CN218209602U

CN218209602U - 一种硅烷燃烧筒

Info

Publication number: CN218209602U
Application number: CN202222302750.7U
Authority: CN
Inventors: 田勇
Original assignee: Shanghai Weixun Engineering Technology Co ltd
Current assignee: Shanghai Weixun Engineering Technology Co ltd
Priority date: 2022-08-31
Filing date: 2022-08-31
Publication date: 2023-01-03
Anticipated expiration: 2032-08-31

Abstract

本申请公开了一种硅烷燃烧筒,涉及硅烷废气处理领域，包括支撑柱，所述支撑柱的上半部之间连接有燃烧筒，所述燃烧筒的上部分开口连接有延长筒，且延长筒上固定安装有贯穿延长筒的排气管，所述延长筒的内腔两侧壁开设有相对应设置的滑动槽，且滑动槽内活动安装有铁丝筛网，所述延长筒的内腔相对于铁丝筛网的上方转动安装有旋转杆，所述支撑柱的底部固定连接有支撑板，且支撑板的顶面相对于四个支撑柱之间安装有积灰箱，本申请通过铁丝筛网的作用，可以尽量减小烟灰出现结块现象，尽量避免了污染外界空气环境，同时由于直流电机带动旋转杆转动，从而对铁丝筛网进行波动，尽量避免烟灰黏着在上面导致过滤效果变差，延长本装置的使用寿命。

Description

一种硅烷燃烧筒

技术领域

本申请涉及硅烷废气处理领域，尤其是涉及一种硅烷燃烧筒。

背景技术

喷涂和烘干设备时以及在集成电路和电子元件的制造领域中采用化学气相淀积(CVD)技术时，其产生的工艺废气对人体是有害的，在高温下与空气接触时容易自燃，甚至常温下与空气或者氧化剂接触时也可能产生自燃，这种工艺废气主要是硅烷及氨氯等。

现有的处理方法大多是采用焚烧法来处理这些工艺废气，避免产生危险。

在实现本申请过程中，发明人发现该技术至少存在如下问题：现有的燃烧装置在工艺废气燃烧后所产生稠密的二氧化硅烟尘与气体的分离效果不好，二氧化硅烟尘容易随气体一起从排气管排入空气中，造成污染。因此需要对燃烧筒的结构加以改进，同时提出一种硅烷燃烧筒，便于更好的解决上述提出的问题。

实用新型内容

本申请的目的在于：为了解决二氧化硅烟尘容易随气体一起从排气管排入空气中的问题，本申请提供一种硅烷燃烧筒。

本申请采用的技术方案如下：

一种硅烷燃烧筒，包括支撑柱，所述支撑柱的数量有四个，且四个支撑柱的上半部之间固定连接有燃烧筒，所述燃烧筒的上部分开口固定连接有延长筒，且延长筒上固定安装有贯穿延长筒的排气管，所述延长筒的内腔两侧壁开设有相对应设置的滑动槽，且滑动槽内活动安装有铁丝筛网，所述铁丝筛网的两侧位于滑动槽的内部，且两个所述滑动槽的底部固定连接有复位弹簧，两个所述复位弹簧的顶部均与铁丝筛网固定连接，所述延长筒的内腔相对于铁丝筛网的上方转动安装有旋转杆，且旋转杆上固定安装有两个相对应设置的拨动板，所述旋转杆的右端固定安装有滑轮，所述延长筒的内壁相对滑轮的上方固定安装有直流电机，且直流电机的输出端与滑轮之间传动连接有皮带，所述支撑柱的底部固定连接有支撑板，且支撑板的顶面相对于四个支撑柱之间安装有积灰箱，所述燃烧筒的底部开口垂直插入积灰箱的内腔。

通过采用上述技术方案，燃烧产生的稠密二氧化硅烟尘在大气作用下向上升腾时，由于铁丝筛网的作用，可以尽量减小烟灰出现结块现象，尽量避免了污染外界空气环境，同时由于直流电机带动旋转杆转动，从而对铁丝筛网进行波动，尽量避免烟灰黏着在上面导致过滤效果变差，延长本装置的使用寿命。

