CN218239766U - 腐蚀装置 - Google Patents

Abstract

提供一种腐蚀装置，其包括手柄、上盘体、下盘体、长直杆组以及短直杆组；上盘体设有上孔组和上圆锥体组，上孔组具有上孔，各上孔为通孔，各上圆锥体组具有上圆锥体；下盘体设有下孔组和下圆锥体组，下孔组具有下孔，各下孔为盲孔；各下圆锥体组具有下圆锥体；长直杆组具有长直杆；短直杆组具有短直杆，长直杆组和短直杆组选择性地插入上盘体和下盘体的上孔和下孔，长直杆组沿径向位于短直杆组的外侧，长直杆组在上盘体处围成上空间，上空间内的上圆锥体的顶点支撑上被腐蚀对象；短直杆组在下盘体处围成下空间，下被腐蚀对象小于上被腐蚀对象，下空间内的下圆锥体的顶点支撑下被腐蚀对象。由此，提高腐蚀装置的通用性和腐蚀效率。

Description

腐蚀装置

技术领域

本公开涉及表面处理领域，更具体地涉及一种腐蚀装置。

背景技术

晶体制作完成之后一般需要切割出头部和尾部各一片来进行表面腐蚀，以进行后续的微观晶格缺陷检测。切出的头尾晶片通常大小不一，尤其是不同批次的不同的晶体更合适如此，这对腐蚀装置的通用性和腐蚀效率提出了更高的要求。

实用新型内容

鉴于背景技术中存在的问题，本公开的目的在于提供一种腐蚀装置，其能提高腐蚀装置的通用性来适应不同尺寸的被腐蚀对象且能够提高腐蚀效率。

由此，在一些实施例中，一种腐蚀装置包括手柄、上盘体、下盘体、长直杆组以及短直杆组；手柄位于上盘体和下盘体的侧方将上盘体和下盘体固定，且手柄从上盘体向上突出，以供操作员抓握；上盘体和下盘体沿上下方向依次排列且彼此间隔开，上盘体设有从径向最外侧向径向最内侧交替排列的至少三个上孔组和至少三个上圆锥体组，上孔组具有多个上孔，各上孔组中的上孔分布在至少三个象限且位于同一圆圈上，所述至少三个上孔组所处的多个圆圈同心且彼此沿径向间隔开，各上孔为通孔，各上圆锥体组具有多个上圆锥体，各上圆锥体组中的上圆锥体分布在至少三个象限且成圈分布，所述至少三个上圆锥体组所处的圆圈同心，各上圆锥体指向上方，上盘体的所有的上圆锥体的顶点共面；下盘体设有从径向最外侧向径向最内侧交替排列的至少三个下孔组和至少三个下圆锥体组，下孔组具有多个下孔，各下孔组中的下孔分布在至少三个象限且位于同一圆圈上，所述至少三个下孔组所处的多个圆圈同心且彼此沿径向间隔开，各下孔为盲孔；各下圆锥体组具有多个下圆锥体，各下圆锥体组中的下圆锥体分布在至少三个象限且成圈分布，所述至少三个下圆锥体组所处的圆圈同心，各下圆锥体指向上方，下盘体的所有的下圆锥体的顶点共面；长直杆组具有多个长直杆；短直杆组具有多个短直杆，长直杆组和短直杆组选择性地插入上盘体和下盘体的对应圈的上孔组的上孔和对应圈的下孔组的下孔，长直杆组沿径向位于短直杆组的外侧，各长直杆的底面支撑在下盘体的对应的下孔中，各长直杆从下盘体的下孔向上延伸穿过上盘体的对应的上孔，各长直杆的顶面高于上盘体的所有的上圆锥体的顶点所共处的平面，各短直杆的底面支撑在下盘体的对应的下孔中，各短直杆从下盘体的下孔向上延伸并插入上盘体的对应的上孔，各短直杆的顶面低于上盘体的所有的上圆锥体的顶点所共处的平面，由此，长直杆组在上盘体处围成用于容置且限定上被腐蚀对象的上空间，上空间内的上圆锥体的顶点支撑上被腐蚀对象；短直杆组在下盘体处围成用于容置且限定下被腐蚀对象容置的下空间，下被腐蚀对象的外形尺寸小于上被腐蚀对象的外形尺寸，下空间内的下圆锥体的顶点支撑下被腐蚀对象。

