶程序的一刻起便开始夹持晶棒。应理解，此时夹持装置可以配合其他感应装置一同使用，具体情况在此不做详细描述。基于此，可以及时有效的确保晶棒的稳定性和安全性，降低或避免晶棒与副室相撞情况的发生。进一步地，上述夹持装置与副室的相对位置可以根据实际情况进行调整，以适应不同的应用场景，更好的确保晶棒的安全性。此外，相比于现有技术中利用人工手扶晶棒的方式，当夹持装置与副室的相对位置固定时，可以进一步确保对于同一规格的晶棒该夹持装置夹持晶棒位置的一致性，以避免因同一规格的晶棒受力位置不同导致晶棒晃动的情况发生，以进一步确保晶棒的稳定性和安全性。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例中夹持装置的示意图；

图2为本实用新型实施例中夹持装置和副室组装后的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中夹持装置和副室组装后的第一剖视图；

图4为本实用新型实施例中夹持装置和副室组装后的第二剖视图。

附图标记：

1-籽晶， 2-籽晶细颈， 3-副室， 4-晶棒，

5-夹持装置， 50-基架， 500-固定件， 501-基板，

51-支架， 510-第一支架， 511-第二支架， 52-驱动件，

53-夹持组件， 530-连接件， 531-夹持件， 532-导向轴套，

54-第一缓冲件， 55-法兰， 56-第二缓冲件， 57-可伸缩密封套，

58-限位件， 59-导向件， 60-移动件， 61-浮动接头，

62-浮动连接板， 63-限位结构。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

利用直拉法制作的晶棒长度可达6米以上，重量可达1T以上，该晶棒的最上端是直径在4mm至5mm之间的籽晶细颈。上述籽晶细颈可以承受较大的轴向铅直重力，但是1kgf以内的径向力便会使其断裂，进而引起晶棒掉落。应理解，参见图3和图4，晶棒4的上方为籽晶1，籽晶1中靠近晶棒4且与晶棒4熔接的位置为籽晶细颈2。

在取晶过程中，由于副室的旋转，使位于副室内的晶棒会随之晃动，致使晶棒与副室相撞。此时，晶棒的籽晶细颈位置会因受到径向力发生断裂，进而导致晶棒掉落。基于此，会使晶棒和单晶炉被损坏。

此外，在取晶前，需要先将副室从主室的炉盖上移开。此时，需要旋转副室，在副室旋转的过程中，位于副室内的晶棒会随之晃动。基于此，在副室相对于炉盖转动时，就需要稳定晶棒，使晶棒相对于副室静止。但是，由于主室和炉盖的总高度距离地面约2米左右，且主室的直径较大。此时，工作人员不易接触到晶棒，增加了工作人员的操作难度。基于此，在此段时间内，极易发生晶棒与副室相撞的情况，致使晶棒的籽晶细颈位置因受到径向力而发生断裂，进而导致晶棒掉落。此时，不仅会使晶棒和单晶炉被损坏，同时还会砸伤工作人员。

为了解决上述技术问题，第一方面，本实用新型实施例提供了一种夹持装置，应用于单晶炉。参见图1，该夹持装置可以包括：基架50、支架51、驱动件52和夹持组件53。两个支架51设置于基架50，至少一个支架51与基架50移动连接。驱动件52与至少一个支架51驱动连接，用于使两个支架51沿相互靠近和远离的方向移动。每个支架51上均设置一个夹持组件53，两个夹持组件53用于相互靠近以夹持晶棒以及相互远离以释放晶棒。

参见图1，上述“驱动件52与至少一个支架51驱动连接”可以理解为，驱动件52仅与一个支架51驱动连接，驱动件52也可以同时与两个支架51驱动连接。在此不做具体限定，只要可以满足实际工作需要即可。

参见图1至图4，本实用新型实施例提供的夹持装置5中，由于两个夹持组件53用于相互靠近以夹持晶棒4。因此，在取晶的过程中，可以使两个夹持组件53相互靠近以夹持晶棒4，使晶棒4与副室3处于相对静止的状态。此时，可以减小或消除由于晶棒4在副室3内晃动，致使晶棒4与副室3相撞导致籽晶细颈1处受到径向力发生断裂的概率，进而避免晶棒4掉落以及避免掉落的晶棒4砸坏单晶炉。基于此，不仅可以确保晶棒4的安全性，同时还可以确保单晶炉的安全性。并且，由于两个夹持组件53可以相互远离以释放晶棒4，此时，在不需要夹持固定晶棒4的时候，夹持组件53不影响晶棒4的正常运动(具体可以参见图4)。进一步地，在本实用新型实施例中由于利用驱动件52驱动支架运动，以带动支架上的夹持组件53运动，进而实现对晶棒4的夹持和释放。此时，不仅可以减少人工的参与，节省劳动力。具体的，工作人员不用在一手稳定晶棒，一手操作旋转按钮。同时，还可以避免因晶棒4掉落或发生其他危险时对工作人员造成的伤害，进而确保工作人员的生命安全。

