CN218200900U - 半导体元件单侧夹持机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半导体元件单侧夹持机构，包括夹持机构基座、夹持机构滑台、夹爪驱动机构和夹爪组件，夹持机构滑台沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪驱动机构，夹爪驱动机构可驱动夹持机构滑台沿着X轴方向移动，夹爪组件位于夹持机构滑台的下方位置，夹爪组件沿着X轴的正方向依次包括固定侧夹爪和活动侧夹爪。本实用新型采用特殊设计的单侧开闭的夹爪组件，在位置编码器的控制下，提供了对微小元器件精确的定位能力，可以精确控制夹爪组件的张开幅度，防止夹爪组件触碰到周围的结构造成损坏。

Description

半导体元件单侧夹持机构

技术领域

本实用新型涉及半导体元件加工相关技术领域，尤其涉及一种半导体元件单侧夹持机构。

背景技术

半导体行业中，存在大量微型、易损的芯片，比如电阻电容、探针等微型元件，相当多的情况下这些小而脆弱的元件需要精确的定位及装配，传统的真空拾取元件的方式难以提供合适的固定力，常见的气动或电动夹爪均为双侧开闭，夹持位置的重复精度较大，影响微小元件装配的精度。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种半导体元件单侧夹持机构，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种半导体元件单侧夹持机构。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

半导体元件单侧夹持机构，包括夹持机构基座、夹持机构滑台、夹爪驱动机构和夹爪组件，夹持机构基座沿着Y轴正方向的一侧设置有夹持机构滑台，夹持机构滑台与夹持机构基座并列设置，夹持机构滑台沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪驱动机构，夹爪驱动机构通过驱动机构固定板安装在夹持机构基座上，夹爪驱动机构可驱动夹持机构滑台沿着X轴方向移动，夹爪组件位于夹持机构滑台的下方位置，夹爪组件沿着X轴的正方向依次包括固定侧夹爪和活动侧夹爪，固定侧夹爪通过固定侧夹爪安装板安装在夹持机构基座的底部，活动侧夹爪通过活动侧夹板安装板安装在夹持机构滑台底部沿着X轴正方向的一侧。

作为本实用新型的进一步改进，夹持机构滑台上还沿着X轴方向设置有光栅尺，光栅尺的正上方设置有与光栅尺相互配合使用的光栅尺读数头，光栅尺读数头通过读数头安装板安装在夹持机构基座上。

作为本实用新型的进一步改进，活动侧夹爪和夹持机构滑台之间还设置有力传感器，力传感器沿着X轴正方向的一侧与夹持机构滑台相连接，力传感器沿着X轴负方向的一侧通过活动侧夹板安装板与活动侧夹爪的顶部相连接。

作为本实用新型的进一步改进，夹爪驱动机构为音圈电机，音圈电机沿着X轴负方向依次包括音圈电机动子和音圈电机定子，音圈电机定子通过驱动机构固定板安装在夹持机构基座上，音圈电机动子安装在夹持机构滑台上沿着X轴负方向的一侧，音圈电机定子与沿着X轴正方向一侧的音圈电机动子相互配合使用。

作为本实用新型的进一步改进，夹持机构滑台和夹持机构基座之间还连接设置有精密导轨，精密导轨沿着X轴方向设置，夹持机构滑台通过精密导轨在夹持机构基座上沿着X轴方向移动。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型采用特殊设计的单侧开闭的夹爪组件，在位置编码器的控制下，提供了对微小元器件精确的定位能力，可以精确控制夹爪组件的张开幅度，防止夹爪组件触碰到周围的结构造成损坏。通过力传感器的结构设置，使得夹爪组件的伺服系统具有力反馈功能，可以有效的保护元件不会损坏，有效提升了微小元件的搬运精度和搬运良率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型一种半导体元件单侧夹持机构的结构示意图。

其中，图中各附图标记的含义如下。

1固定侧夹爪 2活动侧夹爪

3力传感器 4夹持机构滑台

5精密导轨 6光栅尺

7光栅尺读数头 8读数头安装板

9夹持机构基座 10音圈电机动子

11音圈电机定子 12驱动机构固定板

13固定侧夹爪安装板 14待夹持元件

15活动侧夹爪安装板

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1所示，

一种半导体元件单侧夹持机构，包括夹持机构基座9、夹持机构滑台4、夹爪驱动机构和夹爪组件，夹持机构基座9沿着Y轴正方向的一侧设置有夹持机构滑台4，夹持机构滑台4与夹持机构基座9并列设置，夹持机构滑台4沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪驱动机构，夹爪驱动机构通过驱动机构固定板12安装在夹持机构基座9上，夹爪驱动机构可驱动夹持机构滑台4沿着X轴方向移动，夹爪组件位于夹持机构滑台4的下方位置，夹爪组件沿着X轴的正方向依次包括固定侧夹爪1和活动侧夹爪2，固定侧夹爪1通过固定侧夹爪安装板13安装在夹持机构基座9的底部，活动侧夹爪2通过活动侧夹板安装板15安装在夹持机构滑台4底部沿着X轴正方向的一侧。

本实用新型的位置感应系统：夹持机构滑台4上还沿着X轴方向设置有光栅尺6，光栅尺6的正上方设置有与光栅尺6相互配合使用的光栅尺读数头7，光栅尺读数头7通过读数头安装板8安装在夹持机构基座9上。

本实用新型的力传感器感应系统：活动侧夹爪2和夹持机构滑台4之间还设置有力传感器3，力传感器3沿着X轴正方向的一侧与夹持机构滑台4相连接，力传感器3沿着X轴负方向的一侧通过活动侧夹板安装板15与活动侧夹爪2的顶部相连接。

