CN218082297U - 一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其包括：支撑底座，所述支撑底座的上侧壁转动连接有转动板，所述转动板的上侧壁固定连接有三爪卡盘，所述三爪卡盘由卡盘主体、传动斜齿轮、传动盘以及卡爪组成，所述卡爪的内侧壁固定连接有弹性垫；所述支撑底座的上侧壁转动连接有第一转动球，所述转动板的内部转动连接有第二转动球，所述第二转动球的内部螺纹连接有调节杆，所述调节杆的上端固定连接有转盘，所述支撑底座的下侧壁设置有电磁底座，所述支撑底座的左侧壁设置有控制旋钮。本实用新型中，通过转动调节杆，可以对转动板的角度进行调节，从而调节三爪卡盘以及吸盘的角度，便于对静电吸盘进行修复。

Description

一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具

技术领域

本实用新型涉及静电吸盘吸附技术领域，特别涉及一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具。

背景技术

传统抓取搬运设备采用的是机械运动或真空吸力，但这类机器体型很大，造价高昂，耗电很高；想要拿起特定的物体，还需要对它们进行配置。而如果对象是玻璃板这样的脆弱物体，那它们也无能为力。静电卡盘系统可举起并运输物体，其表面的电极可在几乎任何物体之间产生并维持强大的吸附力，可以拿起任何物体，比如罐子、水果、盒子、箱子、玻璃板、硅胶板和纤维板。

静电卡盘是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称，静电卡盘所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用。

静电卡盘在进行修复需要夹具对静电卡盘进行固定，但是现有的夹具很难对不同大小的静电卡盘进行固定，并且在对静电卡盘进行夹持的过程中，很难静电卡盘的角度进行调节。

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，该装置设置了三爪卡盘，通过转动杆带动传动斜齿轮带动传动盘进行转动，从而通过传动盘带动卡爪向内侧移动，进而对不同规格的静电吸盘进行固定，提高装置的使用范围；

该装置设置了调节杆以及电磁底座，电磁底座能够将该装置与工作台进行有效固定，便于装置的固定以及拆卸，通过转动调节杆，可以对转动板的角度进行调节，从而调节三爪卡盘以及吸盘的角度，便于对静电吸盘进行修复。

本实用新型还提供具有上述一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，包括：支撑底座，所述支撑底座的上侧壁转动连接有转动板，所述转动板的上侧壁固定连接有三爪卡盘，所述三爪卡盘由卡盘主体、传动斜齿轮、传动盘以及卡爪组成，所述卡爪的内侧壁固定连接有弹性垫；

所述支撑底座的上侧壁转动连接有第一转动球，所述转动板的内部转动连接有第二转动球，所述第二转动球的内部螺纹连接有调节杆，所述调节杆的上端固定连接有转盘，所述支撑底座的下侧壁设置有电磁底座，所述支撑底座的左侧壁设置有控制旋钮。

根据所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，所述调节杆与第一转动球之间为转动连接，便于对调节杆的角度进行调节。

根据所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，所述支撑底座的下侧壁固定连接有防滑垫，所述防滑垫的下侧壁设置有防滑纹，提高支撑底座与工作台之间的摩擦力，从而有效夹具与工作台固定的稳定性。

根据所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，所述三爪卡盘的上侧壁设置有三个配合槽，所述配合槽与卡爪之间为滑动连接，便于对卡爪的滑动进行导向。

根据所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，所述卡爪的下侧壁设置有传动槽，所述传动盘的上侧壁固定连接有螺旋状的传动凸，所述传动凸与传动槽之间为滑动连接，传动盘的转动可以带动卡爪进行滑动。

根据所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，所述传动斜齿轮以及传动盘均与卡盘主体之间均为转动连接，所述传动斜齿轮的内部固定连接有转动杆。

根据所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，所述传动斜齿轮与传动盘之间为啮合连接，传动斜齿轮的转动可以带动传动盘进行转动。

根据所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，所述控制旋钮与电磁底座之间为电连接，通过控制旋钮可以控制电磁底座的开关。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步地说明；