作为一种可能的实现方式，参见图1，基架50可以包括：固定件500和基板501。两个固定件500相对且间隔设置，基板501具有相对的两端，基板501的两端分别与固定件500连接。两个支架51分别设置于基板501的两端，至少一个支架51与基板501移动连接。由于基架50仅包括固定件500和基板501两部分，使得基架50不仅结构简单，易于制作，同时还易于组装和使用，提高了工作效率。

上述固定件和基板的形状、尺寸、材质、连接方式可以根据实际情况进行设置，在此不做具体限定。例如，上述固定件和基板可以焊接、粘结、榫卯连接或螺栓连接等。

作为一种可能的实现方式，参见图1，上述支架51可以包括第一支架510和第二支架511。在实际使用过程中，第一支架510的第一端设置在基板501上，第一支架510的第二端与第二支架511的第一端连接，此时支架51呈L形。接着，第二支架511的第二端与夹持组件53连接。

作为一种可能的实现方式，参见图1和图3，上述夹持组件53可以包括：连接件530和夹持件531。连接件530设置于基架50，夹持件531的第一端设置于支架，夹持件531的第二端贯穿连接件530且与连接件530滑动连接。夹持装置5处于夹持状态时，两个夹持件531用于相互靠近以夹持晶棒。

参见图1，采用上述技术方案的情况下，当连接件530或夹持件531损坏时，可以快速的更换，以确保夹持组件53的正常使用，进而确保晶棒和单晶炉的安全性。并且，由于夹持组件53仅包括连接件530和夹持件531两部分，使得夹持组件53不仅结构简单，易于制作，同时还易于组装和使用，提高了工作效率。

示例性的，参见图1，上述连接件530与固定件500的自由端连接，夹持件531的第一端与靠近第二支架511第二端的侧面连接。

在一种可选方式中，参见图1，上述夹持组件53还可以包括导向轴套532，导向轴套532套设在夹持件531上，且位于夹持件531和连接件530之间。在实际使用过程中，夹持件531可以沿导向轴套532的长度方向在导向轴套532内移动，此时，导向轴套532可以用于辅助限定夹持件531的运动方向。

在一种可选方式中，上述连接件和夹持件的材质可以均是金属，例如不锈钢。导向轴套的材质是润滑性好的非金属材料，例如聚氨酯或聚四氟等。此时，不仅有利于夹持件沿导向轴套的长度方向在导向轴套内移动，同时还可以避免当导向轴套为金属材质时，金属材质的导向轴套与金属材质的夹持件之间摩擦产生的金属粉尘进入单晶炉内污染晶棒，即可以确保晶棒的品质。

在一种可选方式中，参见图1，上述夹持装置5还可以包括第一缓冲件54。夹持件531通过第一缓冲件54与支架51缓冲连接，第一缓冲件54用于对夹持件531施加远离支架的缓冲力。

参见图1，利用上述第一缓冲件54可以消除一部分驱动件52对夹持件531的驱动力，以降低夹持件531靠近晶棒的速度。基于此，可以减小夹持件531与晶棒抵接时夹持件531对晶棒施加的作用力，以避免夹持件531损坏晶棒，进一步确保晶棒的安全性。

示例性的，参见图1，上述第一缓冲件54可以是弹簧。在实际使用过程中，弹簧的第一部分位于第二支架511和夹持件531之间，弹簧的第二部分套设在夹持件531。并且，在夹持件531上套设有一法兰55，弹簧第二部分的末端与法兰55抵接，法兰55用于限定弹簧的位置。

下面以一种可能的实现方式为例描述第一缓冲件的缓冲过程，应理解，以下描述仅用于理解，不用于具体限定。

例如，参见图1，在实际使用过程中，当第二支架511在驱动件52的作用下向靠近基架50的方向运动时，第二支架511带动夹持件531向靠近基架50的方向运动。与此同时，弹簧被压缩并产生阻力以用于消除一部分由第二支架511传导过来的驱动力，进而降低夹持件531靠近晶棒的速度。

作为一种可能的实现方式，参见图1，上述夹持装置5还可以包括第二缓冲件56。第二缓冲件56设置于支架51，第二缓冲件56的缓冲端位于支架和基架50之间，缓冲端用于与基架50缓冲接触以对支架施加远离基架50的缓冲力。

