CN218268558U - 气源柜 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种气源柜。该气源柜包括气柜模组和电柜模组，气柜模组包括气柜柜体和独立设在气柜柜体内的气路组件、气源组件和真空组件，电柜模组包括电柜柜体和独立设在电柜柜体内的射频电源组件、强电组件和弱电组件。气柜柜体和电柜柜体可拆卸连接。该气源柜的运输成本较低，方便运输，且通用性较好。

Description

气源柜

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种气源柜。

背景技术

气源柜作为气相沉积设备中不可或缺的重要组成部分，其机架结构的合理化设计对厂内生产组装、中途打包运输、现场售后维护都有着不容忽视的作用。

现有镀膜设备的气源柜主要存在以下不足和缺陷：第一：机架一体化体积庞大，不利于长途运输，尤其是海运，现有设备只能利用框架柜运输，运输成本很高，第二：当不同客户有不同工艺要求或者当有多种工艺需要同时满足时，设备机架的整合通用性不高，对机架结构改动量比较大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种气源柜，该气源柜的运输成本较低，方便运输，且通用性较好。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种气源柜，包括：气柜模组，所述气柜模组包括气柜柜体和独立设在所述气柜柜体内的气路组件、气源组件和真空组件；电柜模组，所述电柜模组包括电柜柜体和独立设在所述电柜柜体内的射频电源组件、强电组件和弱电组件；其中：所述气柜柜体和所述电柜柜体可拆卸连接。

在一些实施例中，所述气路组件和所述气源组件沿前后方向间隔设置，且位于所述气柜柜体的右侧，所述真空组件设在所述气柜柜体的左侧，且用于与热炉的炉体相连以对所述炉体抽真空。

在一些实施例中，所述强电组件和所述弱电组件沿前后方向间隔设置，所述射频电源组件设在所述强电组件和所述弱电组件之间。

在一些实施例中，所述强电组件与所述气源组件相邻设置，所述弱电组件和所述气路组件相邻设置。

在一些实施例中，所述气柜柜体包括气柜框架以及下述至少一种构造，所述气柜框架为桁架结构，所述桁架结构具有多个用于支撑所述气路组件、所述气源组件和所述真空组件的气柜安装结构；气柜柜门，所述气柜柜门开合地设在所述气柜框架的前侧以及后侧；气柜封板，所述气柜封板配合在所述气柜框架的上侧以及下侧。

在一些实施例中，所述电柜柜体包括电柜框架以及下述至少一种构造，所述电柜框架为桁架结构，所述桁架结构具有多个用于支撑所述强电组件、所述弱电组件和所述射频电源组件的电柜安装结构；电柜柜门，所述电柜柜门开合地设在所述电柜框架的前侧以及后侧；电柜封板，所述电柜封板配合在所述电柜框架的上侧、下侧及右侧。

在一些实施例中，所述气源柜还包括设在所述电柜柜体的水路组件，所述水路组件设在所述射频电源组件上方且用于冷却所述射频电源组件。

在一些实施例中，所述气柜柜体和所述电柜柜体通过连接件可拆卸相连。

在一些具体的实施例中，所述气柜柜体的侧壁与所述电柜柜体的侧壁相贴合，且所述连接件为多个，多个所述连接件沿所述气柜柜体和所述电柜柜体的贴合面的轮廓间隔设置。

在一些实施例中，所述气柜柜体和所述电柜柜体的底壁上均设有支撑脚。

本实用新型的气源柜的有益效果：由于整个气源柜包括可拆卸连接的气柜模组和电柜模组，缩小了打包运输体积，解决了长距离道路运输超高问题；由于气路组件、气源组件和真空组件独立设置在气柜柜体内，射频电源组件、强电组件和弱电组件独立设置的电柜柜体内，各个组件之间不会发生干涉，可以根据用户的实际需要安装不同的组件，提升了气源柜的兼容性。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型实施例的气源柜的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的气源柜在另一个方向上的结构示意图；