图1为本实用新型一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具的结构图；

图2为本实用新型一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具的三爪卡盘爆炸示意图；

图3为本实用新型一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具的正面示意图；

图4为本实用新型一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具的底部示意图。

图例说明：

1、支撑底座；101、防滑垫；102、电磁底座；103、控制旋钮；2、转动板；3、三爪卡盘；301、卡盘主体；302、配合槽；303、传动斜齿轮；304、传动盘；305、卡爪；306、弹性垫；307、传动槽；308、传动凸；4、调节杆；401、第一转动球；402、第二转动球；403、转盘；5、转动杆。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-4，本实用新型实施例一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其包括支撑底座1，支撑底座1的上侧壁转动连接有转动板2，转动板2的上侧壁固定连接有三爪卡盘3，三爪卡盘3由卡盘主体301、传动斜齿轮303、传动盘304以及卡爪305组成，卡爪305的内侧壁固定连接有弹性垫306，三爪卡盘3的上侧壁设置有三个配合槽302，配合槽302与卡爪305之间为滑动连接，便于对卡爪305的滑动进行导向，卡爪305的下侧壁设置有传动槽307，传动盘304的上侧壁固定连接有螺旋状的传动凸308，传动凸308与传动槽307之间为滑动连接，传动盘304的转动可以带动卡爪305进行滑动，传动斜齿轮303以及传动盘304均与卡盘主体301之间均为转动连接，传动斜齿轮303的内部固定连接有转动杆5，传动斜齿轮303与传动盘304之间为啮合连接，传动斜齿轮303的转动可以带动传动盘304进行转动。

支撑底座1的上侧壁转动连接有第一转动球401，转动板2的内部转动连接有第二转动球402，第二转动球402的内部螺纹连接有调节杆4，调节杆4与第一转动球401之间为转动连接，便于对调节杆4的角度进行调节，调节杆4的上端固定连接有转盘403，支撑底座1的下侧壁设置有电磁底座102，支撑底座1的左侧壁设置有控制旋钮103，支撑底座1的下侧壁固定连接有防滑垫101，防滑垫101的下侧壁设置有防滑纹，提高支撑底座1与工作台之间的摩擦力，从而有效夹具与工作台固定的稳定性，控制旋钮103与电磁底座102之间为电连接，通过控制旋钮103可以控制电磁底座102的开关。

工作原理：首先，将待修复的吸盘放置在三个卡爪305之间，通过转动杆5带动传动斜齿轮303带动传动盘304进行转动，从而通过传动盘304带动卡爪305向内侧移动，进而对吸盘进行固定，然后将支撑底座1放置在工作台上的合适位置，转动控制旋钮103，控制旋钮103能够使得电磁底座102进行通电，使得支撑底座1与工作台进行固定，最后，转动调节杆4，使得第二转动球402沿着调节杆4的方向进行滑动，进而调节转动板2的转动角度，调节三爪卡盘3以及吸盘的角度。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化。

Claims (8)

1.一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，包括：支撑底座（1），所述支撑底座（1）的上侧壁转动连接有转动板（2），所述转动板（2）的上侧壁固定连接有三爪卡盘（3），所述三爪卡盘（3）由卡盘主体（301）、传动斜齿轮（303）、传动盘（304）以及卡爪（305）组成，所述卡爪（305）的内侧壁固定连接有弹性垫（306）；

所述支撑底座（1）的上侧壁转动连接有第一转动球（401），所述转动板（2）的内部转动连接有第二转动球（402），所述第二转动球（402）的内部螺纹连接有调节杆（4），所述调节杆（4）的上端固定连接有转盘（403），所述支撑底座（1）的下侧壁设置有电磁底座（102），所述支撑底座（1）的左侧壁设置有控制旋钮（103）。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，所述调节杆（4）与第一转动球（401）之间为转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，所述支撑底座（1）的下侧壁固定连接有防滑垫（101），所述防滑垫（101）的下侧壁设置有防滑纹。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，所述三爪卡盘（3）的上侧壁设置有三个配合槽（302），所述配合槽（302）与卡爪（305）之间为滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，所述卡爪（305）的下侧壁设置有传动槽（307），所述传动盘（304）的上侧壁固定连接有螺旋状的传动凸（308），所述传动凸（308）与传动槽（307）之间为滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，所述传动斜齿轮（303）以及传动盘（304）均与卡盘主体（301）之间均为转动连接，所述传动斜齿轮（303）的内部固定连接有转动杆（5）。

7.根据权利要求1所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，所述传动斜齿轮（303）与传动盘（304）之间为啮合连接。

8.根据权利要求1所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，所述控制旋钮（103）与电磁底座（102）之间为电连接。

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