CN218215248U - 一种能够提高电极层寿命的静电卡盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，属于半导体技术领域，包括金属基板，所述金属基板的上侧壁设有第一PI膜层，所述第一PI膜层上设有第二PI膜层，所述第一PI膜层和所述第二PI膜层间设有电极层，所述电极层的正极与第一电极组件电连接，所述电极层的负极与第二电极组件电连接，所述金属基板上设有第一通孔和第二通孔，所述第一电极组件位于所述第一通孔中，所述第二电极组件位于所述第二通孔中。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种能够提高电极层寿命的静电卡盘。
背景技术
静电卡盘包括电极层，通过给电极层通电来让静电卡盘产生吸附的能力，一般接通电极层的顶针直接与电极层接触接通电源，由于电极层的厚度较小，长时间使用容易损坏电极层，因此，需要一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，能够提高静电卡盘电极层的使用寿命。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，能够提高静电卡盘电极层的使用寿命。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：
一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，包括金属基板，所述金属基板的上侧壁设有第一PI膜层，所述第一PI膜层上设有第二PI膜层，所述第一PI膜层和所述第二PI膜层间设有电极层，所述电极层的正极与第一电极组件电连接，所述电极层的负极与第二电极组件电连接，所述金属基板上设有第一通孔和第二通孔，所述第一电极组件位于所述第一通孔中，所述第二电极组件位于所述第二通孔中。
优选的，所述第一通孔与所述第一电极组件间设有第一绝缘套，所述第二通孔与所述第二电极组件间设有第二绝缘套。
优选的，所述第一绝缘套与所述第一通孔粘接，所述第二绝缘套与所述第二通孔粘接。
优选的，所述第一绝缘套的上侧壁与所述第一PI膜层贴合，所述第二绝缘套的上侧壁与所述第一PI膜层贴合。
优选的，所述第一电极组件包括导电金属材料制成的第一电极件，所述第一电极件与所述电极层的正极连通。
优选的，所述第二电极组件包括导电金属材料制成的第二电极件，所述第二电极件与所述电极层的负极连通。
采用上述技术方案，通过设置第一PI膜层和第二PI膜层来代替静电卡盘陶瓷板，能够降低工艺难度，降低静电卡盘的生产成本，通过设置第一电极组件和第二电极组件，使得接通电极层的电源的正极顶针、负极顶针分布直接与第一电极组件、第二电极组件接通，避免顶针直接与电极层接触，降低电极层的磨损，提高电极层的使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型一种能够提高电极层寿命的静电卡盘的剖视结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
如图1所示，为一种能够提高电极层寿命的静电卡盘的剖视结构示意图，包括金属基板1，金属基板1的上侧壁设有第一PI膜层2，第一PI膜层2上设有第二PI膜层3，第一PI膜层2和第二PI膜层3间设有电极层4，电极层4的正极与第一电极组件电连接，电极层4的负极与第二电极组件电连接，金属基板1上设有第一通孔7和第二通孔8，第一电极组件位于第一通孔7中，第二电极组件位于第二通孔8中，便于电源通过第一通孔7与第一电极组件连通，进而与电极层4的正极连通，通过第二通孔8与第二电极组件连通，进而与电极层4的负极连通，避免电源的顶针直接与电极层4接触，通过第一电极件5、第二电极件6与顶针直接接触，再通过第一电极件5、第二电极件6与电极层4连通，有效的保护了电极层4，能够提高电极层4的使用寿命；
第一通孔7与第一电极组件间设有第一绝缘套9，第二通孔8与第二电极组件间设有第二绝缘套10，避免第一电极组件与第一通孔7的内侧壁接触，避免第二电极组件与第二通孔8的内侧壁接触，保证供电的安全性；
第一绝缘套9与第一通孔7粘接，第二绝缘套10与第二通孔8粘接，通过胶水粘接，连接简单，操作方便；
第一绝缘套9的上侧壁与第一PI膜层2贴合，第二绝缘套10的上侧壁与第一PI膜层2贴合，第一绝缘套9的长度可以根据第一电极件5的长度设置，第二绝缘套10的长度可以根据第二电极件6的长度设置，通过第一绝缘套9、第二绝缘套10与第一PI膜层2贴合，能够更好的保证第一电极间、第二电极件6不会与金属基板1接触；
第一电极组件包括导电金属材料制成的第一电极件5，第一电极件5与电极层4的正极连通，第一电极件5由能够导电的材料制成，用于连通顶针与电极层4，第二电极件6由能够导电的材料制成，用于连通顶针与电极层4，第一电极件5和第二电极件6均可以是纯铜制造而成；
第二电极组件包括导电金属材料制成的第二电极件6，第二电极件6与电极层4的负极连通；
采用上述技术方案，通过设置第一PI膜层2和第二PI膜层3来代替静电卡盘陶瓷板，能够降低工艺难度，降低静电卡盘的生产成本，通过设置第一电极组件和第二电极组件，使得接通电极层4的电源的正极顶针、负极顶针分布直接与第一电极组件、第二电极组件接通，避免顶针直接与电极层4接触，降低电极层4的磨损，提高电极层4的使用寿命。
以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，其特征在于：包括金属基板，所述金属基板的上侧壁设有第一PI膜层，所述第一PI膜层上设有第二PI膜层，所述第一PI膜层和所述第二PI膜层间设有电极层，所述电极层的正极与第一电极组件电连接，所述电极层的负极与第二电极组件电连接，所述金属基板上设有第一通孔和第二通孔，所述第一电极组件位于所述第一通孔中，所述第二电极组件位于所述第二通孔中。
2.根据权利要求1所述的一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，其特征在于：所述第一通孔与所述第一电极组件间设有第一绝缘套，所述第二通孔与所述第二电极组件间设有第二绝缘套。
3.根据权利要求2所述的一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，其特征在于：所述第一绝缘套与所述第一通孔粘接，所述第二绝缘套与所述第二通孔粘接。
4.根据权利要求3所述的一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，其特征在于：所述第一绝缘套的上侧壁与所述第一PI膜层贴合，所述第二绝缘套的上侧壁与所述第一PI膜层贴合。
5.根据权利要求4所述的一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，其特征在于：所述第一电极组件包括导电金属材料制成的第一电极件，所述第一电极件与所述电极层的正极连通。
6.根据权利要求1所述的一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，其特征在于：所述第二电极组件包括导电金属材料制成的第二电极件，所述第二电极件与所述电极层的负极连通。
Priority Applications (1)
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| CN202221481026.9U CN218215248U (zh) | 2022-06-11 | 2022-06-11 | 一种能够提高电极层寿命的静电卡盘 |
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Publications (1)
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ID=84645626
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Country Status (1)
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2022
- 2022-06-11 CN CN202221481026.9U patent/CN218215248U/zh active Active
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