CN218107162U - 一种单晶硅片快速切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅片快速切割装置，包括快速切割装置本体、抽风机、与所述抽风机进气端连通的吸尘嘴、集尘箱，所述吸尘嘴通过支撑杆安装在所述快速切割装置本体切割台的台面上；所述抽风机的出气端与所述集尘箱连通，所述集尘箱内固定连接有旋流板；所述集尘箱的上部连通有导气管，所述导气管的出气端连通有洗尘箱，所述洗尘箱上设置有出气管。本方案，可以有效的对切割时产生的硅粉尘进行清理，并可以对硅粉尘进行收集，以便于再利用，减少资源的浪费。

Description

一种单晶硅片快速切割装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，具体而言，涉及一种单晶硅片快速切割装置。

背景技术

硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。用于制造半导体器件、太阳能电池等。

在单晶硅加工过程中，切割是单晶硅片成型重要的一环，但是在切割过程中，现有快速切割装置不能很好的对切割时产生的粉尘进行处理，粉尘飘入到工作环境中，易对机器设备以及工人造成危害。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种单晶硅片快速切割装置，以改善相关技术中的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种单晶硅片快速切割装置，包括

快速切割装置本体、抽风机、与所述抽风机进气端连通的吸尘嘴、集尘箱，所述吸尘嘴通过支撑杆安装在所述快速切割装置本体切割台的台面上；

所述抽风机的出气端与所述集尘箱连通，所述集尘箱内固定连接有旋流板；

所述集尘箱的上部连通有导气管，所述导气管的出气端连通有洗尘箱，所述洗尘箱上设置有出气管。

在本实用新型的一种实施例中，所述洗尘箱的底部中心位置处连通排水管，所述排水管的出水端螺纹安装有第一过滤网筒。

在本实用新型的一种实施例中，所述集尘箱的内顶部安装有喷头，所述喷头的进水端通过进水管连通有水泵。

在本实用新型的一种实施例中，所述集尘箱的底部中心位置处连通有排渣管，所述排渣管的一端螺纹安装有第二过滤网筒。

在本实用新型的一种实施例中，所述水泵的进水端连通有储水箱。

在本实用新型的一种实施例中，所述吸尘嘴设置有不少于四个，且所述吸尘嘴位于所述快速切割装置本体的固定工装的侧部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过上述设计的单晶硅片快速切割装置，在快速切割装置本体对待切割的单晶硅片进行切割时，抽风机工作，使吸尘嘴产生吸力，将切割时产生的粉尘由吸尘嘴吸入到集尘箱内，通过旋流板的使用，在粉尘进入到集尘箱内后，向集尘箱上部上升的粉尘一部分与集尘箱碰撞掉落到集尘箱的底部，一部分从旋流板上的缝隙穿过，并通过喷头的使用，水泵将储水箱内的水抽送至喷头，喷头喷出的水雾与穿过旋流板的粉尘接触后，将部分粉尘黏在水雾上，掉落进集尘箱的底部，部分粉尘跟随气流通过导气管进入到洗尘箱内的水中，然后洗尘箱内的水将空气中剩余的粉尘截留在水中，清洁后的空气由出气管排出，可以有效的防止切割时产生的粉尘对工作环境造成影响。

附图说明

图1为根据本实用新型实施例提供的单晶硅片快速切割装置的俯视结构示意图；

图2为根据本实用新型实施例提供的单晶硅片快速切割装置的吸尘嘴俯视结构示意图；

图3为根据本实用新型实施例提供的单晶硅片快速切割装置的集尘箱剖视结构示意图；

图4为根据本实用新型实施例提供的单晶硅片快速切割装置的洗尘箱剖视结构示意图；

图5为根据本实用新型实施例提供的单晶硅片快速切割装置的旋流板俯视结构示意图。

图中：1、快速切割装置本体；2、抽风机；3、吸尘嘴；4、集尘箱；5、旋流板；6、导气管；7、洗尘箱；8、出气管；9、排水管；10、第一过滤网筒；11、喷头；12、水泵；13、排渣管；14、第二过滤网筒；15、储水箱。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。

