CN218146940U

CN218146940U - 一种石英管加热装置

Info

Publication number: CN218146940U
Application number: CN202222241006.0U
Authority: CN
Inventors: 郭世成; 郁寅珑; 付少剑
Original assignee: Chuzhou Jietai New Energy Technology Co ltd
Current assignee: Chuzhou Jietai New Energy Technology Co ltd
Priority date: 2022-08-24
Filing date: 2022-08-24
Publication date: 2022-12-27
Anticipated expiration: 2032-08-24

Abstract

本申请公开了一种石英管加热装置，属于加热设备技术领域，用以实现石英管不同位置根据实际需求单独控制升温速率。所述石英管加热装置包括：石英管管体和加热电路组，其中，所述加热电路组包括多个相互独立的加热电路，且各个所述加热电路依次首尾相接环绕所述石英管管体一圈设置。

Description

一种石英管加热装置

技术领域

本申请属于加热设备技术领域，具体涉及一种石英管加热装置。

背景技术

石英管是一种用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，因其具有一系列优良的物理、化学性能，被广泛用于各种需要加热的领域，如太阳能电池领域中的镀膜。所谓镀膜是指采用等离子增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)的方法在硅片正面镀氮化硅膜，减少太阳光反射以及对硅片表面起钝化作用，其中，需要把插有未镀膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空镀膜设备腔体(如，石英管)内利用PECVD工艺进行放电镀膜。

现有石英管的加热丝一般为环绕石英管的单一环状结构，如图1所示，该环状加热丝各方位均匀的供热，但石英舟、石墨舟等工装夹具不同位置吸收热量存在差异、以及热传导性不同，使得插在所述石英舟、石墨舟不同位置的硅片温度不同，造成硅片受热不均匀，从而影响硅片的生产工艺。

实用新型内容

本申请实施例提供一种石英管加热装置，能够实现石英管不同位置根据实际需求单独控制升温速率，从而使硅片在石英管中的不同位置受热均匀，提高生产硅片的工艺水平。

第一方面，本申请实施例提供了一种石英管加热装置，包括：

石英管管体和加热电路组，其中，所述加热电路组包括多个相互独立的加热电路，且各个所述加热电路依次首尾相接环绕所述石英管管体一圈设置。

本申请实施例提供的一种石英管加热装置，包括石英管管体和加热电路组，其中，所述加热电路组包括多个相互独立的加热电路，且各个所述加热电路依次首尾相接环绕所述石英管管体一圈设置，能够实现石英管不同位置根据实际需求单独控制升温速率，从而使硅片在石英管中的不同位置受热均匀，提高生产硅片的工艺水平。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有石英管加热装置的一种结构示意图；

图2是本申请实施例提供的一种石英管加热装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

图2示出本申请的一个实施例提供的一种石英管加热装置，如图2所示，该石英管加热装置10包括：

石英管管体11和加热电路组，其中，所述加热电路组包括多个相互独立的加热电路，且各个所述加热电路依次首尾相接环绕所述石英管管体一圈设置。

如图2所示，示例性地，所述石英管加热装置可以包括121、122、123、124这四个加热电路，这四个加热电路中的加热电流分别为i1、i2、i3和i4。

在太阳能电池的镀膜工艺中，石英舟、石墨舟等工装夹具不同位置吸收热量存在差异、以及热传导性有差异，而现有石英管加热线圈为环绕石英管的单一环状结构，环状加热丝的加热电流环绕石英管一整圈，石英管各方位供热均匀，但对于上下有端面的石英舟、石墨舟等工装，其上下两端与中间两端的热吸收率明显不同，上下两端因有大面积工装材料的阻挡，吸收热量较多；中间两端相对于工装材料阻挡较少，吸热较少；同理，对于左右方向有端面的石英舟、石墨舟等工装，上下端工装材料吸热较少，左右方向工装材料吸热较多；因此对于插入在石英舟或石墨舟不同位置的硅片来说，热量会被工装材料优先吸收，影响硅片本身的温度上升，使得在此工艺条件下，不同地方硅片温度不同，产生片间、片内受热不均匀的问题。

本申请提供的石英管加热装置，由于石英管各处对应的加热电路不同，可以根据实际需要，单独控制各处的加热电路中的电流，即所述多个加热电路中对应的多个加热电流可以不完全相同，从而实现单独控制石英管不同位置的加热速率及温度。

需要说明的是，图2只是本申请所述的石英管加热装置的一种结构示意图，所述多个加热电路中加热电路的数量可以是2个或2个以上的任何整数，当然，很容易理解，在条件允许的情况下，数量越多对石英管的加热控制越精细，现实中可以根据实际需要设置所述加热电路的数量，本申请对此不作具体限制。

本申请提供的石英管加热装置，包括石英管管体和加热电路组，其中，所述加热电路组包括多个相互独立的加热电路，且各个所述加热电路依次首尾相接环绕所述石英管管体一圈设置，能够实现石英管不同位置根据实际需求单独控制升温速率，从而使硅片在石英管中的不同位置受热均匀，提高生产硅片的工艺水平。

进一步地，所述石英管加热装置10中的所述加热电路包括电热丝。

在一种实现方式中，多个所述加热电路的电热丝的长度相同，这样便于部署和控制各加热电路中电流的大小。

其中，每个电热丝通电发热，实现对晶体管内物体的加热。对于晶体管各个方位，可以通过控制该方位上的电路的发热来单独控制，从而实现对石英管不同位置进行单独控制温度的效果，使得硅片上不同位置所对应的温控速率，均为单独控制；使得硅片受工艺反应时，更加均匀可控。可以满足不同硅片放置方向所需要的不同升温速率的需求，为硅片在石英管中的不同方向的堆叠方式提供更加有效的加热装置，为硅片在石英管中反应提供了温度均匀性的基础条件。

另一种实现方式中，所述装置10包括：多个所述加热电路组，其中，多个所述加热电路组沿所述石英管管体中轴线的方向依次排列设置。

由此，多个所述加热电路组沿所述石英管管体中轴线的方向依次排列设置，进一步提高石英管的升温速度和加热效率。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。

本申请中的各个实施例采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims

1.一种石英管加热装置，其特征在于，所述装置包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述加热电路包括电热丝。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，多个所述加热电路的电热丝的长度相同。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置包括：

多个所述加热电路组，其中，多个所述加热电路组沿所述石英管管体中轴线的方向依次排列设置。