CN218076807U - 一种撕金机金属屑收集装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种撕金机金属屑收集装置，包括操作台，所述操作台上设置过滤槽及超声清洗槽，所述过滤槽内设置第一过滤机构，所述第一过滤机构用于回收所述采集装置内装载的贵金属颗粒，所述操作台上设置挂杆，所述挂杆可拆卸的连接所述采集装置，以使所述采集装置悬挂于所述超声清洗槽内，所述超声清洗槽内设置第二过滤机构，所述第二过滤机构用于回收所述采集装置上粘附的贵金属颗粒。通过所述第一过滤机构及所述第二过滤机构将所述采集装置内的贵金属颗粒进行过滤回收，以此实现贵金属颗粒快速、完整的回收，提升贵金属的管理能效。

Description

一种撕金机金属屑收集装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造技术领域，特别涉及一种撕金机金属屑收集装置。

背景技术

晶圆在集成电路中制造中扮演者重要的角色，它是制造半导体芯片的基本材料，晶圆片可加工制成各种电路元件的结构。

在制作工艺中，晶圆片电极利用金属蒸镀机对金属颗粒进行加热蒸发成膜，非电极区域在成膜前会附加一层光刻胶，待成膜完成后使用去胶液将光刻胶去除，从而只保留电极上的金属薄膜，此工艺步骤称为撕金。

由于晶圆片表面的镀层往往为金、银等贵金属，经过去胶、撕金后，贵金属通常通过采集装置于单元腔体内完成收集，但处于采集装置内贵金属颗粒往往与反应液混杂，且易黏附于采集装置内壁，难以快速的进行回收，不利于贵金属管理。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种撕金机金属屑收集装置，旨在解决现有技术中采集装置内的贵金属颗粒难以快速收集，不利于贵金属管理的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下技术方案来实现的：

一种撕金机金属屑收集装置，用于回收采集装置内的贵金属颗粒，包括操作台，所述操作台上设置过滤槽及超声清洗槽，所述过滤槽内设置第一过滤机构，所述第一过滤机构用于回收所述采集装置内装载的贵金属颗粒，所述操作台上设置挂杆，所述挂杆可拆卸的连接所述采集装置，以使所述采集装置悬挂于所述超声清洗槽内，所述超声清洗槽内设置第二过滤机构，所述第二过滤机构用于回收所述采集装置上粘附的贵金属颗粒。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过所述过滤槽内的第一过滤机构，可将所述采集装置内收集的较大的贵金属颗粒进行过滤回收，再将所述采集装置悬挂于所述超声清洗槽内，通过所述第二过滤机构将粘附于所述采集装置内壁的较小的贵金属颗粒进行过滤回收，以此实现采集装置内贵金属颗粒回收的快速性及完整性，提升贵金属的管理能效。

进一步，所述第一过滤机构包括第一固定台、第一过滤网及网袋，所述过滤槽内设置所述第一固定台，所述第一固定台背向所述过滤槽底部的一面凸起形成定位柱，所述定位柱用于固定所述第一过滤网，所述网袋的袋口固定于所述定位柱上。

更进一步，所述定位柱位于所述第一固定台的外侧缘，且所述定位柱沿所述第一固定台的中心对称设置，所述第一过滤网开设定位孔，所述定位孔与所述定位柱相对应。

更进一步，所述第一过滤网背向所述第一固定台的一面凸起形成提杆。

更进一步，所述第二过滤机构包括超声单元、第二固定台及第二过滤网，所述第二固定台连接于所述超声清洗槽内，所述第二固定台背向所述超声清洗槽的底部的一面凸起形成插接杆，所述插接杆用于固定所述第二过滤网。

更进一步，所述操作台上设置粘附部，所述粘附部用于粘附收集所述第一过滤网及所述第二过滤网上的贵金属颗粒。

更进一步，所述粘附部包括放置台及挂架，所述挂架平行于所述放置台，所述挂架用于悬挂蓝膜。

更进一步，所述粘附部还包括切割槽，所述切割槽平行于所述放置台，且所述切割槽位于所述挂架与所述放置台之间。

更进一步，所述过滤槽的底部及所述超声清洗槽的底部设置排水口，所述排水口通过排水阀连通废水箱。

再进一步，所述过滤槽的底部呈倾斜面，所述倾斜面自所述过滤槽的侧壁向所述排水口方向倾斜，且所述倾斜面与所述过滤槽的侧壁之间形成钝角。

附图说明

图1为本实用新型实施例中撕金机金属屑收集装置的正视剖视图；

图2为本实用新型实施例中撕金机金属屑收集装置的左视剖视图；

图3为本实用新型实施例中撕金机金属屑收集装置的右视图；

图4为本实用新型实施例中撕金机金属屑收集装置的俯视拆解结构图；

主要元件符号说明：

操作台	10	过滤槽	20
				超声清洗槽	30	挂杆	40
第一过滤机构	50	第一固定台	510
				第一过滤网	520	定位孔	521
定位柱	530	提杆	540
				第二过滤机构	60	第二固定台	610
第二过滤网	620	插接孔	621
				插接杆	630	粘附部	70
放置台	710	挂架	720
				切割槽	730	固定孔	740
限位框	750	倾斜面	80
				排水口	90