在一些实施例中，各上孔组中的上孔以等间隔分布；各下孔组中的下孔以等间隔分布。

在一些实施例中，各上圆锥体组中的上圆锥体以等间隔分布；各下圆锥体组中的下圆锥体以等间隔分布。

在一些实施例中，所述间隔均为120度间隔或90度。

在一些实施例中，等间隔分布的上孔和上圆锥体对应地处于同一半径线上；等间隔分布的下孔和下圆锥体对应地处于同一半径线上。

在一些实施例中，各上圆锥体组中的多个上圆锥体以一组分布；各下圆锥体组中的多个下圆锥体以一组分布。

在一些实施例中，上盘体还具有贯通的上中心通孔；下盘体还具有贯通的下中心通孔；上中心通孔和下中心通孔在直径上相同，上中心通孔和下中心通孔在上下方向上对齐且共线。

在一些实施例中，上空间设置成能够允许上被腐蚀对象在其内活动；下空间设置成能够允许下被腐蚀对象在其内活动。

在一些实施例中，上盘体和下盘体均为圆盘；手柄为一体单件，且手柄为沿上下方向直线延伸的与各盘体的周缘的一部分互补的弧形板。

在一些实施例中，腐蚀装置还具有多个脚垫，多个脚垫从下盘体的周缘向下延伸，多个脚垫分布在至少三个象限且彼此间隔开，多个脚垫的底表面共面。

本公开的有益效果如下：在腐蚀装置中，通过上盘体设有从径向最外侧向径向最内侧交替排列的至少三个上孔组和至少三个上圆锥体组、下盘体设有从径向最外侧向径向最内侧交替排列的至少三个下孔组和至少三个下圆锥体组以及长直杆组和短直杆组选择性地插入上盘体和下盘体的对应圈的上孔组的上孔和对应圈的下孔组的下孔31，长直杆组对上盘体上的大的上被腐蚀对象从径向外侧进行向外限位，短直杆组对下盘体上的小的下被腐蚀对象进行限位，避免在腐蚀过程中因外部冲击或振动上被腐蚀对象和下被腐蚀对象分别在上盘体和下盘体上产生大的窜动、分别移动到上盘体和下盘体外而影响腐蚀，而且能够同时对尺寸不同的上被腐蚀对象和下被腐蚀对象进行腐蚀，能够适应被腐蚀对象和下被腐蚀对象的不同的尺寸组合。由此，提高腐蚀装置的通用性来适应不同尺寸的被腐蚀对象且能够提高腐蚀效率。

附图说明

图1是根据本本公开的腐蚀装置的示例的立体分解图。

图2是图1的一组装立体图，其中，被腐蚀对象未示出。

图3是图2的组装立体图，其中，全部被腐蚀对象已安装。

图4是图1的另一组装立体图，其中，被腐蚀对象未示出。

图5是图4的组装立体图，其中，全部被腐蚀对象已安装

其中，附图标记说明如下：

100腐蚀装置 32下圆锥体组

D上下方向 321下圆锥体

1手柄 321a顶点

2上盘体 33下中心通孔

21上孔组 4长直杆组

211上孔 41长直杆

22上圆锥体组 5短直杆组

221上圆锥体 51短直杆

221a顶点 S1上空间

23上中心通孔 S2下空间

3下盘体 6脚垫

31下孔组 200上被腐蚀对象

311下孔 300下被腐蚀对象

具体实施方式

附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。

参照图1至图5，腐蚀装置100包括手柄1、上盘体2、下盘体3、长直杆组4以及短直杆组5。

手柄1位于上盘体2和下盘体3的侧方将上盘体2和下盘体3固定，且手柄1从上盘体2向上突出，以供操作员抓握。注意的是，操作员可以为机器人、机器臂或操作人员。

上盘体2和下盘体3沿上下方向D依次排列且彼此间隔开。

上盘体2设有从径向最外侧向径向最内侧交替排列的至少三个上孔组21 和至少三个上圆锥体组22。上孔组21具有多个上孔211，各上孔组21中的上孔211分布在至少三个象限且位于同一圆圈上，所述至少三个上孔组21 所处的多个圆圈同心且彼此沿径向间隔开，各上孔211为通孔。各上圆锥体组22具有多个上圆锥体221，各上圆锥体组22中的上圆锥体221分布在至少三个象限且成圈分布，所述至少三个上圆锥体组22所处的圆圈同心，各上圆锥体221指向上方，上盘体2的所有的上圆锥体221的顶点221a共面。

下盘体3设有从径向最外侧向径向最内侧交替排列的至少三个下孔组31 和至少三个下圆锥体组32。下孔组31具有多个下孔311，各下孔组31中的下孔311分布在至少三个象限且位于同一圆圈上，所述至少三个下孔组31 所处的多个圆圈同心且彼此沿径向间隔开，各下孔311为盲孔。各下圆锥体组32具有多个下圆锥体321，各下圆锥体组32中的下圆锥体321分布在至少三个象限且成圈分布，所述至少三个下圆锥体组32所处的圆圈同心，各下圆锥体321指向上方，下盘体3的所有的下圆锥体321的顶点321a共面。