本实用新型其中一种结构的夹爪驱动机构：夹爪驱动机构为音圈电机，音圈电机沿着X轴负方向依次包括音圈电机动子10和音圈电机定子11，音圈电机定子11通过驱动机构固定板12安装在夹持机构基座9上，音圈电机动子10安装在夹持机构滑台4上沿着X轴负方向的一侧，音圈电机定子11与沿着X轴正方向一侧的音圈电机动子10相互配合使用。除此之外，夹爪驱动机构还可以是其他可适用的线性驱动组件。

本实用新型夹持机构滑台4的运动控制组件：夹持机构滑台4和夹持机构基座9之间还连接设置有精密导轨5，精密导轨5沿着X轴方向设置，夹持机构滑台4通过精密导轨5在夹持机构基座9上沿着X轴方向移动。

精密导轨5、读数头安装板8、驱动机构固定板12、固定侧夹爪安装板13这些零部件均通过螺钉固定在夹持机构基座9上。

光栅尺读数头7用螺钉固定在读数头安装板8上，与贴在夹持机构滑台4上的光栅尺6配合，给出夹持机构滑台4活动时的位置数据。

音圈电机定子11用螺钉固定在驱动机构固定板12上，与固定在夹持机构滑台4上的音圈电机动子10配合，驱动固定在精密导轨5活动侧的夹持机构滑台4精密运行。

活动侧夹爪2用螺钉固定在力传感器3一端，力传感器3的另一端固定在夹持机构滑台4上，使力传感器3能够实时监测夹持机构对待夹持元件14的夹持力，防止损坏待夹持元件14。

夹爪组件进行张开工作时，音圈电机动子10远离音圈电机定子11，通过导向机构即精密导轨5的精确导向，推动夹持机构滑台4张开到设定的位置，随着贴在夹持机构滑台4上的光栅尺6的位置变动，光栅尺读数头7得出位置变动信息并反馈，到达设定位置后，音圈电机动子10停止运动并进行当前位置保持，完成进行夹持工作。

夹爪组件进行夹持工作时，音圈电机动子10靠近音圈电机定子11，通过导向机构即精密导轨5的精确导向，拉动夹持机构滑台4收缩到设定的位置，随着贴在夹持机构滑台4上的光栅尺6的位置变动，光栅尺读数头7得出位置变动信息并反馈，在运动期间，力传感器3对夹爪组件的阻力进行实时监控，根据不同的工作模式设定，到达设定位置/设定力的大小后，音圈电机动子10停止运动并进行当前位置保持，完成进行夹持工作。

当发生元件脱落等异常时，系统可根据力传感器3及光栅尺读数头7的数据异常判断出夹持失败，可通过外部的报警器等装置或者人工及时输出报警信息。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.半导体元件单侧夹持机构，包括夹持机构基座(9)、夹持机构滑台(4)、夹爪驱动机构和夹爪组件，其特征在于，所述夹持机构基座(9)沿着Y轴正方向的一侧设置有夹持机构滑台(4)，所述夹持机构滑台(4)与夹持机构基座(9)并列设置，所述夹持机构滑台(4)沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪驱动机构，所述夹爪驱动机构通过驱动机构固定板(12)安装在夹持机构基座(9)上，所述夹爪驱动机构可驱动夹持机构滑台(4)沿着X轴方向移动，所述夹爪组件位于夹持机构滑台(4)的下方位置，所述夹爪组件沿着X轴的正方向依次包括固定侧夹爪(1)和活动侧夹爪(2)，所述固定侧夹爪(1)通过固定侧夹爪安装板(13)安装在夹持机构基座(9)的底部，所述活动侧夹爪(2)通过活动侧夹板安装板(15)安装在夹持机构滑台(4)底部沿着X轴正方向的一侧。

2.如权利要求1所述的半导体元件单侧夹持机构，其特征在于，所述夹持机构滑台(4)上还沿着X轴方向设置有光栅尺(6)，所述光栅尺(6)的正上方设置有与光栅尺(6)相互配合使用的光栅尺读数头(7)，所述光栅尺读数头(7)通过读数头安装板(8)安装在夹持机构基座(9)上。

3.如权利要求1所述的半导体元件单侧夹持机构，其特征在于，所述活动侧夹爪(2)和夹持机构滑台(4)之间还设置有力传感器(3)，所述力传感器(3)沿着X轴正方向的一侧与夹持机构滑台(4)相连接，所述力传感器(3)沿着X轴负方向的一侧通过活动侧夹板安装板(15)与活动侧夹爪(2)的顶部相连接。

4.如权利要求1所述的半导体元件单侧夹持机构，其特征在于，所述夹爪驱动机构为音圈电机，所述音圈电机沿着X轴负方向依次包括音圈电机动子(10)和音圈电机定子(11)，所述音圈电机定子(11)通过驱动机构固定板(12)安装在夹持机构基座(9)上，所述音圈电机动子(10)安装在夹持机构滑台(4)上沿着X轴负方向的一侧，所述音圈电机定子(11)与沿着X轴正方向一侧的音圈电机动子(10)相互配合使用。

5.如权利要求1所述的半导体元件单侧夹持机构，其特征在于，所述夹持机构滑台(4)和夹持机构基座(9)之间还连接设置有精密导轨(5)，所述精密导轨(5)沿着X轴方向设置，所述夹持机构滑台(4)通过精密导轨(5)在夹持机构基座(9)上沿着X轴方向移动。

Images