CN218110450U - 一种抛光机的湿粉尘排气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种抛光机的湿粉尘排气装置，包括机体，所述机体的侧表面固定连接有主管，所述主管的上表面固定连接有第一弯头管，所述第一弯头管远离主管的一端固定连接有风管，所述主管的下表面固定连接有直管段，所述直管段远离主管的一端固定连接有第二弯头管，所述第二弯头管远离直管段的一端固定连接有排水管；分离机构，所述分离机构包括嵌合板，且嵌合板与主管嵌合连接，所述嵌合板的两侧表面均设置有橡胶块，且橡胶块与主管嵌合连接。通过上述结构，通过对湿粉尘的搅动，可有效防止湿粉尘对主管进行堵塞，使抽出去的空气方向发生改变，以增加所有抽出的空气与管壁的接触，同时可对水汽流动进行助流，提高水汽与湿粉尘的分离效率。

Description

一种抛光机的湿粉尘排气装置

技术领域

本实用新型涉及湿粉尘排气装置技术领域，特别涉及一种抛光机的湿粉尘排气装置。

背景技术

抛光机是一种对工件表面进行抛光打磨的装置，从而实现全自动表面抛光处理，适合小工件，金属/半导体工件全自动抛光表面、去除毛刺获得表面平整及光泽度，以此抛光机备受工业领域青睐，半导体行业在对晶圆进行抛光时，会喷射抛光桨及纯水对晶圆进行抛光与清洗，导致湿粉尘与水汽一同进入主管黏着在管壁上，进行堆积，进而容易影响水汽与湿粉尘的分离效率，同时威胁排气系统安全。

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种抛光机的湿粉尘排气装置，通过对湿粉尘的搅动，可有效防止湿粉尘对主管进行堵塞，使抽出去的空气方向发生改变，以增加所有抽出的空气与管壁的接触，同时可对水汽流动进行助流，提高水汽与湿粉尘的分离效率。

本实用新型还提供具有上述一种抛光机的湿粉尘排气装置，包括：机体，所述机体的侧表面固定连接有主管，所述主管的上表面固定连接有第一弯头管，所述第一弯头管远离主管的一端固定连接有风管，所述主管的下表面固定连接有直管段，所述直管段远离主管的一端固定连接有第二弯头管，所述第二弯头管远离直管段的一端固定连接有排水管；分离机构，所述分离机构包括嵌合板，且嵌合板与主管嵌合连接，所述嵌合板的两侧表面均设置有橡胶块，且橡胶块与主管嵌合连接，所述嵌合板的下表面活动连接有搅动片，所述搅动片的侧表面设置有弹簧，且弹簧与嵌合板固定连接，所述搅动片的两侧表面均设置有布带，利用搅动片的活动可对湿粉尘进行搅动，让湿粉尘分散配合搅动片晃动产生的风力使水汽可快速与湿粉尘分离，同时使抽出去的空气方向发生改变，以增加所有抽出的空气与管壁的接触，从而提高了湿粉尘与水汽分离效率。

根据所述的一种抛光机的湿粉尘排气装置，所述第一弯头管的内部固定连接有第一镂空板，所述第一弯头管的内部位于第一镂空板的上方固定连接有第二镂空板，所述第一弯头管的内部位于第二镂空板的上方固定连接有第三镂空板，利用第一镂空板、第二镂空板与第二镂空板可增加水汽的接触面积。

根据所述的一种抛光机的湿粉尘排气装置，所述风管的内部固定连接有倾斜挡片，利用倾斜挡片的绕动使水汽凝结落下来从排水管排出。

根据所述的一种抛光机的湿粉尘排气装置，所述第二弯头管的内部设置有水封，利用水封防止排水管系统中气体窜入室内。

根据所述的一种抛光机的湿粉尘排气装置，所述嵌合板的上表面固定连接有把手，利用把手方便将嵌合板从主管的内部拽出，从而方便后期对搅动片进行清理。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步地说明；

图1为本实用新型一种抛光机的湿粉尘排气装置的内部结构示意图；

图2为本实用新型一种抛光机的湿粉尘排气装置的图1中A处结构图；

图3为本实用新型一种抛光机的湿粉尘排气装置的图1中B处结构图；

图4为本实用新型一种抛光机的湿粉尘排气装置的正视结构示意图。

图例说明：

1、机体；2、主管；3、第一弯头管；4、风管；5、第二镂空板；6、排水管；7、第二弯头管；8、直管段；9、倾斜挡片；10、水封；11、分离机构；12、第三镂空板；13、第一镂空板；