长直杆组4具有多个长直杆41。短直杆组5具有多个短直杆51。

长直杆组4和短直杆组5选择性地插入上盘体2和下盘体3的对应圈的上孔组21的上孔211和对应圈的下孔组31的下孔311，长直杆组4沿径向位于短直杆组5的外侧。各长直杆41的底面支撑在下盘体3的对应的下孔 311中，各长直杆41从下盘体3的下孔311向上延伸穿过上盘体2的对应的上孔211，各长直杆41的顶面高于上盘体2的所有的上圆锥体221的顶点221a 所共处的平面。各短直杆51的底面支撑在下盘体3的对应的下孔311中，各短直杆51从下盘体3的下孔311向上延伸并插入上盘体2的对应的上孔211，各短直杆51的顶面低于上盘体2的所有的上圆锥体221的顶点221a所共处的平面。由此，长直杆组4在上盘体2处围成用于容置且限定上被腐蚀对象 200的上空间S1，上空间S1内的上圆锥体221的顶点221a支撑上被腐蚀对象200；短直杆组5在下盘体3处围成用于容置且限定下被腐蚀对象300容置的下空间S2，下被腐蚀对象300的外形尺寸小于上被腐蚀对象200的外形尺寸，下空间S2内的下圆锥体321的顶点321a支撑下被腐蚀对象300。

在腐蚀装置100中，通过上盘体2设有从径向最外侧向径向最内侧交替排列的至少三个上孔组21和至少三个上圆锥体组22、下盘体3设有从径向最外侧向径向最内侧交替排列的至少三个下孔组31和至少三个下圆锥体组 32以及长直杆组4和短直杆组5选择性地插入上盘体2和下盘体3的对应圈的上孔组21的上孔211和对应圈的下孔组31的下孔311，长直杆组4对上盘体2上的大的上被腐蚀对象200从径向外侧进行向外限位，短直杆组5对下盘体3上的小的下被腐蚀对象300进行限位，避免在腐蚀过程中因外部冲击或振动上被腐蚀对象200和下被腐蚀对象300分别在上盘体2和下盘体3 上产生大的窜动、分别移动到上盘体2和下盘体3外而影响腐蚀，而且能够同时对尺寸不同的上被腐蚀对象200和下被腐蚀对象300进行腐蚀，能够适应被腐蚀对象200和下被腐蚀对象300的不同的尺寸组合(如图3和图5所示)。由此，提高腐蚀装置100的通用性来适应不同尺寸的被腐蚀对象且能够提高腐蚀效率。

在腐蚀装置100中，上盘体2的对应的上圆锥体221的顶点221a支撑上被腐蚀对象200是采用点支撑上被腐蚀对象200，使得上被腐蚀对象200被支撑部位的面积最小化，提高了上被腐蚀对象200的下表面被腐蚀的充分性，同样地，下盘体3的对应的下圆锥体321的顶点321a支撑下被腐蚀对象300 是采用点支撑下被腐蚀对象300，使得下被腐蚀对象300被支撑部位的面积最小化，提高了下被腐蚀对象300的下表面被腐蚀的充分性。

注意的是，腐蚀装置100在实际应用是会放置到腐蚀液槽(未示出)中进行腐蚀操作，例如，图3和图5所示的带有上被腐蚀对象200和下被腐蚀对象300的腐蚀装置100置于腐蚀液槽进行腐蚀，由此实现上被腐蚀对象200 和下被腐蚀对象300的整个表面腐蚀。

在腐蚀装置100中，未被长直杆组4和短直杆组5占据的上孔211增加了腐蚀液的连通性，从而在腐蚀装置100置于腐蚀液槽中后，增加了腐蚀液的流动性进而提高了腐蚀的充分性，此外腐蚀过程中产生的热会随着整个连通的腐蚀液以及腐蚀液槽的槽壁进行有效地散热。

注意的是，腐蚀装置100所适用的上被腐蚀对象200和下被腐蚀对象300 的尺寸大小依赖于实际情况来确定，上被腐蚀对象200和下被腐蚀对象300 可以为任何合适的被腐蚀对象，例如但不限于晶体切割出的头部和尾部晶片。

