CN218235481U - 高转速螺杆真空泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了高转速螺杆真空泵，包括与泵体同轴布置的电机，泵体的泵腔内设置有螺杆转子且螺杆转子的中心轴自泵腔延伸至电机内，中心轴作为电机的电机轴与电机转子同轴固定；所述泵体的泵腔内设置有两组螺杆转子，两所述螺杆转子旋向相反且同步啮合转动以构成螺杆转子组，电机的电机转子与其中一组螺杆转子的中心轴同轴固定，两所述螺杆转子通过同步齿轮啮合传动。本实用新型省略了传统真空泵需要的联轴器、电机轴承及轴伸出端动密封等影响真空泵转速的部件，密封性极佳，可满足更大抽速更高真空度的真空泵市场需求。

Description

高转速螺杆真空泵

技术领域

本实用新型涉及真空泵领域，具体是高转速螺杆真空泵。

背景技术

螺杆真空泵是目前一种用途广泛的干式真空泵，因其无油清洁、抽速范围宽、能耗低等诸多优点，已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选的真空获得设备。

但是随着更大抽速、更高真空度要求的干式螺杆真空泵的市场需求逐渐增大，国内目前的诸多型号螺杆真空泵仅通过增大尺寸等改进已不能满足要求，因此亟待解决。

发明内容

为了避免和克服现有技术中存在的技术问题，本实用新型提供了高转速螺杆真空泵。本实用新型可满足更大抽速和更高真空度的市场需求。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

高转速螺杆真空泵，包括与泵体同轴布置的电机，泵体的泵腔内设置有螺杆转子且螺杆转子的中心轴自泵腔延伸至电机内，中心轴作为电机的电机轴与电机转子同轴固定；所述泵体的泵腔内设置有两组螺杆转子，两所述螺杆转子旋向相反且同步啮合转动以构成螺杆转子组，电机的电机转子与其中一组螺杆转子的中心轴同轴固定，两所述螺杆转子通过同步齿轮啮合传动。

作为本实用新型进一步的方案：所述泵体的两端开口且两端开口处均分别固定有封闭泵体开口的第一油箱以及第二油箱，第二油箱、泵体、第一油箱以及电机沿轴向依次固定，螺杆转子中心轴的一端穿过第一油箱后延伸至电机内，螺杆转子中心轴的另一端延伸至第二油箱内，所述第一油箱以及第二油箱内分别设置有与中心轴回转配合的第一深沟球轴承以及第二深沟球轴承，第一深沟球轴承以及第二深沟球轴承配合从而对中心轴形成两点支撑，第一油箱、第二油箱与泵体的泵腔之间通过密封件密封。

作为本实用新型再进一步的方案：位于第一油箱内的中心轴上沿远离电机方向依次同轴固定有第一迷宫密封环以及第一活塞密封环，第一迷宫密封环以及第一活塞密封环将第一油箱的油腔以及泵腔隔断，第一活塞密封环与泵腔之间设置有第一氮气密封；

位于第二油箱内的中心轴上沿远离电机方向依次同轴固定有第二活塞密封环以及第二迷宫密封环，第二活塞密封环以及第二迷宫密封环将第二油箱的油腔以及泵腔隔断，第二活塞密封环与泵腔之间设置有第二氮气密封；

所述第一迷宫密封环、第一活塞密封环、第一氮气密封、第二活塞密封环、第二迷宫密封环以及第二氮气密封共同配合以构成密封件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一深沟球轴承、第一迷宫密封环以及第一活塞密封环依次布置，第一深沟球轴承与第一油箱内的轴承压盖抵接，第一活塞密封环与中心轴一端的轴肩抵接；

所述第二活塞密封环、第二迷宫密封环以及第二深沟球轴承依次布置，第二深沟球轴承与第二油箱内的轴承压盖之间设置有波形弹簧且第二深沟球轴承与波形弹簧抵接，第二活塞密封环与中心轴另一端的轴肩抵接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一油箱以及第二油箱内均设置同轴固定在中心轴上的甩油盘以润滑第一深沟球轴承以及第二深沟球轴承；所述第一油箱以及第二油箱还设置有润滑油路以及回油管路以实现润滑油的循环使用。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型延长螺杆转子的中心轴，使其延伸至真空泵的电机腔内作为电机轴使用，通过电机内部定子和转子的电磁感应配合驱动螺杆转子的中心轴旋转，省略了传统真空泵需要的联轴器、电机轴承及轴伸出端动密封等影响真空泵转速的部件，密封性极佳，可满足更大抽速和更高真空度的真空泵市场需求。

2、本实用新型在真空泵两端的油箱内设置深沟球轴承从而对螺杆转子形成两点支撑，更适用于高转速工况的使用；其中排气段的轴承结构作为固定端，进气段的轴承结构作为活动端，通过在多层波形弹簧的设置可消除进气段深沟球轴承较大的轴向游隙。

