CN218089761U - 真空镀膜机补料机构 - Google Patents

Abstract

本申请涉及真空镀膜机领域，尤其是涉及一种真空镀膜机补料机构，包括坩埚、坩埚托盘、机架、传送组件与承接组件，坩埚放置在坩埚托盘内，坩埚托盘放置在机架上，传送组件连接在机架上，传送组件用于将坩埚沿水平方向输送至蒸镀腔室外，承接组件用承接运出蒸镀腔室外的所述坩埚。本申请具有便于往坩埚内补充靶材，从而提高工作效率的效果。

Description

真空镀膜机补料机构

技术领域

本申请涉及真空镀膜机，尤其是涉及一种真空镀膜机补料机构。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行镀膜的设备，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材均同在真空腔中。

当真空镀膜机进行蒸镀时，置于坩埚内的靶材汽化飞向基片，对基材进行镀膜。当坩埚内的靶材越来越少，需要往坩埚内添加靶材，而蒸镀腔室的温度较高且空间较窄，不便往坩埚内添加靶材。

实用新型内容

为了便于往坩埚内补充靶材，本申请提供一种真空镀膜机补料机构。

本申请提供的一种真空镀膜机补料机构采用如下的技术方案：

一种真空镀膜机补料机构，包括

坩埚；

坩埚托盘，所述坩埚放置在所述坩埚托盘内；

机架，所述坩埚托盘放置在所述机架上；

传送组件，连接在所述机架上，所述传送组件用于将所述坩埚及所述坩埚托盘沿水平方向输送至蒸镀腔室外；以及

承接组件，用承接运出蒸镀腔室外的所述坩埚以及所述坩埚托盘。

通过采用上述技术方案，当需要往坩埚内补充靶材时，首先打开蒸镀腔室门，然后利用传送组件，将坩埚托盘从蒸镀腔室内输送至蒸镀腔室外，坩埚托盘承载坩埚一起移动，此时承接组件承接输送出蒸镀腔室的坩埚以及坩埚托盘，然后工人往坩埚内进行补料，最后利用承接组件再次将坩埚输送至蒸镀腔室内。

上述技术方案通过传送组件与承接组件的相互配合，从而达到便于往坩埚内补充靶材，提高工作效率的效果。

可选的，所述传送组件包括若干组滚轮组、导轨，每组所述滚轮组包括至少两个滚轮，所述滚轮连接在所述机架上，若干组所述滚轮组沿水平方向依次铺设，所述滚轮用于支撑所述坩埚托盘，所述导轨连接在所述坩埚托盘上，所述导轨能够滑动卡接在所述滚轮上。

通过采用上述技术方案，当靶材用完后，需要将坩埚连同坩埚托盘移出蒸镀腔室外，通过设置滚轮组与导轨，便于工人手动将坩埚拉出到蒸镀腔室外，从而使工人补料时更便捷。

可选的，所述传送组件还包括驱动件，所述驱动件用于驱动所述滚轮转动。

通过采用上述技术方案，驱动件带动滚轮转动，滚轮转动从而驱使导轨移动，导轨带动坩埚托盘连同坩埚朝向蒸镀腔室外移动，从而将坩埚托盘连同坩埚输送至蒸镀腔室外，实现自动运出蒸镀腔室的效果。

可选的，还包括升降组件，所述升降组件用于驱动所述坩埚托盘升降，所述升降组件包括丝杆、驱动元、连接板，所述丝杆呈竖向设置且转动连接于所述机架，所述驱动元连接在所述机架上，所述驱动元用于驱动所述丝杆转动，所述连接板沿竖向滑动连接在所述机架上，所述连接板呈水平设置，所述连接板与所述丝杆螺纹连接，所述连接板上开设有用于容纳所述滚轮的容纳槽，所述连接板用于顶升所述坩埚托盘。

通过采用上述技术方案，当靶材因消耗而逐渐减少时，靶材液面下降，至使基片与靶材间距离改变，此时驱动元工作从而带动丝杆转动，与丝杆螺纹配合的连接板沿丝杆的轴向进行上升，使连接板与坩埚托盘底部抵接，导轨穿设在容纳槽内，连接板从而带动坩埚托盘以及坩埚朝向基片移动。升降组件通过保持靶材与基片之间距离不变，从而提高了的镀膜均匀性及成膜质量，使镀膜的工艺性能更趋近于一致。

