CN218114283U - 用于晶圆的自动化输送检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了用于晶圆的自动化输送检测设备，包括机架，机架上固定安装有晶圆夹持机构和缺陷检测机构，缺陷检测机构设置在晶圆夹持机构的上方，晶圆夹持机构包括数个夹爪和数个第一气缸，数个夹爪圆形阵列布置安装在机架上，夹爪包括下爪和上爪，下爪固定安装在机架上，第一气缸的伸缩杆一一对应带动上爪平移运动，上爪一一对应设置在下爪的下方，机架内固定安装有第二气缸，第二气缸的伸缩杆处固定安装有气缸架，气缸架内固定安装有第三气缸，第三气缸竖向设置在晶圆夹持机构的中部，第三气缸的伸缩杆处固定安装有顶板，机架上固定安装有输送机构，晶圆夹持机构和输送机构之间相互左右分开设置，输送机构高于夹爪设置。

Description

用于晶圆的自动化输送检测设备

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其是涉及用于晶圆的自动化输送检测设备。

背景技术

在半导体器件(例如MEMS器件)制造的过程中，需要对晶圆进行外观检测，以检出明显的外观缺陷，避免影响半导体器件的质量；而在对晶圆的外观缺陷进行检测时，需要夹持机构固定晶圆，使晶圆保持一定状态。目前在晶圆的缺陷检测时，需要手动将晶圆安装到夹持机构上，检测完成后还需要手动卸下晶圆，并换上下一个晶圆进行检测，自动化程度低，导致检测效率低，作业人员的工作强度高。

实用新型内容

本实用新型为克服上述情况不足，提供了一种能解决上述问题的技术方案。

用于晶圆的自动化输送检测设备，包括机架，机架上固定安装有晶圆夹持机构和缺陷检测机构，缺陷检测机构设置在晶圆夹持机构的上方，晶圆夹持机构包括数个夹爪和数个第一气缸，数个夹爪圆形阵列布置安装在机架上，夹爪包括下爪和上爪，下爪固定安装在机架上，第一气缸的伸缩杆一一对应带动上爪平移运动，上爪一一对应设置在下爪的下方，机架内固定安装有第二气缸，第二气缸横向设置，第二气缸的伸缩杆处固定安装有气缸架，气缸架内固定安装有第三气缸，第三气缸竖向设置在晶圆夹持机构的中部，第三气缸的伸缩杆处固定安装有顶板，机架上固定安装有输送机构，晶圆夹持机构和输送机构之间相互左右分开设置，输送机构高于夹爪设置。

作为本实用新型进一步的方案：输送机构包括输送架、主动轴、从动轴、电机、链轮和链条，输送架固定安装在机架的上侧，主动轴和从动轴分别转动配合安装在输送架内的左右两端，电机固定安装在输送架的后侧，电机带动主动轴旋转，链轮设置有四个，四个链轮分别固定安装在主动轴和从动轴的前后两端，链条设置有两个，两个链条之间相互前后分开设置，两个链条一一对应配合安装在主动轴和从动轴的链轮上。

作为本实用新型进一步的方案：链条的上侧边沿高于夹爪设置，输送架的上侧边沿高于链条设置。

作为本实用新型进一步的方案：缺陷检测机构包括安装架、摄像头、调焦气缸和凸透镜，安装架固定安装在机架上，摄像头和调焦气缸均固定安装在安装架内，调焦气缸驱动凸透镜升降移动，摄像头通过凸透镜读取晶圆夹持机构位置的图像。

作为本实用新型进一步的方案：气缸架的右侧固定安装有定位杆，机架内固定安装有定位块，定位块设置在第二气缸的后侧，定位块上成型有定位孔，定位杆间隙配合安装在定位孔内。

