CN218119121U - 一种晶圆检测台防震底座 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种晶圆检测台防震底座，涉及设备防震的技术领域，其包括机架、底板、配重块、盖板以及承载板，所述底板固定设置于机架的底部，所述配重块固定设置于所述底板的顶面，所述配重块包括所述避让块以及支撑块，所述避让块设置于所述支撑块的顶面，所述盖板固定设置于所述避让块的顶面，所述承载板固定设置于所述盖板的顶面，所述机架包括支杆，所述承载板还包括连接板，所述连接板的一端固定连接在所述承载板上，所述连接板的另一端固定连接在所述支杆上。本申请具有减弱震动对晶圆检测的影响的效果。

Description

一种晶圆检测台防震底座

技术领域

本申请涉及设备防震领域，尤其是涉及一种晶圆检测台防震底座。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，晶圆在被制造成各种电路元件之前需要对晶圆的表面进行缺陷检测。

目前在晶圆检测时需要低温环境以减少温度对检测结果产生影响,所以有时需要在晶圆检测台设置一个低温制冷机器为晶圆检测提供一个低温环境。但是在进行低温环境下的晶圆检测时，低温制冷机器在运作时所产生的震动会对晶圆的检测产生影响。

针对上述中的相关技术，存在有低温制冷机器运作时产生的震动对晶圆检测造成影响的缺陷。

实用新型内容

为了达到减弱低温制冷机器运作时对晶圆检测造成影响的目的，本申请的目的是提供一种晶圆检测台防震底座。

本申请提供的一种晶圆检测台防震底座采用如下的技术方案：一种低温晶圆检测台防震底包括机架、底板、配重块、盖板以及承载板，所述底板固定设置于机架的底部，所述配重块固定设置于所述底板的顶面，所述配重块包括避让块以及支撑块，所述避让块设置于所述支撑块的顶面，所述盖板固定设置于所述避让块的顶面，所述承载板固定设置于所述盖板的顶面，所述机架包括支杆，所述承载板还包括连接板，所述连接板的一端固定连接在所述承载板上，所述连接板的另一端固定连接在所述支杆上。

通过采用上述技术方案，机架的上设置底板，并在底板上放置配重块，配重块分为避让块以及支撑块，避让块放置在支撑块上面，以对低温制冷机器进行避让，以使得低温制冷机器有合适的安装空间，在避让块上面设置盖板，在盖板上放置承载板，承载板固定安装在盖板上，盖板固定安装在避让块上，避让块固定安装在支撑块上，支撑块固定安装在底板上，承载板的两边还固定安装了两个连接板，连接板的另一半固定安装在机架上的支杆上，将各部件固定安装在一起，低温制冷机器在进行工作时，会产生震动，通过防震底座上的配重块与机架进行连接，配重块的重量来消耗低温制冷机器产生震动的能量，以此将低温制冷机器的震动幅度较小，达到减弱晶圆检测台的震动的效果。

优选的，所述支撑块开设有连接通孔，所述配重块还包括紧固螺丝，所述紧固螺丝与所述连接通孔螺纹配合。

通过采用上述技术方案，支撑块中开设的连接通孔中穿过紧固螺丝，将支撑块通过紧固螺丝连接在一起，螺纹连接更加稳定，避免支撑块随意乱动，避免出现支撑块掉落砸伤人体的情况出现。

优选的，一种晶圆检测台防震底座，还包括底轮，所述底轮设置在所述底板的底面，所述底轮包括安装架、支撑架以及移动轮，所述移动轮固定设置在所述安装架上，所述支撑架贯穿设置于安装架中。

通过采用上述技术方案，在底轮底面设置底轮，底轮的安装架中设置移动轮，防震底座设置有配重块，因此防震底座的重量比较大，移动很不方便，通过移动轮能够使得防震底座更加容易被移动。

优选的，所述安装架包括容置槽、调节齿轮以及滚轮架，所述滚轮架设置有安装槽，所述移动轮包括轮轴，所述轮轴卡接设置在所述安装槽中，所述支撑架包括顶架、底架以及调节螺杆，所述调节齿轮与所述调节螺杆螺纹连接，所述顶架设置于所述安装架的顶面，所述底架设置于所述安装架的底面。

通过采用上述技术方案，整个安装架中上下设置支撑架，并且支撑架的顶架和底架设置在安装架的顶面和底面，中间通过调节螺杆进行连接，调节螺杆上设置调节齿轮，当用户将防震底座移动至预计位置后不再需要移动防震底座时，通过旋转调节齿轮，使得调节齿轮的顶面对安装架容置槽的槽顶进行抵接，使得安装架在调节齿轮的作用下向上移动，以使得设置在滚轮架上的移动轮向上被顶起而离开地面，将防震底座的底轮的移动轮收起来，防震底座的位置被确定下来，不容易再被移动。

优选的，所述承载板的中部开设有放置孔，所述放置孔中穿过有低温制冷机器，所述避让块设置有两个，所述支撑块设置有两组，所述避让块的宽度小于所述支撑块的宽度，所述低温制冷机器位于两个所述避让块之间。