3、本实用新型通过迷宫密封环、活塞密封套以及氮气密封的多重配合下，保证高转速下油箱与泵腔之间的密封性，使润滑油不会漏进泵腔内；甩油盘的设置利用高转速下的润滑油飞溅对轴承进行润滑冷却，油箱内还设置有润滑油路以及回油管路，可保证润滑油循环使用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：

1、螺杆转子；11、中心轴；

2、泵体；21、第一深沟球轴承；22、第一迷宫密封环；

23、第一活塞密封环；24、第二活塞密封环；

25、第二迷宫密封环；26、第二深沟球轴承；27、波形弹簧；

3、电机；31、电机转子；

4、第一油箱；41、第一氮气密封；

5、第二油箱；51、第二氮气密封。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型实施例中，高转速螺杆真空泵，包括泵体2，泵体2两侧开口，且两侧的开口处分别安装有第一油箱4以及第二油箱5，从而封闭开口。第一油箱4远离泵体2的一侧还设置有电机3，第二油箱5、泵体2、第一油箱4以及电机3沿直线方向依次布置，彼此之间通过O型密封圈密封。

泵体2的泵腔内设置有两根螺杆转子1，两组螺杆转子1中心轴11的两端分别延伸至第一油箱4和第二油箱5内，其中一组螺杆转子1的中心轴11穿过第一油箱4并延伸至电机3内。

电机3内无电机轴且电机3内设置有电机定子以及电机转子31，延伸至电机3内的螺杆转子1的中心轴11与电机转子31同轴固定，电机定子和电机转子31电磁感应配合的同时驱动中心轴11转动。

两组螺杆转子1一组作为主动件，另一组作为从动件，两组螺杆转子1位于第二油箱5内的中心轴上同轴设置有彼此啮合的传动齿轮，电机3驱动作为主动件的螺杆转子1转动时，通过传动齿轮驱动另一组螺杆转子1以相反的旋向同步啮合转动。

螺杆转子1位于第一油箱4内的中心轴11上同轴固定有第一深沟球轴承21，螺杆转子1位于第二油箱5内的中心轴11上同轴固定有第二深沟球轴承26，第一深沟球轴承21和第二深沟球轴承26对中心轴11形成两点支撑。

中心轴11的两端对称设置有轴肩，第一油箱4内设置有与第一深沟球轴承21位置对应的轴承压盖且轴承压盖与第一深沟球轴承21抵接配合。

中心轴11位于第一油箱4的一侧还设置有与中心轴11同轴布置的第一迷宫密封环22以及第一活塞密封环23，第一深沟球轴承21、第一迷宫密封环22以及第一活塞密封环23沿远离电机3方向依次布置。第一活塞密封环23与中心轴11一侧的轴肩抵接，中心轴11的轴肩与第一油箱4内的轴承压盖配合从而对第一深沟球轴承21、第一迷宫密封环22以及第一活塞密封环23产生夹持动作。第一活塞密封环23与泵体2的泵腔之间引入有第一氮气密封41，第一迷宫密封环22、第一活塞密封环23以及第一氮气密封41配合从而将第一油箱4与泵体2的泵腔隔断。

第二油箱5内设置有与第二深沟球轴承26位置对应的轴承压盖且轴承压盖与第二深沟球轴承26抵接配合。

中心轴11位于第二油箱5的一侧还沿远离电机3方向依次同轴布置有第二活塞密封环24、第二迷宫密封环25以及第二深沟球轴承26。第二活塞密封环24与中心轴11另一侧的轴肩抵接，中心轴11的轴肩与第二油箱5内的轴承压盖配合从而对第二活塞密封环24、第二迷宫密封环25以及第二深沟球轴承26产生夹持动作。第二活塞密封环24和泵体2的泵腔之间引入有第二氮气密封51，第二活塞密封环24、第二迷宫密封环25以及第二氮气密封51配合从而将第二油箱5与泵体2的泵腔隔断。

以第一深沟球轴承21为固定端，第二深沟球轴承26为活动端，由于第二深沟球轴承26具有较大的轴向和径向负载，故在第二深沟球轴承26以及第二油箱5的轴承压盖之间设置多层的波形弹簧27。

第一油箱4以及第二油箱5内还设置有与中心轴11同轴布置的甩油盘，甩油盘用于润滑第一深沟球轴承21以及第二深沟球轴承26，利用高转速下的润滑油飞溅对轴承进行润滑冷却，第一油箱4以及第二油箱5内还设置有润滑油路以及回油管路以实现润滑油的循环使用。

以上结合具体实施例描述了本申请的基本原理，但是，需要指出的是，在本申请中提及的优点、优势、效果等仅是示例而非限制，不能认为这些优点、优势、效果等是本申请的各个实施例必须具备的。另外，上述公开的具体细节仅是为了示例的作用和便于理解的作用，而非限制，上述细节并不限制本申请为必须采用上述具体的细节来实现。