参见图1，利用上述第二缓冲件56可以消除一部分驱动件52对夹持件531的驱动力，以降低夹持件531靠近晶棒的速度。基于此，可以减小夹持件531与晶棒抵接时，夹持件531对晶棒施加的作用力，以避免夹持件531损坏晶棒，进一步确保晶棒的安全性。

示例性的，参见图1，上述第二缓冲件56可以是液压缓冲器。液压缓冲器贯穿第二支架511，液压缓冲器的缓冲端位于第二支架511和基架50的固定件500之间，缓冲端用于与固定件500缓冲接触。

下面以一种可能的实现方式为例描述第二缓冲件的缓冲过程，应理解，以下描述仅用于理解，不用于具体限定。

例如，参见图1，在实际使用过程中，当第二支架511在驱动件52的作用下向靠近基架50的方向运动时，第二支架511带动夹持件531和第二缓冲件56向靠近基架50的方向运动。在此之前，通过设置第二缓冲件56的缓冲端伸出的长度，使缓冲端先与固定件500缓冲接触，之后夹持件531在与晶棒抵接。应理解，当缓冲端与固定件500缓冲接触后，缓冲端还可以相对于第二缓冲件56向远离基架的方向运动，即缓冲端可以收回第二缓冲件56中，并不影响夹持件531后期与晶棒抵接。基于此，利用上述第二缓冲件56可以减小夹持件531与晶棒抵接时，夹持件531对晶棒施加的作用力，以避免夹持件531损坏晶棒，进一步确保晶棒的安全性。

在一种可选方式中，参见图1，上述夹持装置5可以同时包括第一缓冲件54和第二缓冲件56，此时夹持装置5具有两级缓冲，可以进一步减小夹持件531与晶棒抵接时，夹持件531对晶棒施加的作用力，以避免夹持件531损坏晶棒，进一步确保晶棒的安全性。

在一种可选方式中，参见图1，上述夹持装置5还可以包括可伸缩密封套57。可伸缩密封套57套设于夹持件531上，且可伸缩密封套57的两端分别与支架和连接件530密封连接。

参见图1，由于密封套可伸缩，此时可以确保两个夹持件531正常的相互远离或靠近，以确保夹持装置5正常工作。并且，由于可伸缩密封套57的两端分别与支架和连接件530密封连接。因此，可以确保当夹持装置5应用在副室3上时，副室3仍然处于密封状态。基于此，可以避免外界的气体或其他物质通过夹持装置5或夹持装置5与副室3连接处进入副室3内，进而确保位于副室3内的晶棒不被污染，以确保晶棒的质量。示例性的，上述可伸缩密封套57可以是波纹管。

示例性的，参见图1，上述可伸缩密封套57的两端分别与第二支架511和连接件530密封连接。在实际使用过程中，上述第二支架511和可伸缩密封套57之间以及连接件530和可伸缩密封套57之间还可以设置有密封圈，以进一步确保夹持装置5和副室3连接后的密封性。

作为一种可能的实现方式，参见图1，上述夹持装置5还可以包括限位件58。限位件58的第一端与支架51固定连接，限位件58的第二端贯穿基架50，且限位件58的第二端设置有限制限位件58沿远离基架50移动的限位结构63。

参见图1，利用上述限位件58和限位结构63可以限制相互远离的两个支架51之间的最大距离，避免支架51从基架50上脱落，确保夹持装置5的安全性。并且，还可以限制与支架51连接的两个夹持件531之间的最大距离。此时，可以根据待夹持的晶棒的尺寸选择合适的夹持装置5，以确保夹持件531相互远离释放晶棒后，晶棒可以自由运动。

示例性的，参见图1，上述限位件58可以是限位杆，上述限位结构63可以是与限位杆螺纹连接的螺母。在实际使用过程中，限位杆的第一端与第二支架511固定连接，例如螺纹连接或焊接等。限位杆的第二端贯穿开设在固定件500上的通孔，且在限位杆的第二端设置有限制限位杆沿远离固定件500移动的螺母。应理解，在本实用新型实施例中，上述限位杆的直径或厚度小于开设在固定件500上的通孔，以确保限位杆相对于通孔可以正常移动。

在一种可选方式中，参见图1，上述夹持装置5还可以包括导向件59和移动件60。导向件59设置于基架50，移动件60与导向件59滑动连接，移动件60与支架固定连接。

采用上述技术方案的情况下，参见图1，利用上述导向件59和移动件60，不仅可以限定支架51和夹持件531的移动方向，以使夹持组件53更加准确的夹持晶棒，确保晶棒的安全性。同时，在导向件59和移动件60的辅助下更有利于驱动件52驱动支架51沿靠近和远离基架50的方向移动，进而有利于两个夹持组件53相互靠近夹持晶棒或相互远离释放晶棒。

