CN218160195U - 一种cmp设备继电器降温装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是一种CMP设备继电器降温装置，其结构包括带有锁扣的CMP设备继电器柜门，CMP设备继电器柜门左侧从上至下间隔开有3个圆通孔，每个圆通孔周围圆周向均匀环绕开有8个安装螺孔，CMP设备继电器柜门内侧面上对应3个圆通孔装有3个微型风扇，微型风扇四个角分别通过穿过对应位置安装螺孔的固定螺丝固定在CMP设备继电器柜门内侧面上。本实用新型的优点：结构设计合理，充分巧妙地利用了设备空间，整体可安装至设备支架并固定风扇，利用风扇加速空气流动，达到有效降温的效果。可对对CMP设备继电器进行有效散热。
Description
技术领域
本实用新型涉及的是一种CMP设备继电器降温装置，具体涉及一种通过物理方法为CMP设备利用物理方法给继电器降温的装置。
背景技术
现有技术中，在半导体化学机械研磨(CMP)设备中，一部分由低压来控制较高电压的继电器由于长时间工作，普遍存在继电器发热严重并且散热缓慢的现象。由此很容易导致继电器损坏、电线接触不良甚至短路的现象，很容易发生危险。
为解决上述现象，现有技术中一般采用的方法为去除继电器周围遮挡物，加速散热。但该方法散热慢，效果不理想，无法有效满足使用需要。
实用新型内容
本实用新型提出的是一种CMP设备继电器降温装置，其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷，实现对CMP设备继电器进行有效散热。
本实用新型的技术解决方案：一种CMP设备继电器降温装置，其结构包括带有锁扣的CMP设备继电器柜门，CMP设备继电器柜门左侧从上至下间隔开有3个圆通孔，每个圆通孔周围圆周向均匀环绕开有8个安装螺孔，CMP设备继电器柜门内侧面上对应3个圆通孔装有3个微型风扇，微型风扇四个角分别通过穿过对应位置安装螺孔的固定螺丝固定在CMP设备继电器柜门内侧面上。
优选的，为了保证操作人员安全性，并一定程度防尘，每个所述的圆通孔上分别装有一防护网。
本实用新型的优点：结构设计合理，充分巧妙地利用了设备空间，整体可安装至设备支架并固定风扇，利用风扇加速空气流动，达到有效降温的效果。可对对CMP设备继电器进行有效散热。
附图说明
图1是本实用新型CMP设备继电器降温装置的结构示意图。
图中的1是CMP设备继电器柜门、2是锁扣、3是圆通孔、4是防护网、5是安装螺孔、6是微型风扇、7是固定螺丝。
具体实施方式
下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1所示，一种CMP设备继电器降温装置，其结构包括带有锁扣2的CMP设备继电器柜门1，CMP设备继电器柜门1左侧从上至下间隔开有3个圆通孔3，每个圆通孔3周围圆周向均匀环绕开有8个安装螺孔5，CMP设备继电器柜门1内侧面上对应3个圆通孔3装有3个微型风扇6，微型风扇6四个角分别通过穿过对应位置安装螺孔5的固定螺丝7固定在CMP设备继电器柜门1内侧面上。
8个安装螺孔5的设置可方便多种型号微型风扇6的安装。
每个圆通孔3上分别装有一防护网4。可保证操作人员安全性，并一定程度防尘。
根据以上结构，充分巧妙地利用了设备空间，整体可安装至设备支架并固定风扇，利用风扇加速空气流动，达到有效降温的效果。
实施例
CMP设备继电器柜门1长810mm、宽620mm，最底部圆通孔3圆心与CMP设备继电器柜门1底部间距152.5mm，圆通孔3半径56.5mm，相邻圆通孔3圆心间距255mm，圆通孔3圆心与CMP设备继电器柜门1相邻侧边间距124.5mm。
以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (2)
1.一种CMP设备继电器降温装置，其特征在于，包括带有锁扣(2)的CMP设备继电器柜门(1)，CMP设备继电器柜门(1)左侧从上至下间隔开有3个圆通孔(3)，每个圆通孔(3)周围圆周向均匀环绕开有8个安装螺孔(5)，CMP设备继电器柜门(1)内侧面上对应3个圆通孔(3)装有3个微型风扇(6)，微型风扇(6)四个角分别通过穿过对应位置安装螺孔(5)的固定螺丝(7)固定在CMP设备继电器柜门(1)内侧面上。
2.如权利要求1所述的一种CMP设备继电器降温装置，其特征在于，每个所述的圆通孔(3)上分别装有一防护网(4)。
Priority Applications (1)
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