在一优选的实施方式中，所述延长筒的上方相对于排气管的一侧固定安装有泄爆管，所述排气管上固定安装有氮气输入管。

通过采用上述技术方案，泄爆管可以尽量防止气体燃烧时突然膨胀而产生安全隐患，氮气输入管采用氮气稀释未燃烧完全的硅烷气体的浓度，起到惰性保护的作用。

在一优选的实施方式中，所述燃烧筒的一侧壁上固定安装有进气管，且进气管上开设有压缩空气进气口，所述进气管与燃烧筒呈倾斜设置。

通过采用上述技术方案，与需要进行燃烧的硅烷气体进行对接。

在一优选的实施方式中，所述支撑板的顶部滑动安装有水箱，且水箱的顶面固定安装有积灰箱，所述水箱相对于积灰箱左侧固定安装有进水管，且进水管上设置有单向阀。

在一优选的实施方式中，所述水箱相对于积灰箱的两侧均固定安装有水枪，且两个水枪均贯穿到积灰箱的内腔。

通过采用上述技术方案，利用水流对烟灰进行喷洒，从而使得烟灰快速与水熔成泥水落下。

在一优选的实施方式中，所述积灰箱的正面固定安装有把手，且把手为回字形。

通过采用上述技术方案，方便将积灰箱拉出。

综上所述，本申请的有益效果是：

1、本申请中，燃烧产生的稠密二氧化硅烟尘在大气作用下向上升腾时，由于铁丝筛网的作用，可以尽量减小烟灰出现结块现象，尽量避免了污染外界空气环境，同时由于直流电机带动旋转杆转动，从而对铁丝筛网进行波动，尽量避免烟灰黏着在上面导致过滤效果变差，延长本装置的使用寿命。

2、本申请中，泄爆管可以尽量防止气体燃烧时突然膨胀而产生安全隐患，氮气输入管采用氮气稀释未燃烧完全的硅烷气体的浓度，起到惰性保护的作用，其在积灰箱内利用水流对烟灰进行喷洒，从而使得烟灰快速与水熔成泥水落下。

附图说明

图1是本申请的结构示意图。

图2是本申请图1中A处结构放大图。

图3是本申请中水箱的俯视剖视图。

附图标记说明：

1、支撑柱；2、燃烧筒；3、延长筒；4、排气管；5、滑动槽；6、铁丝筛网；7、复位弹簧；8、旋转杆；9、拨动板；10、滑轮；11、直流电机；12、皮带；13、支撑板；14、积灰箱；15、泄爆管；16、氮气输入管；17、进气管；18、水箱；19、水枪；20、把手。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

下面将结合图1-图3对本申请实施例的一种硅烷燃烧筒进行详细的说明。

参考图1-2所示,本申请公开一种硅烷燃烧筒包括支撑柱1，支撑柱1的数量有四个，且四个支撑柱1的上半部之间固定连接有燃烧筒2，燃烧筒2的一侧壁上固定安装有进气管17，且进气管上开设有压缩空气进气口，进气管17与燃烧筒2呈倾斜设置，燃烧筒2的上部分开口固定连接有延长筒3，且延长筒3上固定安装有贯穿延长筒3的排气管4，排气管4上固定安装有氮气输入管16，采用氮气稀释未燃烧完全的硅烷气体的浓度，起到惰性保护的作用，延长筒3的上方相对于排气管4的一侧固定安装有泄爆管15，泄爆管15可以尽量防止气体燃烧时突然膨胀而产生安全隐患。

参考图1-2所示，延长筒3的内腔两侧壁开设有相对应设置的滑动槽5，且滑动槽5内活动安装有铁丝筛网6，铁丝筛网6的两侧位于滑动槽5的内部，且两个滑动槽5的底部固定连接有复位弹簧7，两个复位弹簧7的顶部均与铁丝筛网6固定连接。

参考图1-2所示，延长筒3的内腔相对于铁丝筛网6的上方转动安装有旋转杆8，且旋转杆8上固定安装有两个相对应设置的拨动板9，旋转杆8的右端固定安装有滑轮10，延长筒3的内壁相对滑轮10的上方固定安装有直流电机11，且直流电机11的输出端与滑轮10之间传动连接有皮带12。