111、嵌合板；112、把手；113、橡胶块；114、布带；115、搅动片；116、弹簧。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

参照图1-4，本实用新型实施例一种抛光机的湿粉尘排气装置，包括：机体1，机体1的侧表面固定连接有主管2，主管2的上表面固定连接有第一弯头管3，第一弯头管3远离主管2的一端固定连接有风管4，主管2的下表面固定连接有直管段8，直管段8远离主管2的一端固定连接有第二弯头管7，第二弯头管7远离直管段8的一端固定连接有排水管6，第一弯头管3的内部固定连接有第一镂空板13，第一弯头管3的内部位于第一镂空板13的上方固定连接有第二镂空板5，第一弯头管3的内部位于第二镂空板5的上方固定连接有第三镂空板12，风管4的内部固定连接有倾斜挡片9，第二弯头管7的内部设置有水封10，利用第一弯头、第一镂空板13、第二镂空板5与第二镂空板5可增加水汽抽取时与第一弯头管3的接触面积，同时利用倾斜挡片9的绕动使水汽凝结落下来从排水管6排出。

分离机构11，分离机构11包括嵌合板111，且嵌合板111与主管2嵌合连接，嵌合板111的两侧表面均设置有橡胶块113，且橡胶块113与主管2嵌合连接，嵌合板111的下表面活动连接有搅动片115，搅动片115的侧表面设置有弹簧116，且弹簧116与嵌合板111固定连接，搅动片115的两侧表面均设置有布带114，嵌合板111的上表面固定连接有把手112，当嵌合板111嵌合进主管2的内部后，利用橡胶块113可提高嵌合板111与主管2的嵌合效果，由于风管4与外界风机连接，使外界风机可对机体1内抛光机抛光产生的湿粉尘进行抽取，当外界风机通过风管4对湿粉尘进行抽取时，搅动片115与布带114受风力影响可在主管2的内部晃动以及飘动，从而使湿粉尘可分散，同时利用搅拌片与布带114晃动产生的风力使水汽可快速与湿粉尘分离，利用把手112方便将嵌合板111从主管2的内部拽出，从而方便后期对搅动片115进行清理。

工作原理：使用时，利用外界风机可对机体1内抛光机抛光产生的湿粉尘进行抽取，抽取到的湿粉尘可进入主管2内，搅动片115与布带114受风力影响可在主管2的内部晃动以及飘动，从而使湿粉尘可分散，同时可对水汽进行助流，提高了水汽与湿粉尘分离效果，利用第一弯头、第一镂空板13、第二镂空板5与第二镂空板5可增加水汽抽取时与第一弯头管3的接触面积，同时利用倾斜挡片9的绕动使水汽凝结落下来从排水管6排出，气体与粉尘可通过风管4排出。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (5)

1.一种抛光机的湿粉尘排气装置，其特征在于，包括：

机体(1)，所述机体(1)的侧表面固定连接有主管(2)，所述主管(2)的上表面固定连接有第一弯头管(3)，所述第一弯头管(3)远离主管(2)的一端固定连接有风管(4)，所述主管(2)的下表面固定连接有直管段(8)，所述直管段(8)远离主管(2)的一端固定连接有第二弯头管(7)，所述第二弯头管(7)远离直管段(8)的一端固定连接有排水管(6)；

分离机构(11)，所述分离机构(11)包括嵌合板(111)，且嵌合板(111)与主管(2)嵌合连接，所述嵌合板(111)的两侧表面均设置有橡胶块(113)，且橡胶块(113)与主管(2)嵌合连接，所述嵌合板(111)的下表面活动连接有搅动片(115)，所述搅动片(115)的侧表面设置有弹簧(116)，且弹簧(116)与嵌合板(111)固定连接，所述搅动片(115)的两侧表面均设置有布带(114)。

2.根据权利要求1所述的一种抛光机的湿粉尘排气装置，其特征在于，所述第一弯头管(3)的内部固定连接有第一镂空板(13)，所述第一弯头管(3)的内部位于第一镂空板(13)的上方固定连接有第二镂空板(5)，所述第一弯头管(3)的内部位于第二镂空板(5)的上方固定连接有第三镂空板(12)。

3.根据权利要求1所述的一种抛光机的湿粉尘排气装置，其特征在于，所述风管(4)的内部固定连接有倾斜挡片(9)。

4.根据权利要求1所述的一种抛光机的湿粉尘排气装置，其特征在于，所述第二弯头管(7)的内部设置有水封(10)。

5.根据权利要求1所述的一种抛光机的湿粉尘排气装置，其特征在于，所述嵌合板(111)的上表面固定连接有把手(112)。

Images