图3是本实用新型实施例的气源柜拆去气柜柜门和电柜柜门的结构示意图；

图4是本实用新型实施例的气源柜拆去气柜柜门和电柜柜门在另一个方向的结构示意图；

图5是本实用新型实施例的气源柜的气柜柜体和电柜柜体的局部结构示意图；

图6是本实用新型实施例的气源柜的气柜柜体和电柜柜体的在一个方向上的局部结构示意图。

附图标记：

1、气柜柜体；11、气柜框架；111、气柜安装结构；12、气柜柜门；13、气柜封板；

2、电柜柜体；21、电柜框架；211、电柜安装结构；22、电柜柜门；23、电柜封板；

3、气路组件；4、气源组件；5、真空组件；

6、射频电源组件；7、强电组件；8、弱电组件。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图6描述本实用新型实施例的气源柜的具体结构。

本实用新型公开了一种气源柜，如图1-图2所示，本实施例的气源柜包括气柜模组和电柜模组，气柜模组包括气柜柜体1和独立设在气柜柜体1内的气路组件3、气源组件4和真空组件5，电柜模组包括电柜柜体2和独立设在电柜柜体2内的射频电源组件6、强电组件7和弱电组件8。气柜柜体1和电柜柜体2可拆卸连接。

可以理解的是，在本实施例中，由于气路组件3、气源组件4和真空组件5独立设置在气柜柜体1内部，且射频电源组件6、强电组件7和弱电组件8独立设置的电柜柜体2内部，这样各个组件之间不会发生干涉，安装位置相互独立，在实际设计过程中，可以根据用户的实际需要对气源柜进行各个组件的选装，提升了本实施例的气源柜的兼容性，提升了用户使用满意度。

与此同时，由于气柜柜体1和电柜柜体2可拆卸连接，在远距离运输时，可以将二者拆分开来分别进行打包并且选用合适尺寸的集装箱进行运输，相比于一体化机架必须选用较大或者特质的集装箱进行运输，本实施例的气源柜的运输更加方便，且运输成本更低。

需要说明的是，在本实用新型的其他实施例中，还可以根据实际需要增设用于防护气源组件4爆炸的防爆组件等其他结构，电柜柜体2和气柜柜体1的组件类型均可以根据实际需要做出取舍。

在一些实施例中，气路组件3和气源组件4沿前后方向间隔设置，且位于气柜柜体1的左侧，真空组件5设在气柜柜体1的右侧，且用于与热炉的炉体相连以对炉体抽真空。可以理解的是，气路组件3和气源组件4沿前后方向间隔设置，这样在检修过程中，气路组件3可以从气柜柜体1的前侧进行检修，气源组件4可以从气柜柜体1的后侧进行检修，方便了二者检修，且真空组件5设在气柜柜体1的右侧，一方面方便真空组件5从右侧检修，另一方面方便实现真空组件5与热炉的炉体相连，方便真空组件5工作。

在一些实施例中，强电组件7和弱电组件8沿前后方向间隔设置，射频电源组件6设在强电组件7和弱电组件8之间。可以理解的是，强电组件7和弱电组件8前后方向间隔设置，这样在检修过程，强电组件7可以从气柜柜体1的前侧进行检修，弱电组件8可以从气柜柜体1的后侧进行检修，方便了二者检修。而射频电源组件6设在二者中间，可以从气柜柜体1的侧部观察射频电源组件6的工作状态并且进行检修。

在一些实施例中，强电组件7与气源组件4相邻设置，弱电组件8和气路组件3相邻设置。由此，方便了实际接线或者组装，从而简化了气源柜的组装流程，提升了气源柜的组装效率。

在一些实施例中，气柜柜体1包括气柜框架11。气柜框架11为桁架结构，桁架结构具有多个用于支撑气路组件3、气源组件4和真空组件5的气柜安装结构111。可以理解的是，气柜框架11为桁架结构，能够方便地将气路组件3、气源组件4和真空组件5可拆卸的独立地安装在气柜安装结构111上，从而方便了用户根据实际需要对气柜柜体1内的组件种类进行选择。需要额外说明的是，气路组件3、气源组件4和真空组件5可以通过连接件连接的方式安装在气柜安装结构111上，也可以通过卡扣等方式挂设在气柜安装结构111上，具体可以根据实际需要选择，在此不对气路组件3、气源组件4和真空组件5与气柜安装结构111的可拆卸连接方式进行限定。