参考图1-3所示，支撑柱1的底部固定连接有支撑板13，支撑板13的顶部滑动安装有水箱18，且水箱18的顶面固定安装有积灰箱14，燃烧筒2的底部开口垂直插入积灰箱14的内腔，水箱18相对于积灰箱14左侧固定安装有进水管，且进水管上设置有单向阀，水箱18相对于积灰箱14的两侧均固定安装有水枪19，且两个水枪19均贯穿到积灰箱14的内腔，利用水枪19对烟灰进行喷洒，从而使得烟灰快速与水熔成泥水落下，积灰箱14的正面固定安装有把手20，且把手20为回字形，方便将积灰箱14拉出。

本申请的实施原理为：硅烷等主要工艺废气与压缩空气在燃烧筒进气管17的排入口处强制混合后进入燃烧筒2内自燃，自燃后释放出未结晶的二氧化硅，自燃后产生的含二氧化硅粉尘的气体切向进入燃烧筒2的筒体内，燃烧产生的稠密二氧化硅烟尘在大气作用下向上升腾时，铁丝筛网6可以尽量减小烟灰出现结块现象，同时直流电机11带动旋转杆8转动，从而对铁丝筛网6进行波动，尽量避免烟灰黏着在上面导致过滤效果变差，而剩下的烟灰向下落在积灰箱14的内部，此时利用水枪19对烟灰进行喷洒，从而使得烟灰快速与水熔成泥水落下。

以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims

1.一种硅烷燃烧筒，包括支撑柱（1），其特征在于：所述支撑柱（1）的数量有四个，且四个支撑柱（1）的上半部之间固定连接有燃烧筒（2），所述燃烧筒（2）的上部分开口固定连接有延长筒（3），且延长筒（3）上固定安装有贯穿延长筒（3）的排气管（4），所述延长筒（3）的内腔两侧壁开设有相对应设置的滑动槽（5），且滑动槽（5）内活动安装有铁丝筛网（6），所述铁丝筛网（6）的两侧位于滑动槽（5）的内部，且两个所述滑动槽（5）的底部固定连接有复位弹簧（7），两个所述复位弹簧（7）的顶部均与铁丝筛网（6）固定连接，所述延长筒（3）的内腔相对于铁丝筛网（6）的上方转动安装有旋转杆（8），且旋转杆（8）上固定安装有两个相对应设置的拨动板（9），所述旋转杆（8）的右端固定安装有滑轮（10），所述延长筒（3）的内壁相对滑轮（10）的上方固定安装有直流电机（11），且直流电机（11）的输出端与滑轮（10）之间传动连接有皮带（12），所述支撑柱（1）的底部固定连接有支撑板（13），且支撑板（13）的顶面相对于四个支撑柱（1）之间安装有积灰箱（14），所述燃烧筒（2）的底部开口垂直插入积灰箱（14）的内腔。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷燃烧筒，其特征在于：所述延长筒（3）的上方相对于排气管（4）的一侧固定安装有泄爆管（15），所述排气管（4）上固定安装有氮气输入管（16）。

3.根据权利要求1所述的一种硅烷燃烧筒，其特征在于：所述燃烧筒（2）的一侧壁上固定安装有进气管（17），且进气管上开设有压缩空气进气口，所述进气管（17）与燃烧筒（2）呈倾斜设置。

4.根据权利要求1所述的一种硅烷燃烧筒，其特征在于：所述支撑板（13）的顶部滑动安装有水箱（18），且水箱（18）的顶面固定安装有积灰箱（14），所述水箱（18）相对于积灰箱（14）左侧固定安装有进水管，且进水管上设置有单向阀。

5.根据权利要求4所述的一种硅烷燃烧筒，其特征在于：所述水箱（18）相对于积灰箱（14）的两侧均固定安装有水枪（19），且两个水枪（19）均贯穿到积灰箱（14）的内腔。

6.根据权利要求5所述的一种硅烷燃烧筒，其特征在于：所述积灰箱（14）的正面固定安装有把手（20），且把手（20）为回字形。