示例性的，上述导向件可以是导轨或滑轨等，上述移动件可以是滑块。导向件设置于基板的承载面上，两个第一支架分别与移动件连接。

在一种可选方式中，参见图1，上述驱动件52为伸缩缸，伸缩缸的固定端和伸缩端分别与两个支架51连接。上述驱动件52易于获得，降低了夹持装置的制作难度。示例性的，上述伸缩缸可以是气压缸或液压缸等。

在一种可选方式中，参见图1，上述驱动件52的执行件通过浮动接头61与浮动连接板62的一端连接，浮动连接板62的另一端与第一支架510的第一端连接。驱动件52的主体设置在另一个第一支架510上。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种单晶炉。参见图2至图4，该单晶炉可以包括副室3和如上述技术方案所述的夹持装置5。夹持装置5设置于副室3的侧壁，夹持组件53沿副室3的径向伸入副室3内，用于夹持固定晶棒4。示例性的，上述夹持装置5安装在副室3的法兰上。

参见图1至图4，本实用新型实施例提供的单晶炉的部分有益效果与上述技术方案所述夹持装置5的有益效果相同，此处不做赘述。此外，由于上述夹持装置5可以自启动取晶程序的一刻起便开始夹持晶棒。应理解，此时夹持装置可以配合其他感应装置一同使用，具体情况在此不做详细描述。基于此，可以及时有效的确保晶棒的稳定性和安全性，降低或避免晶棒与副室3相撞情况的发生。进一步地，上述夹持装置5与副室3的相对位置可以根据实际情况进行调整，以适应不同的应用场景，更好的确保晶棒的安全性。此外，相比于现有技术中利用人工手扶晶棒的方式，当夹持装置5与副室3的相对位置固定时，可以进一步确保对于同一规格的晶棒该夹持装置5夹持晶棒位置的一致性，以避免因同一规格的晶棒受力位置不同导致晶棒晃动的情况发生，以进一步确保晶棒的稳定性和安全性。综上所述，本实用新型实施例提供的夹持装置可以适用于任意高度的单晶炉，并且可以使夹持固定晶棒的过程标准化。此外，还可以适应生产设备自动化发展。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种夹持装置，应用于单晶炉，其特征在于，所述夹持装置包括：

基架；

两个支架，设置于所述基架，至少一个所述支架与所述基架移动连接；

驱动件，与至少一个所述支架驱动连接，用于使两个所述支架沿相互靠近和远离的方向移动；

两个夹持组件，每个所述支架上均设置一个所述夹持组件，两个所述夹持组件用于相互靠近以夹持晶棒以及相互远离以释放所述晶棒。

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持组件包括：

连接件，设置于所述基架；

夹持件，所述夹持件的第一端设置于所述支架，所述夹持件的第二端贯穿所述连接件且与所述连接件滑动连接；

所述夹持装置处于夹持状态时，两个所述夹持件用于相互靠近以夹持所述晶棒。

3.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置还包括：第一缓冲件；

所述夹持件通过所述第一缓冲件与所述支架缓冲连接，所述第一缓冲件用于对所述夹持件施加远离所述支架的缓冲力。

4.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置还包括：第二缓冲件；

所述第二缓冲件设置于所述支架，所述第二缓冲件的缓冲端位于所述支架和所述基架之间，所述缓冲端用于与所述基架缓冲接触以对所述支架施加远离所述基架的缓冲力。

5.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置还包括：可伸缩密封套；

所述可伸缩密封套套设于所述夹持件上，且所述可伸缩密封套的两端分别与所述支架和所述连接件密封连接。

6.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置还包括：限位件；

所述限位件的第一端与所述支架固定连接，所述限位件的第二端贯穿所述基架，且所述限位件的第二端设置有限制所述限位件沿远离所述基架移动的限位结构。

7.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置还包括：

导向件，设置于所述基架；

移动件，所述移动件与所述导向件滑动连接，所述移动件与所述支架固定连接。

8.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述驱动件为伸缩缸，所述伸缩缸的固定端和伸缩端分别与两个所述支架连接。

9.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述基架包括：

固定件，两个所述固定件相对且间隔设置；

基板，具有相对的两端，所述基板的两端分别与所述固定件连接；两个支架分别设置于所述基板的两端，至少一个所述支架与所述基板移动连接。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括副室和如权利要求1至9任一项所述的夹持装置；

所述夹持装置设置于所述副室的侧壁，所述夹持组件沿所述副室的径向伸入所述副室内，用于夹持固定晶棒。

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