通过采用上述技术方案，两个避让块中间留有空间对穿过承载板而设置的低温制冷机器进行容放，在两个避让块中放置低温制冷机器，将防震底座移动放置在机架中，并将连接在支杆上，安装更加方便。

优选的，所述底架开设有限位槽，所述限位槽的宽度大于所述移动轮的宽度。

通过采用上述技术方案，移动轮是卡接在安装槽中的，在移动过程中，轮轴安装的方式并不是十分的稳定,在底架上开设限位槽,移动轮在移动过程中,移动轮的两侧面受到限位槽的槽壁的限位作用,移动轮旋转不会左右偏移过大,不容易意外脱落出安装槽中。

优选的，所述安装架围绕所述支撑架旋转。

通过采用上述技术方案，安装架围绕支撑架旋转，支撑架上的滚轮架上安装的移动轮能够随着支撑架在安装架上的旋转而旋转，使得在防震底座移动过程中，移动轮能够朝任意方向旋转，防震底座的移动更加顺滑流畅。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1. 用防震底座的重量来减弱低温制冷机器在运作时对检测台的影响；

2. 旋转调节齿轮，移动轮向上被顶起而离开地面，防震底座的位置被确定下来，不容易再被移动；

3. 防震底座移动过程中，移动轮能够朝任意方向旋转，防震底座的移动更加顺滑流畅。

附图说明

图1是本申请的整体结构示意图；

图2是本申请防震底座整体结构示意图；

图3是本申请防震底座侧视图；

图4是图3中A-A剖视图；

图5是底轮侧视图；

图6是底轮仰视图。

附图标记说明，1、机架；11、支杆；2、底板；3、底轮；31、安装架；311、容置槽；312、调节齿轮；313、滚轮架；3131、安装槽；32、支撑架；321、顶架；322、底架；3221、限位槽；323、调节螺杆；33、移动轮；331、轮轴；4、配重块；41、避让块；411、安装通孔；4111、第一孔段；4112、第二孔段；42、紧固螺丝；43、支撑块；431、连接通孔；5、盖板；6、承载板；61、连接板；611、第一安装孔；612、第二安装孔；62、第三安装孔；63、放置孔。

具体实施方式

以下结合附图1-附图6，对本申请作进一步详细说明。

一种晶圆检测台防震底座，防震底座设置在机架1中，参照图1和图2，一种晶圆检测台防震底座包括机架1包括承载板6、盖板5、配重块4、底板2、底轮3一个顶板和四个支腿，底板2的开设有四个螺丝安装孔以及四个轮架安装孔，螺丝安装孔与轮架安装孔上下贯穿底板2，底板2的底面固定设置有底轮3，顶板上设置有晶圆检测台，两个相邻的支腿上连接有支杆11，杆中部设置有四个螺纹孔。

参照图3和图4，底板2的顶面固定设置有两组配重块4，具体的，每组配重块4包括一个避让块41以及两组支撑块43，每组包括五个支撑块43，避让块41和支撑块43呈矩形块，支撑块43开设有两个连接通孔431，连接通孔431的孔壁设置有内螺纹，五个支撑块43的形状轮廓大小一致，五个支撑块43上下叠放设置，具体的，五个支撑块43中上下对应的连接通孔431轴线共线。避让块41开设有两个安装通孔411，安装通孔411分为第一孔段4111以及第二孔段4112，第一孔段4111与第二孔段4112相连通，第一孔段4111的直径大于第二孔段4112的直径，第二孔段4112的孔壁设置有内螺纹，两个安装通孔411中分别放置有两个紧固螺丝42，具体的，紧固螺丝42包括旋扭部以及螺纹部，旋扭部的直径等于第一孔段4111的直径，螺纹部的直径等于第一孔段4111的直径，连接通孔431的直径等于螺纹部的直径，第一孔段4111与连接通孔431的轴线共线，螺纹部与第一孔段4111以及连接通孔431螺纹连接，以将一个避让块41和五个支撑块43连接固定在一起。

参照图1和2，两个避让块41的顶部分别固定设置有盖板5，具体的，盖板5的底面的面积等于避让块41顶面的面积，避让块41的四个边角的位置处分别开设有螺纹通孔，盖板5的四个边角的位置处分别开设有封闭螺孔，盖板5通过螺丝固定安装在避让块41的顶面。盖板5的顶面固定设置有承载板6，承载板6两组第三安装孔62，每组安装孔包括四个第三安装孔62，四个第三安装孔62的轴线分别与对应盖板5开设的封闭螺孔的轴线共线，通过螺丝将承载板6与两个盖板5连接在一起，承载板6的两侧还分别固定设置有两连接板61，连接板61远离承载板6的一边设置有四个第一安装孔611，用于与螺丝螺纹连接以将连接板61固定在支杆11上，连接板61靠近承接板的一边设置有两个第二安装孔612， 用于与螺丝螺纹连接；承载板6中部还开有放置孔63，放置孔63穿过有低温制冷机器，低温制冷机器位于两个避让块41之间。