作为本实用新型进一步的方案：上爪和下爪的内侧均成型有晶圆安装缺口。

作为本实用新型进一步的方案：夹爪和第一气缸均设置有三个以上。

作为本实用新型进一步的方案：机架的下侧固定安装有若干个万向轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：手动将晶圆放置到数个夹爪的下爪上，启动第一气缸，第一气缸带动上爪平移，使得晶圆自动装夹在下爪和上爪之间，缺陷检测机构对晶圆进行检测，检测完成后，第一气缸缩回，使得上爪平移离开下爪，启动第三气缸，第三气缸驱动顶板上升，顶板顶起晶圆，启动第二气缸，第二气缸带动晶圆移动到输送机构上，输送机构将晶圆运输到下一工序，能够电动控制装夹、卸料和运输，自动化程度高，提高了晶圆缺陷检测的效率。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的A处放大结构示意图。

图3是本实用新型的俯视结构示意图。

图中所示：1、机架；2、晶圆夹持机构；3、缺陷检测机构；31、安装架；32、摄像头；33、调焦气缸；34、凸透镜；4、夹爪；5、第一气缸；6、下爪；7、上爪；8、第二气缸；9、气缸架；10、第三气缸；11、顶板；12、输送机构；13、输送架；14、主动轴；15、从动轴；16、电机；17、链轮；18、链条；19、定位杆；20、定位块；21、定位孔；22、晶圆安装缺口；23、万向轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，用于晶圆的自动化输送检测设备，包括机架1，机架1上固定安装有晶圆夹持机构2和缺陷检测机构3，缺陷检测机构3设置在晶圆夹持机构2的上方，晶圆夹持机构2包括数个夹爪4和数个第一气缸5，数个夹爪4圆形阵列布置安装在机架1上，夹爪4包括下爪6和上爪7，下爪6固定安装在机架1上，第一气缸5的伸缩杆一一对应带动上爪7平移运动，上爪7一一对应设置在下爪6的下方，机架1内固定安装有第二气缸8，第二气缸8横向设置，第二气缸8的伸缩杆处固定安装有气缸架9，气缸架9内固定安装有第三气缸10，第三气缸10竖向设置在晶圆夹持机构2的中部，第三气缸10的伸缩杆处固定安装有顶板11，机架1上固定安装有输送机构12，晶圆夹持机构2和输送机构12之间相互左右分开设置，输送机构12高于夹爪4设置；

其原理是：手动将晶圆放置到数个夹爪4的下爪6上，启动第一气缸5，第一气缸5带动上爪7平移，使得晶圆自动装夹在下爪6和上爪7之间，缺陷检测机构3对晶圆进行检测，检测完成后，第一气缸5缩回，使得上爪7平移离开下爪6，启动第三气缸10，第三气缸10驱动顶板11上升，顶板11顶起晶圆，启动第二气缸8，第二气缸8带动晶圆移动到输送机构12上，输送机构12将晶圆运输到下一工序，能够电动控制装夹、卸料和运输，自动化程度高，提高了晶圆缺陷检测的效率。

作为本实用新型进一步的方案：输送机构12包括输送架13、主动轴14、从动轴15、电机16、链轮17和链条18，输送架13固定安装在机架1的上侧，主动轴14和从动轴15分别转动配合安装在输送架13内的左右两端，电机16固定安装在输送架13的后侧，电机16带动主动轴14旋转，链轮17设置有四个，四个链轮17分别固定安装在主动轴14和从动轴15的前后两端，链条18设置有两个，两个链条18之间相互前后分开设置，两个链条18一一对应配合安装在主动轴14和从动轴15的链轮17上；电机16驱动主动轴14旋转，链条18在两个链轮17之间运转，第二气缸8能够带动晶圆运输到两个链条18的上方，再通过第三气缸10的缩回实现将晶圆放置在两个链条18上的效果，两个链条18能够同步运动，能够自动化将晶圆送入下一工序。