另外，在蒸镀时，坩埚托盘放置在连接板上，升降组件驱动坩埚托盘上升，使得坩埚托盘上的导轨脱离滚轮，从而使得坩埚托盘定位稳定不易晃动。

可选的，所述连接板上连接有限位板，当所述坩埚托盘滑动至蒸镀腔室内后，所述限位板用于限制所述坩埚托盘的滑动距离。

通过采用上述技术方案，限制坩埚托盘移动距离，减小坩埚托盘滑出连接板的可能。

可选的，所述承接组件包括承接小车、承接轮，所述承接轮固定连接在所述承接小车上，所述承接轮用于与所述导轨滑动配合。

通过采用上述技术方案，当坩埚被输送至蒸镀腔室外时，承接小车位于蒸镀腔室外，坩埚托盘从蒸镀腔室内输送出后，坩埚托盘上的导轨与承接轮相互配合，直至坩埚托盘完全落在承接小车上，随后即可对坩埚内进行补料，

可选的，所述承接小车上连接有抵接板，所述抵接板用于限制所述坩埚托盘的滑移距离。

通过采用上述技术方案，从而限制了坩埚在承接小车上的移动距离，减小坩埚沿承接轮滑出的可能。

可选的，所述抵接板上连接有缓冲层。

通过采用上述技术方案，坩埚托盘在滑动至承接小车上时，坩埚托盘与抵接板可能发生碰撞，通过设置缓冲层，从而将刚性接触改为柔性接触，从而降低坩埚在转运时损坏的可能。

可选的，所述坩埚托盘包括第一坩埚托盘、第二坩埚托盘，所述坩埚放置在所述第一坩埚托盘内，所述第一坩埚托盘固定在所述第二坩埚托盘内，所述第一坩埚托盘的外侧设置有冷却水道槽。

通过采用上述技术方案，第一坩埚托盘的外侧设置有冷却水道槽，冷却水道槽一直通有冷却液，保证环境温度的控制及避免蒸镀腔室内温度过高而对蒸镀腔室内其他零加造成损坏。另外，在手动将坩埚托盘拉出时，冷却水道槽对坩埚的降温作用，能够减小对工人烫伤的可能性。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过传送组件与承接组件，达到便于往坩埚内补充靶材，从而提高工作效率的效果；

2.通过设置第一坩埚托盘、第二坩埚托盘，且第一坩埚托盘的外侧设置有冷却水道槽，冷却水道槽内流动有冷却液，保证环境温度的控制及避免蒸镀腔室内温度过高而对蒸镀腔室内其他零加造成损坏；

3.通过升降组件，一方面使得在蒸镀过程中导轨与滚轮脱离，从而保持坩埚定位的稳定性，另一方面使靶材与基片距离保持稳定，从而提高镀膜质量。

附图说明

图1是本申请实施例的真空镀膜机补料机构的结构示意图。

图2是本申请实施例的传送组件的部分结构示意图。

图3是本申请实施例的真空镀膜机补料机构的部分结构示意图。

图4是本申请实施例的承接组件的结构示意图。

附图标记说明：

1、坩埚；2、坩埚托盘；201、第一坩埚托盘；202、第二坩埚托盘；3、机架；301、轴承座；302、磁流密封座；4、传送组件； 401、导轨；402、滚轮；403、驱动件；5、承接组件；501、承接小车；5011、抵接板；5012、缓冲层；502、承接轮；6、升降组件；601、丝杆；602、驱动元；603、连接板；6031、容纳槽；604、限位板。

具体实施方式

以下结合附图1-4对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种真空镀膜机补料机构。

参照图1、图2，真空镀膜机补料机构包括坩埚1、坩埚托盘2、机架3、传送组件4、承接组件5、升降组件6，坩埚1放置在坩埚托盘2内，承接组件5位于蒸镀腔室外部，传送组件4和升降组件6位于蒸镀腔室内部。在蒸镀的过程中，升降组件6将坩埚托盘2抬升，使得坩埚托盘2脱离传送组件4。

当需要补料时，升降组件6下降，使得坩埚托盘2降落至传送组件4上，升降组件6与坩埚托盘2脱离，接着利用传送组件4将坩埚托盘2移至蒸镀腔室外，承接组件5对坩埚托盘2进行承接，此时坩埚托盘2位于蒸镀腔室外的承接组件5上，从而达到便于补料，提高工作效率的效果。