在一示例中，如图1所示，各上孔组21中的上孔211以等间隔分布；各下孔组31中的下孔311以等间隔分布。由此，长直杆组4限位上被腐蚀对象200使上被腐蚀对象200居中，短直杆组5限位下被腐蚀对象300使下被腐蚀对象300居中。在一示例中，所述间隔均为120度间隔或90度。在图1 所示的示例中，所述间隔为90度。

在一示例中，如图1所示，各上圆锥体组22中的上圆锥体221以等间隔分布；各下圆锥体组32中的下圆锥体321以等间隔分布。由此提高支撑的稳定性。在一示例中，所述间隔均为120度间隔或90度。在图1所示的示例中，所述间隔为90度。

在一示例中，如图1所示，等间隔分布的上孔211和上圆锥体221对应地处于同一半径线上；等间隔分布的下孔311和下圆锥体321对应地处于同一半径线上。由此，简化了结构设计。

在一示例中，如图1所示，上盘体2还具有贯通的上中心通孔23；下盘体3还具有贯通的下中心通孔33；上中心通孔23和下中心通孔33在直径上相同，上中心通孔23和下中心通孔33在上下方向D上对齐且共线。上中心通孔23和下中心通孔33增加了腐蚀液的连通性，从而在腐蚀装置100置于腐蚀液槽中后，增加了腐蚀液的流动性进而提高了腐蚀的充分性，此外腐蚀过程中产生的热随着整个连通的腐蚀液以及腐蚀液槽的槽壁进行有效地散热。

在一示例中，上空间S1设置成能够允许上被腐蚀对象200在其内活动；下空间S2设置成能够允许下被腐蚀对象300在其内活动。也就是说，长直杆组4与上被腐蚀对象200在径向上具有间隙，短直杆组5与下被腐蚀对象 300在径向上具有间隙，从而上被腐蚀对象200在上盘体2上具有一定程度移动的空间而下被腐蚀对象300在下盘体3上具有一定程度移动的空间，在腐蚀过程中，通过手柄1轻微晃动，上被腐蚀对象200在长直杆组4限定的上空间S1内稍微移动使得上盘体2的对应的上圆锥体221的顶点221a所点支撑的部位发生变化，从而使得上被腐蚀对象200的下表面的腐蚀更充分，同样地，下被腐蚀对象300在短直杆组5限定的下空间S2稍微移动使得下盘体3的对应的下圆锥体321的顶点311a所点支撑的部位发生变化，从而使得上被腐蚀对象200的下表面的腐蚀更充分。

在一示例中，如图1所示，上盘体2和下盘体3均为圆盘；手柄1为一体单件，且手柄1为沿上下方向D直线延伸的与各盘体的周缘的一部分互补的弧形板。

在一示例中，上盘体2和下盘体3为除了盲孔和通孔区别外其余特征相同，即形状、结构、尺寸等的全部特征相同，由此简化了上盘体2和下盘体 3的制造。

在一示例中，如图1所示，腐蚀装置100还具有多个脚垫6，多个脚垫6 从下盘体3的周缘向下延伸，多个脚垫6分布在至少三个象限且彼此间隔开，多个脚垫6的底表面共面。同样地，多个脚垫6增加了腐蚀液槽的槽底与下盘体3之间的间隔，多个脚垫6彼此间隔开增加了多个脚垫6的径向内侧的腐蚀液和多个脚垫6的径向外侧的腐蚀液的连通性，从而使得在腐蚀液槽中腐蚀过程中产生的热随着这种连通的腐蚀液以及腐蚀液槽的槽壁进行有效地散热。

注意的是，手柄1、上盘体2连同上圆锥体221、下盘体3连同下圆锥体 321、长直杆组4、短直杆组5和多个脚垫的材质均为耐腐蚀液的材质，例如但不限于聚丙烯。

上面详细的说明描述多个示范性实施例，但本文不意欲限制到明确公开的组合。因此，除非另有说明，本文所公开的各种特征可以组合在一起而形成出于简明目的而未示出的多个另外组合。

Claims (10)

1.一种腐蚀装置(100)，其特征在于，包括手柄(1)、上盘体(2)、下盘体(3)、长直杆组(4)以及短直杆组(5)；

手柄(1)位于上盘体(2)和下盘体(3)的侧方将上盘体(2)和下盘体(3)固定，且手柄(1)从上盘体(2)向上突出，以供操作员抓握；

上盘体(2)和下盘体(3)沿上下方向(D)依次排列且彼此间隔开，

上盘体(2)设有从径向最外侧向径向最内侧交替排列的至少三个上孔组(21)和至少三个上圆锥体组(22)，

上孔组(21)具有多个上孔(211)，各上孔组(21)中的上孔(211)分布在至少三个象限且位于同一圆圈上，所述至少三个上孔组(21)所处的多个圆圈同心且彼此沿径向间隔开，各上孔(211)为通孔，