本申请中涉及的器件、装置、设备、系统的方框图仅作为例示性的例子并且不意图要求或暗示必须按照方框图示出的方式进行连接、布置、配置。如本领域技术人员将认识到的，可以按任意方式连接、布置、配置这些器件、装置、设备、系统。诸如“包括”、“包含”、“具有”等等的词语是开放性词汇，指“包括但不限于”，且可与其互换使用。这里所使用的词汇“或”和“和”指词汇“和/或”，且可与其互换使用，除非上下文明确指示不是如此。这里所使用的词汇“诸如”指词组“诸如但不限于”，且可与其互换使用。

还需要指出的是，在本申请的装置、设备和方法中，各部件或各步骤是可以分解和/或重新组合的。这些分解和/或重新组合应视为本申请的等效方案。

提供所公开的方面的以上描述以使本领域的任何技术人员能够做出或者使用本申请。对这些方面的各种修改对于本领域技术人员而言是非常显而易见的，并且在此定义的一般原理可以应用于其他方面而不脱离本申请的范围。因此，本申请不意图被限制到在此示出的方面，而是按照与在此公开的原理和新颖的特征一致的最宽范围。

为了例示和描述的目的已经给出了以上描述。此外，此描述不意图将本申请的实施例限制到在此公开的形式。尽管以上已经讨论了多个示例方面和实施例，但是本领域技术人员将认识到其某些变型、修改、改变、添加和子组合。

Claims (5)

1.高转速螺杆真空泵，其特征在于，包括与泵体(2)同轴布置的电机(3)，泵体(2)的泵腔内设置有螺杆转子(1)且螺杆转子(1)的中心轴(11)自泵腔延伸至电机(3)内，中心轴(11)作为电机(3)的电机轴与电机转子(31)同轴固定；所述泵体(2)的泵腔内设置有两组螺杆转子(1)，两所述螺杆转子(1)旋向相反且同步啮合转动以构成螺杆转子组，电机(3)的电机转子(31)与其中一组螺杆转子(1)的中心轴(11)同轴固定，两所述螺杆转子(1)通过同步齿轮啮合传动。

2.根据权利要求1所述的高转速螺杆真空泵，其特征在于，所述泵体(2)的两端开口且两端开口处均分别固定有封闭泵体(2)开口的第一油箱(4)以及第二油箱(5)，第二油箱(5)、泵体(2)、第一油箱(4)以及电机(3)沿轴向依次固定，螺杆转子(1)中心轴(11)的一端穿过第一油箱(4)后延伸至电机(3)内，螺杆转子(1)中心轴(11)的另一端延伸至第二油箱(5)内，所述第一油箱(4)以及第二油箱(5)内分别设置有与中心轴(11)回转配合的第一深沟球轴承(21)以及第二深沟球轴承(26)，第一深沟球轴承(21)以及第二深沟球轴承(26)配合从而对中心轴(11)形成两点支撑，第一油箱(4)、第二油箱(5)与泵体(2)的泵腔之间通过密封件密封。

3.根据权利要求2所述的高转速螺杆真空泵，其特征在于，位于第一油箱(4)内的中心轴(11)上沿远离电机(3)方向依次同轴固定有第一迷宫密封环(22)以及第一活塞密封环(23)，第一迷宫密封环(22)以及第一活塞密封环(23)将第一油箱(4)的油腔以及泵腔隔断，第一活塞密封环(23)与泵腔之间设置有第一氮气密封(41)；

位于第二油箱(5)内的中心轴(11)上沿远离电机(3)方向依次同轴固定有第二活塞密封环(24)以及第二迷宫密封环(25)，第二活塞密封环(24)以及第二迷宫密封环(25)将第二油箱(5)的油腔以及泵腔隔断，第二活塞密封环(24)与泵腔之间设置有第二氮气密封(51)；

所述第一迷宫密封环(22)、第一活塞密封环(23)、第一氮气密封(41)、第二活塞密封环(24)、第二迷宫密封环(25)以及第二氮气密封(51)共同配合以构成密封件。

4.根据权利要求3所述的高转速螺杆真空泵，其特征在于，所述第一深沟球轴承(21)、第一迷宫密封环(22)以及第一活塞密封环(23)依次布置，第一深沟球轴承(21)与第一油箱(4)内的轴承压盖抵接，第一活塞密封环(23)与中心轴(11)一端的轴肩抵接；

所述第二活塞密封环(24)、第二迷宫密封环(25)以及第二深沟球轴承(26)依次布置，第二深沟球轴承(26)与第二油箱(5)内的轴承压盖之间设置有波形弹簧(27)且第二深沟球轴承(26)与波形弹簧(27)抵接，第二活塞密封环(24)与中心轴(11)另一端的轴肩抵接。

5.根据权利要求2～4中任意一项所述的高转速螺杆真空泵，其特征在于，所述第一油箱(4)以及第二油箱(5)内均设置同轴固定在中心轴(11)上的甩油盘以润滑第一深沟球轴承(21)以及第二深沟球轴承(26)；所述第一油箱(4)以及第二油箱(5)还设置有润滑油路以及回油管路以实现润滑油的循环使用。

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