作为本实用新型进一步的方案：链条18的上侧边沿高于夹爪4设置，输送架13的上侧边沿高于链条18设置；第二气缸8带动晶圆运输时，晶圆和顶板11不会碰到夹爪4，输送架13的设置能够给晶圆提供定位的效果，让晶圆能够稳定的在两个链条18上进行运输。

作为本实用新型进一步的方案：缺陷检测机构3包括安装架31、摄像头32、调焦气缸33和凸透镜34，安装架31固定安装在机架1上，摄像头32和调焦气缸33均固定安装在安装架31内，调焦气缸33驱动凸透镜34升降移动，摄像头32通过凸透镜34读取晶圆夹持机构2位置的图像；利用摄像头32读取晶圆的表面图像，经过计算机比对后能够判断该晶圆是否合格，调焦气缸33可以调节凸透镜34的高度，进而自动化调整摄像头32的焦点，让读取到的晶圆表面图像更加清晰，方便于计算机进行缺陷比对。

作为本实用新型进一步的方案：气缸架9的右侧固定安装有定位杆19，机架1内固定安装有定位块20，定位块20设置在第二气缸8的后侧，定位块20上成型有定位孔21，定位杆19间隙配合安装在定位孔21内；使得气缸架9的左右移动更加稳定。

作为本实用新型进一步的方案：上爪7和下爪6的内侧均成型有晶圆安装缺口22；晶圆能够夹持到上爪7和下爪6的晶圆安装缺口22内，定位更加准确。

作为本实用新型进一步的方案：夹爪4和第一气缸5均设置有三个以上；使得晶圆的装夹定位更加准确。

作为本实用新型进一步的方案：机架1的下侧固定安装有若干个万向轮23；能够方便于机架1的搬运。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (8)

1.用于晶圆的自动化输送检测设备，包括机架，机架上固定安装有晶圆夹持机构和缺陷检测机构，缺陷检测机构设置在晶圆夹持机构的上方，其特征在于：晶圆夹持机构包括数个夹爪和数个第一气缸，数个夹爪圆形阵列布置安装在机架上，夹爪包括下爪和上爪，下爪固定安装在机架上，第一气缸的伸缩杆一一对应带动上爪平移运动，上爪一一对应设置在下爪的下方，机架内固定安装有第二气缸，第二气缸横向设置，第二气缸的伸缩杆处固定安装有气缸架，气缸架内固定安装有第三气缸，第三气缸竖向设置在晶圆夹持机构的中部，第三气缸的伸缩杆处固定安装有顶板，机架上固定安装有输送机构，晶圆夹持机构和输送机构之间相互左右分开设置，输送机构高于夹爪设置。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：输送机构包括输送架、主动轴、从动轴、电机、链轮和链条，输送架固定安装在机架的上侧，主动轴和从动轴分别转动配合安装在输送架内的左右两端，电机固定安装在输送架的后侧，电机带动主动轴旋转，链轮设置有四个，四个链轮分别固定安装在主动轴和从动轴的前后两端，链条设置有两个，两个链条之间相互前后分开设置，两个链条一一对应配合安装在主动轴和从动轴的链轮上。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：链条的上侧边沿高于夹爪设置，输送架的上侧边沿高于链条设置。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：缺陷检测机构包括安装架、摄像头、调焦气缸和凸透镜，安装架固定安装在机架上，摄像头和调焦气缸均固定安装在安装架内，调焦气缸驱动凸透镜升降移动，摄像头通过凸透镜读取晶圆夹持机构位置的图像。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：气缸架的右侧固定安装有定位杆，机架内固定安装有定位块，定位块设置在第二气缸的后侧，定位块上成型有定位孔，定位杆间隙配合安装在定位孔内。

6.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：上爪和下爪的内侧均成型有晶圆安装缺口。

7.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：夹爪和第一气缸均设置有三个以上。

8.根据权利要求1所述的用于晶圆的自动化输送检测设备，其特征在于：机架的下侧固定安装有若干个万向轮。

Images