参照图3，坩埚托盘2包括第一坩埚托盘201、第二坩埚托盘202，坩埚1放置在第一坩埚托盘201内，第一坩埚托盘201焊接在第二坩埚托盘202内。第二坩埚托盘202上开设有进水口与出水口，第一坩埚托盘201的外侧设置有冷却水道槽，冷却水道槽分别与进水口与出水口连接，冷却水道槽内注入有冷却液，冷却水道槽内的冷却液实现了对坩埚1的降温，保证蒸镀腔室环境温度的控制及避免蒸镀腔室内温度过高而对蒸镀腔室内其他零加造成损坏。

参照图2、图3，传送组件4位于坩埚托盘2的下方，传送组件4包括若干滚轮组、导轨401、驱动件403，若干滚轮组连接在机架3上，每组滚轮组包括至少两个同轴设置且间隔排布的滚轮402，本实施例中每组滚轮组包含的滚轮402数量为两个。若干滚轮组沿水平方向依次排布。导轨401与滚轮402滑动配合，导轨401设置有两个且连接在第二坩埚托盘202底部，两条导轨401相互平行。

参照图2、图3，靠近蒸镀腔室口滚轮组为主动轮组，主动轮组靠近承接组件5设置。驱动件403用于驱动主动轮组中的两个滚轮402转动。靠近蒸镀腔室口的滚轮组上连接有连动杆，连动杆穿设于滚轮402的转动轴心，连动杆的一端穿设至蒸镀腔室外，驱动件403为电机且位于蒸镀腔室外部，驱动件403的输出轴与连动杆同轴连接。

当需要将坩埚托盘2从蒸镀腔室中拉出时，首先将坩埚托盘2上的导轨401抵接滚轮402，使连接板603与坩埚托盘2脱离。接着驱动件403工作，驱动件403通过连动杆带动滚轮组进行旋转，滚轮402带动导轨401移动，连接在导轨401上的坩埚托盘2以及置于坩埚托盘2内的坩埚1即可从蒸镀腔室内滑出。

也可不设置驱动件403而采用手动拉的方式，来将坩埚托盘2从蒸镀腔室中拉出。冷却水道槽对坩埚托盘2的降温作用，能够减小对工人烫伤的可能性，进而提高操作的安全性。

参照图1、图3，升降组件6包括丝杆601、驱动元602、连接板603，丝杆601设置为一个时，需要设置导向机构来限制连接板603的转动，使得连接板603只能沿竖向升降，丝杆601设置为两个以上，则无需设置导向机构，即可实现连接板603的竖向升降。本实施例中丝杆601设置为四个，连接板603水平设置，连接板603位于第二坩埚托盘202与滚轮402之间，连接板603上开设有用于容纳滚轮402的容纳槽6031。在升降组件6工作时，第二坩埚托盘202抵接在连接板603上。丝杆601与连接板603相互垂直且螺纹配合。

参照图1、图3，连接板603的一端上表面连接有限位板604，当坩埚1滑动至蒸镀腔室内后，限位板604用于限制坩埚1的滑动距离，从而便于对坩埚1定位。

参照图1、图3,机架3上设置有四个轴承座301，轴承座301的轴承内壁与丝杆601同轴设置，丝杆601与轴承座301一一对应，从而提高丝杆601转动的稳定性。机架底部上设置有磁流密封座302，丝杆601穿设于磁流密封座302，机架对蒸镀腔室的底部进行封堵，通过磁流密封座302从而提高蒸镀腔室的密封性。丝杆601分别穿设于轴承座301、连接板603与磁流密封座302。

参照图1、图3,驱动元602的输出轴与丝杆601平行，丝杆601的一端留置于蒸镀腔室外的底部，驱动元602的输出轴与丝杆601留置于蒸镀腔室外的一端通过同步带连接。

当坩埚1内的靶材逐渐减少，靶材的液面与基片间的距离逐渐增大，从而影响蒸镀的效果。此时启动驱动元602，使得驱动元602带动丝杆601转动，从而使连接板603进行上升，连接板603带动坩埚托盘2上升，进而使靶材与基片间的距离保持稳定，也即靶基距保持稳定，提高了蒸镀质量。

参照图2，图4，承接组件5包括承接小车501、承接轮502，承接轮502连接在承接小车501上，承接轮502均匀的分为两列，两列承接轮502间的宽度与两个导轨401之间的宽度同宽，承接轮502与滚轮402（参照图3）同高。在坩埚托盘2带动坩埚1离开蒸镀腔室后，第二坩埚托盘202上的导轨401与承接轮502滑动配合。坩埚托盘2即从滚轮402（参照图2）上过渡至承接轮502上，从而使连接在坩埚托盘2内的坩埚1移动至蒸镀腔室外。