在一些具体的实施例中，气柜柜体1还包括气柜柜门12和气柜封板13中的至少一个，气柜柜门12开合地设在气柜框架11的前侧以及后侧，气柜封板13配合在气柜框架11的上侧以及下侧。气柜柜门12能够方便用户检修，并且能够避免外部异物进入气柜柜体1内部。气柜封板13能够将气柜柜体1在非检修方向或者配合方向进行封闭，确保气柜柜体1除去必要开口的位置其他位置均处于与外部环境隔绝的状态，避免了外部异物进入气柜柜体1，确保了气柜模组的使用可靠性。在一些实施例中，电柜柜体2包括电柜框架21，电柜框架21为桁架结构，桁架结构具有多个用于支撑强电组件7、弱电组件8和射频电源组件6的电柜安装结构211。可以理解的是，电柜框架21为桁架结构，能够方便地将强电组件7、弱电组件8和射频电源组件6可拆卸的独立地安装在电柜安装结构211上，从而方便了用户根据实际需要对电柜柜体2内的组件种类进行选择。

需要额外说明的是，强电组件7、弱电组件8和射频电源组件6可以通过连接件连接的方式安装在电柜安装结构211上，也可以通过卡扣等方式挂设在电柜安装结构211上，具体可以根据实际需要选择，在此不对强电组件7、弱电组件8和射频电源组件6与电柜安装结构211的可拆卸连接方式进行限定。

在一些具体的实施例中，电柜柜体2还包括电柜柜门22和电柜封板23中的至少一个，电柜柜门22开合地设在电柜框架21的前侧以及后侧，电柜封板23配合在电柜框架21的上侧、下侧以及右侧。可以理解的的，电柜柜门22能够方便用户检修，并且能够避免外部异物进入电柜柜体2内部。电柜封板23能够将电柜柜体2在非检修方向或者配合方向进行封闭，确保电柜柜体2除去必要开口的位置其他位置均处于与外部环境隔绝的状态，避免了外部异物进入电柜柜体2，确保了电柜模组的使用可靠性。在一些实施例中，气源柜还包括设在电柜柜体2的水路组件，水路组件设在射频电源组件6上方且用于冷却射频电源组件6。由此，能够避免射频电源组件6在工作过程中出现过热的现象，从而提升气源柜的工作可靠性。

在一些实施例中，气柜柜体1和电柜柜体2通过连接件可拆卸相连。由此，既能够方便电柜柜体2和气柜柜体1的安装和拆卸，另一方面能够确保电柜柜体2和气柜柜体1的连接稳定性，提升工作可靠性。连接件可以根据实际需要选择螺钉或者销钉等连接件。

在一些具体的实施例中，气柜柜体1的侧壁与电柜柜体2的侧壁相贴合，且连接件为多个，多个连接件沿气柜柜体1和电柜柜体2的贴合面的轮廓间隔设置。由此，能够提升气柜柜体1和电柜柜体2的连接稳定性，提升工作可靠性。

在一些实施例中，气柜柜体1和电柜柜体2的底壁上均设有支撑脚。由此，能够使得气柜柜体1的底壁和电柜柜体2的底壁与地面间隔设置，方便叉车伸入气柜柜体1和电柜柜体2的底部，从而方便二者的运输。

实施例：

下面参考图1-图6描述本实用新型一个具体实施例的气源柜的具体结构。

本实施例的气源柜包括气柜模组和电柜模组，气柜模组包括气柜柜体1、气路组件3、气源组件4和真空组件5。气柜柜体1包括气柜框架11、气柜柜门12和气柜封板13，气柜框架11为桁架结构，桁架结构具有多个气柜安装结构111，气柜柜门12开合地设在气柜框架11的前侧以及后侧，气柜封板13配合在气柜框架11的上侧以及下侧。气路组件3、气源组件4和真空组件5均设在气柜框架11内部且通过连接件安装在气柜安装结构111上。气路组件3和气源组件4沿前后方向间隔设置，且位于气柜柜体1的左侧，真空组件5设在气柜柜体1的右侧，且用于与热炉的炉体相连以对炉体抽真空。