参照图5和图6底轮3包括安装架31、支撑架32以及移动轮33，安装架31的顶部和底部开设有安装通孔411，支撑架32包括顶架321、底架322以及调节螺杆323，顶架321设置在安装架31的顶部，底架322设置在安装架31的底部，支撑架32安装在安装架31上后，能够围绕调节螺杆323进行旋转，顶架321与底架322均开设有螺纹通孔，调节螺杆323与顶架321和底架322的螺纹通孔螺纹配合，顶架321与底架322通过调节螺杆323进行连接，以使得支撑架32贯穿设置在安装架31中。安装架31中部开设有容置槽311，容置槽311中放置有调节齿轮312，具体的调节齿轮312中部开设有螺纹通孔，调节齿轮312与调节螺杆323螺纹配合，旋动调节齿轮312在调节螺杆323上进行上下移动，以使得底架322将安装架31顶起，安装架31还包括滚轮架313，滚轮架313的底部设置有安装槽3131，安装槽3131的槽壁开设有两个轴孔，安装槽3131中设置有移动轮33，移动轮33呈圆柱状，移动轮33的两侧边的中部一体设置有两个轮轴331，轮轴331与安装槽3131侧壁上的两个轴孔配合，底架322还开设有限位槽3221，限位槽3221的宽度大于移动轮33的宽度以对移动轮33在移动时进行限位，防止移动轮33意外脱落出安装槽3131中。顶架321上的螺纹通孔与轮架安装孔的轴线共线，底轮3通过螺丝安装在底板2的底面。

本申请实施例的实施原理为：在底板2的底面的四个边角的位置处分别设置四个底轮3，在底板2的顶面依次向上叠放五个支撑块43，通过紧固螺丝42将五个支撑块43连接固定，在最顶部的支撑块43上设置避让块41，对两个避让块41之间放置的低温制冷机器进行位置避让，在避让块41上设置盖板5件紧固螺丝42的螺纹孔封闭，盖板5上固定设置承载板6，在承载板6的两边与两个支杆11之间设置连接板61，通过连接板61将承载板6和支杆11连接起来，当用户将整个防震底座通过连接板61连接在支杆11上后，通过防震底座自身的重量来抵消低温制冷机器在运作时产生的一部分震动，较弱震动对晶圆检测的影响，当不需要对防震底座的位置调节时，通过旋扭调节齿轮312，在调节螺杆323中向上旋转，使得调节齿轮312的顶部与安装架31的容置槽311的槽顶抵接，并将安装架31向上顶起沿着调节杆竖直向上运动，以使得移动轮33离开地面，底架322对地面进行支撑，整个装置的位置被确定，不容易被移动。

本具体实施方式的实施例均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，其中相同的零部件用相同的附图标记表示。故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆检测台防震底座，其特征在于，包括机架(1)、底板(2)、配重块(4)、盖板(5)以及承载板(6)，所述底板(2)固定设置于机架(1)的底部，所述配重块(4)固定设置于所述底板(2)的顶面，所述配重块(4)包括避让块(41)以及支撑块(43)，所述避让块(41)设置于所述支撑块(43)的顶面，所述盖板(5)固定设置于所述避让块(41)的顶面，所述承载板(6)固定设置于所述盖板(5)的顶面，所述机架(1)包括支杆(11)，所述承载板(6)还包括连接板(61)，所述连接板(61)的一端固定连接在所述承载板(6)上，所述连接板(61)的另一端固定连接在所述支杆(11)上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测台防震底座，其特征在于，所述支撑块(43)开设有连接通孔(431)，所述配重块(4)还包括紧固螺丝(42)，所述紧固螺丝(42)与所述连接通孔(431)螺纹配合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测台防震底座，其特征在于，还包括底轮(3)，所述底轮(3)包括安装架(31)、支撑架(32)以及移动轮(33)，所述移动轮(33)固定设置在所述安装架(31)上，所述支撑架(32)贯穿设置于安装架(31)中。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测台防震底座，其特征在于，所述安装架(31)包括容置槽(311)、调节齿轮(312)以及滚轮架(313)，所述滚轮架(313)设置有安装槽(3131)，所述移动轮(33)包括轮轴(331)，所述轮轴(331)可卡接设置在所述安装槽(3131)中，所述支撑架(32)包括顶架(321)、底架(322)以及调节螺杆(323)，所述调节齿轮(312)与所述调节螺杆(323)螺纹连接，所述顶架(321)设置于所述安装架(31)的顶面，所述底架(322)设置于所述安装架(31)的底面。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测台防震底座，其特征在于，所述承载板(6)的中部开设有放置孔(63)，所述放置孔(63)中穿过有低温制冷机器，所述避让块(41)设置有两个，所述支撑块(43)设置有两组，所述避让块(41)的宽度小于所述支撑块(43)的宽度，所述低温制冷机器位于两个所述避让块(41)之间。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆检测台防震底座，其特征在于，所述底架(322)开设有限位槽(3221)，所述限位槽(3221)的宽度大于所述移动轮(33)的宽度。

7.根据权利要求3所述的一种晶圆检测台防震底座，其特征在于，所述安装架(31)围绕所述支撑架(32)旋转。

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