参照图2、图4，承接小车501上连接有抵接板5011，抵接板5011的板面垂直于导轨401，抵接板5011上靠近坩埚托盘2的板面上连接有缓冲层5012，当坩埚1移出蒸镀腔室完全落于承接轮502上时，坩埚托盘2的一侧与缓冲层5012抵接，可将坩埚托盘2与抵接板5011间刚性接触改为柔性接触。

本申请实施例一种真空镀膜机补料机构的实施原理为： 当坩埚1内靶材消耗殆尽需要对靶材进行补料时，首先通过升降组件6驱使连接板603下降，接着连接板603带动坩埚托盘2向下移动，坩埚1随坩埚托盘2同步下降，当坩埚托盘2上的导轨401抵接滚轮402时，连接板603需继续下移一段距离，使连接板603完全与坩埚托盘2脱离。

接着驱动件403工作，驱动件403带动滚轮402进行旋转，滚轮402带动导轨401移动，使得坩埚托盘2和坩埚1从蒸镀腔室内滑出，此时承接轮502与导轨401相互对应配合，使得坩埚托盘2落于承接小车501上，随后即可在蒸镀腔室的外部对坩埚1中的靶材进行补料。补料完成后利用传送组件4和升降组件6相互配合，将坩埚1再次运送至蒸镀腔室中进行工作。从而，达到便于往坩埚1内补充靶材，从而提高工作效率的效果。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种真空镀膜机补料机构，其特征在于，包括：

坩埚(1)；

坩埚托盘(2)，所述坩埚(1)放置在所述坩埚托盘(2)内；

机架(3)，所述坩埚托盘(2)放置在所述机架(3)上；

传送组件(4)，连接在所述机架(3)上，所述传送组件(4)用于将所述坩埚(1)及所述坩埚托盘(2)沿水平方向输送至蒸镀腔室外；以及

承接组件(5)，用承接运出蒸镀腔室外的所述坩埚托盘(2)以及所述坩埚(1)。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，所述传送组件(4)包括若干组滚轮组、导轨(401)，每组所述滚轮组包括至少两个滚轮(402)，所述滚轮(402)连接在所述机架(3)上，若干组所述滚轮组沿水平方向依次铺设，所述滚轮(402)用于支撑所述坩埚托盘(2)，所述导轨(401)连接在所述坩埚托盘(2)上，所述导轨(401)能够滑动卡接在所述滚轮(402)上。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，所述传送组件(4)还包括驱动件(403)，所述驱动件(403)用于驱动所述滚轮(402)转动。

4.根据权利要求2所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，还包括升降组件(6)，所述升降组件(6)用于驱动所述坩埚托盘(2)升降，所述升降组件(6)包括丝杆(601)、驱动元(602)、连接板(603)，所述丝杆(601)呈竖向设置且转动连接于所述机架(3)，所述驱动元(602)连接在所述机架(3)上，所述驱动元(602)用于驱动所述丝杆(601)转动，所述连接板(603)沿竖向滑动连接在所述机架(3)上，所述连接板(603)呈水平设置，所述连接板(603)与所述丝杆(601)螺纹连接，所述连接板(603)上开设有用于容纳所述滚轮(402)的容纳槽(6031)，所述连接板(603)用于顶升所述坩埚托盘(2)。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，所述连接板(603)上连接有限位板(604)，当所述坩埚托盘(2)滑动至蒸镀腔室内后，所述限位板(604)用于限制所述坩埚托盘(2)的滑动距离。

6.根据权利要求2所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，所述承接组件(5)包括承接小车(501)、承接轮(502)，所述承接轮(502)固定连接在所述承接小车(501)上，所述承接轮(502)用于与所述导轨(401)滑动配合。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，所述承接小车(501)上连接有抵接板(5011)，所述抵接板(5011)用于限制所述坩埚托盘(2)的滑移距离。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，所述抵接板(5011)上连接有缓冲层(5012)。

9.根据权利要求1所述的真空镀膜机补料机构，其特征在于，所述坩埚托盘(2)包括第一坩埚托盘(201)、第二坩埚托盘(202)，所述坩埚(1)放置在所述第一坩埚托盘(201)内，所述第一坩埚托盘(201)固定在所述第二坩埚托盘(202)内，所述第一坩埚托盘(201)的外侧设置有冷却水道槽。

Images