电柜模组包括电柜柜体2、射频电源组件6、强电组件7和弱电组件8。电柜柜体2包括电柜框架21、电柜柜门22和电柜封板23，电柜框架21为桁架结构，桁架结构具有多个电柜安装结构211。射频电源组件6、强电组件7和弱电组件8均设在电柜框架21内且通过连接件在电柜安装结构211上。强电组件7和弱电组件8沿前后方向间隔设置，射频电源组件6设在强电组件7和弱电组件8之间。强电组件7与气源组件4相邻设置，弱电组件8和气路组件3相邻设置。气柜柜体1的侧壁与电柜柜体2的侧壁相贴合，且通过多个沿气柜柜体1和电柜柜体2的贴合面的轮廓间隔设置的连接件可拆卸连接。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.气源柜，其特征在于，包括：

气柜模组，所述气柜模组包括气柜柜体(1)和独立设在所述气柜柜体(1)内的气路组件(3)、气源组件(4)和真空组件(5)；

电柜模组，所述电柜模组包括电柜柜体(2)和独立设在所述电柜柜体(2)内的射频电源组件(6)、强电组件(7)和弱电组件(8)；其中：

所述气柜柜体(1)和所述电柜柜体(2)可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述气路组件(3)和所述气源组件(4)沿前后方向间隔设置，且位于所述气柜柜体(1)的右侧，所述真空组件(5)设在所述气柜柜体(1)的左侧，且用于与热炉的炉体相连以对所述炉体抽真空。

3.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述强电组件(7)和所述弱电组件(8)沿前后方向间隔设置，所述射频电源组件(6)设在所述强电组件(7)和所述弱电组件(8)之间。

4.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述强电组件(7)与所述气源组件(4)相邻设置，所述弱电组件(8)和所述气路组件(3)相邻设置。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的气源柜，其特征在于，所述气柜柜体(1)包括气柜框架(11),以及下述至少一种构造：

所述气柜框架(11)为桁架结构，所述桁架结构具有多个用于支撑所述气路组件(3)、所述气源组件(4)和所述真空组件(5)的气柜安装结构(111)；

气柜柜门(12)，所述气柜柜门(12)开合地设在所述气柜框架(11)的前侧以及后侧；

气柜封板(13)，所述气柜封板(13)配合在所述气柜框架(11)的上侧以及下侧。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的气源柜，其特征在于，所述电柜柜体(2)包括电柜框架(21)，以及下述至少一种构造：

所述电柜框架(21)为桁架结构，所述桁架结构具有多个用于支撑所述强电组件(7)、所述弱电组件(8)和所述射频电源组件(6)的电柜安装结构(211)；

电柜柜门(22)，所述电柜柜门(22)开合地设在所述电柜框架(21)的前侧以及后侧；

电柜封板(23)，所述电柜封板(23)配合在所述电柜框架(21)的上侧、下侧及右侧。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的气源柜，其特征在于，所述气源柜还包括设在所述电柜柜体(2)的水路组件，所述水路组件设在所述射频电源组件(6)上方且用于冷却所述射频电源组件(6)。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的气源柜，其特征在于，所述气柜柜体(1)和所述电柜柜体(2)通过连接件可拆卸相连。

9.根据权利要求8所述的气源柜，其特征在于，所述气柜柜体(1)的侧壁与所述电柜柜体(2)的侧壁相贴合，且所述连接件为多个，多个所述连接件沿所述气柜柜体(1)和所述电柜柜体(2)的贴合面的轮廓间隔设置。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的气源柜，其特征在于，所述气柜柜体(1)和所述电柜柜体(2)的底壁上均设有支撑脚。

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