另外，术语“多个”的含义应为两个以及两个以上。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

实施例1

请参阅图1-图5，本实用新型提供了一种单晶硅片快速切割装置，包括快速切割装置本体1、抽风机2、与抽风机2进气端连通的吸尘嘴3、集尘箱4，吸尘嘴3通过支撑杆安装在快速切割装置本体1切割台的台面上，吸尘嘴3设置有不少于四个，且吸尘嘴3位于快速切割装置本体1的固定工装的侧部，吸尘嘴3分布在快速切割装置本体1的固定工装的四周，在切割时可以有效将粉尘吸入到集尘箱4内；

抽风机2的出气端与集尘箱4连通，集尘箱4内固定连接有旋流板5；集尘箱4的上部连通有导气管6，导气管6的出气端连通有洗尘箱7，洗尘箱7上设置有出气管8，通过吸尘嘴3的使用，在快速切割装置本体1对待切割的单晶硅片进行切割时，抽风机2工作，使吸尘嘴3产生吸力，将切割时产生的粉尘由吸尘嘴3吸入到集尘箱4内，通过旋流板5的使用，在粉尘进入到集尘箱4内后，向集尘箱4上部上升的粉尘一部分与集尘箱4碰撞掉落到集尘箱4的底部，一部分从旋流板5上的缝隙穿过，并通过喷头11的使用，水泵12将储水箱15内的水抽送至喷头，喷头11喷出的水雾与穿过旋流板5的粉尘接触后，将部分粉尘黏在水雾上，掉落进集尘箱4的底部，部分粉尘跟随气流通过导气管6进入到洗尘箱7内的水中，然后洗尘箱7内的水将空气中剩余的粉尘截留在水中，清洁后的空气由出气管8排出，可以有效的防止切割时产生的粉尘对工作环境造成影响。

在本实施例中，洗尘箱7的底部中心位置处连通排水管9，排水管9的出水端螺纹安装有第一过滤网筒10，集尘箱4的底部中心位置处连通有排渣管13，排渣管13的一端螺纹安装有第二过滤网筒14，通过第一过滤网筒10和第二过滤网筒14的使用，在将集尘箱4内水以及洗尘箱7内的水外排时，可以将水中的硅粉截留，有利于硅粉的再利用，减少资源的浪费。

在本实施例中，集尘箱4的内顶部安装有喷头11，喷头11的进水端通过进水管连通有水泵12，水泵12的进水端连通有储水箱15，喷头11设置为雾化喷头。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种单晶硅片快速切割装置，其特征在于，包括

快速切割装置本体(1)、抽风机(2)、与所述抽风机(2)进气端连通的吸尘嘴(3)、集尘箱(4)，所述吸尘嘴(3)通过支撑杆安装在所述快速切割装置本体(1)切割台的台面上；

所述抽风机(2)的出气端与所述集尘箱(4)连通，所述集尘箱(4)内固定连接有旋流板(5)；

所述集尘箱(4)的上部连通有导气管(6)，所述导气管(6)的出气端连通有洗尘箱(7)，所述洗尘箱(7)上设置有出气管(8)。

2.如权利要求1所述的一种单晶硅片快速切割装置，其特征在于，所述洗尘箱(7)的底部中心位置处连通排水管(9)，所述排水管(9)的出水端螺纹安装有第一过滤网筒(10)。

3.如权利要求1所述的一种单晶硅片快速切割装置，其特征在于，所述集尘箱(4)的内顶部安装有喷头(11)，所述喷头(11)的进水端通过进水管连通有水泵(12)。

4.如权利要求1所述的一种单晶硅片快速切割装置，其特征在于，所述集尘箱(4)的底部中心位置处连通有排渣管(13)，所述排渣管(13)的一端螺纹安装有第二过滤网筒(14)。

5.如权利要求3所述的一种单晶硅片快速切割装置，其特征在于，所述水泵(12)的进水端连通有储水箱(15)。

6.如权利要求1所述的一种单晶硅片快速切割装置，其特征在于，所述吸尘嘴(3)设置有不少于四个，且所述吸尘嘴(3)位于所述快速切割装置本体(1)的固定工装的侧部。

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