各上圆锥体组(22)具有多个上圆锥体(221)，各上圆锥体组(22)中的上圆锥体(221)分布在至少三个象限且成圈分布，所述至少三个上圆锥体组(22)所处的圆圈同心，各上圆锥体(221)指向上方，上盘体(2)的所有的上圆锥体(221)的顶点(221a)共面；

下盘体(3)设有从径向最外侧向径向最内侧交替排列的至少三个下孔组(31)和至少三个下圆锥体组(32)，

下孔组(31)具有多个下孔(311)，各下孔组(31)中的下孔(311)分布在至少三个象限且位于同一圆圈上，所述至少三个下孔组(31)所处的多个圆圈同心且彼此沿径向间隔开，各下孔(311)为盲孔；

各下圆锥体组(32)具有多个下圆锥体(321)，各下圆锥体组(32)中的下圆锥体(321)分布在至少三个象限且成圈分布，所述至少三个下圆锥体组(32)所处的圆圈同心，各下圆锥体(321)指向上方，下盘体(3)的所有的下圆锥体(321)的顶点(321a)共面；

长直杆组(4)具有多个长直杆(41)；

短直杆组(5)具有多个短直杆(51)，

长直杆组(4)和短直杆组(5)选择性地插入上盘体(2)和下盘体(3)的对应圈的上孔组(21)的上孔(211)和对应圈的下孔组(31)的下孔(311)，长直杆组(4)沿径向位于短直杆组(5)的外侧，

各长直杆(41)的底面支撑在下盘体(3)的对应的下孔(311)中，各长直杆(41)从下盘体(3)的下孔(311)向上延伸穿过上盘体(2)的对应的上孔(211)，各长直杆(41)的顶面高于上盘体(2)的所有的上圆锥体(221)的顶点(221a)所共处的平面，

各短直杆(51)的底面支撑在下盘体(3)的对应的下孔(311)中，各短直杆(51)从下盘体(3)的下孔(311)向上延伸并插入上盘体(2)的对应的上孔(211)，各短直杆(51)的顶面低于上盘体(2)的所有的上圆锥体(221)的顶点(221a)所共处的平面，

由此，长直杆组(4)在上盘体(2)处围成用于容置且限定上被腐蚀对象(200)的上空间(S1)，上空间(S1)内的上圆锥体(221)的顶点(221a)支撑上被腐蚀对象(200)；

短直杆组(5)在下盘体(3)处围成用于容置且限定下被腐蚀对象(300)容置的下空间(S2)，下被腐蚀对象(300)的外形尺寸小于上被腐蚀对象(200)的外形尺寸，下空间(S2)内的下圆锥体(321)的顶点(321a)支撑下被腐蚀对象(300)。

2.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

各上孔组(21)中的上孔(211)以等间隔分布；

各下孔组(31)中的下孔(311)以等间隔分布。

3.根据权利要求2所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

各上圆锥体组(22)中的上圆锥体(221)以等间隔分布；

各下圆锥体组(32)中的下圆锥体(321)以等间隔分布。

4.根据权利要求3所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

所述间隔均为120度间隔或90度。

5.根据权利要求3所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

等间隔分布的上孔(211)和上圆锥体(221)对应地处于同一半径线上；

等间隔分布的下孔(311)和下圆锥体(321)对应地处于同一半径线上。

6.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

各上圆锥体组(22)中的多个上圆锥体(221)以一组分布；

各下圆锥体组(32)中的多个下圆锥体(321)以一组分布。

7.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

上盘体(2)还具有贯通的上中心通孔(23)；

下盘体(3)还具有贯通的下中心通孔(33)；

上中心通孔(23)和下中心通孔(33)在直径上相同，上中心通孔(23)和下中心通孔(33)在上下方向(D)上对齐且共线。

8.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

上空间(S1)设置成能够允许上被腐蚀对象(200)在其内活动；

下空间(S2)设置成能够允许下被腐蚀对象(300)在其内活动。

9.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

上盘体(2)和下盘体(3)均为圆盘；

手柄(1)为一体单件，且手柄(1)为沿上下方向(D)直线延伸的与各盘体的周缘的一部分互补的弧形板。

10.根据权利要求1所述的腐蚀装置(100)，其特征在于，

腐蚀装置(100)还具有多个脚垫(6)，多个脚垫(6)从下盘体(3)的周缘向下延伸，多个脚垫(6)分布在至少三个象限且彼此间隔开，多个脚垫(6)的底表面共面。

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