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图4，本实用新型实施例中的撕金机金属屑收集装置，所述撕金机金属屑收集装置用于回收采集装置内的贵金属颗粒，优选地，所述采集装置为提篮治具，在晶圆片于单元腔体内进行撕金工序时，通过将所述采集装置同步放置于所述单元腔体内，以将贵金属颗粒连同反应液从所述单元腔体内取出。可以理解地，所述采集装置还可为吸尘器内腔，通过吸尘器吸取所述单元腔体内的反应液及贵金属颗粒后，将所述吸尘器内腔取出。

所述撕金机金属屑收集装置包括操作台10及废水箱，所述操作台10上设置过滤槽20及超声清洗槽30，可以理解地，所述操作台10的顶部内凹，形成所述过滤槽20及所述超声清洗槽30，所述过滤槽20内设置第一过滤机构50，所述第一过滤机构50用于回收所述采集装置内装载的贵金属颗粒。

所述第一过滤机构50包括第一固定台510、第一过滤网520及网袋，所述过滤槽20内设置所述第一固定台510，优选地，所述第一固定台510平行于所述操作台10，所述第一固定台510背向所述过滤槽20的底部的一面凸起形成定位柱530，所述定位柱530用于固定所述第一过滤网520，所述定位柱530位于所述第一固定台510的外侧缘，且所述定位柱530沿所述第一固定台510的中心对称设置，优选地，所述第一固定台510背向所述过滤槽20的底部的一面设置四个所述定位柱530，四个所述定位柱530位于所述第一固定台510的四角处。所述第一过滤网520上开设定位孔521，所述定位孔521与所述定位柱530相对应，通过将所述定位柱530插入所述定位孔521内，以将所述第一过滤网520固定于所述第一固定台510上。可以理解地，所述第一固定台510呈口字型结构，以使所述第一过滤网520实现过滤功能。

所述第一过滤网520背向所述第一固定台510的一面凸起形成提杆540，通过设置所述提杆540，可便于提拉所述第一过滤网520，使所述第一过滤网520固定或脱离所述第一固定台510，优选地，所述提杆540位于所述第一过滤网520的外侧缘，且所述提杆540沿所述第一固定台510的中心对称设置，可以理解地，通过所述定位固定所述网袋的袋口，使所述网袋的袋口张开，通过将所述采集装置内的贵金属颗粒及反应液倒入所述过滤槽20内，贵金属颗粒连通反应液通过所述袋口进入所述网袋，所述网袋过滤掉反应液后，可回收较大的贵金属颗粒，较小的贵金属颗粒连同反应液穿过所述网袋后，被过滤于所述第一过滤网520上。因撕金工序的反应液对塑料有较强的腐蚀性，因此所述网袋不能直接置于所述采集装置内，与反应液长时间接触。通过设置所述第一过滤机构50，可避免反应液对所述网袋的腐蚀，使所述网袋损坏的情况发生。通过将所述定位柱530设置于所述第一固定台510的四角处，可在所述网袋的袋口固定于所述定位柱530上时，使所述网袋的袋口开口最大，以完全收集所述采集装置内倒出的贵金属颗粒。

所述操作台10上设置挂杆40，所述挂杆40可拆卸的连接所述采集装置，以使所述采集装置悬挂于所述超声清洗槽30内，可以理解地，所述采集装置上设置与所述挂杆40相对应的挂孔，通过将所述挂孔插接于所述挂杆40上，以使所述采集装置悬挂于所述挂杆40上。所述超声清洗槽30内设置第二过滤机构60，所述第二过滤机构60用于回收所述采集装置上粘附的贵金属颗粒。通过所述过滤槽20内的第一过滤机构50，可将所述采集装置内收集的较大的贵金属颗粒进行过滤回收，再将所述采集装置悬挂于所述超声清洗槽30内，通过所述第二过滤机构60将粘附于所述采集装置内的较小的贵金属颗粒进行过滤回收，以此实现采集装置内贵金属颗粒的快速回收，提升贵金属的管理能效。

所述第二过滤机构60包括超声单元、第二固定台610及第二过滤网620，所述第二固定台610连接于所述超声清洗槽30内，所述第二固定台610背向所述超声清洗槽30的底部的一面凸起形成插接杆630，所述插接杆630用于固定所述第二过滤网620，可以理解地，所述第二固定台610呈口字型结构，以实现所述第二过滤网620的过滤功能，所述第二过滤网620上开设插接孔621，所述插接孔621与所述插接杆630的位置对应，通过将所述插接杆630插接于所述插接孔621内，以使所述第二过滤网620固定于所述第二固定台610上，可以理解地，所述插接杆630位于所述第二固定台610的四角处。优选地，所述挂杆40可升降的连接于所述操作台10上，以便于将所述第二过滤网620取出或放置于所述超声清洗槽30内。可以理解地，所述第二过滤网620背向所述第二固定台610的一面同样设置所述提杆540，以便于所述第二过滤网620的取放。当所述采集装置内装载的贵金属颗粒及反应液倒入所述过滤槽20后，部分贵金属颗粒将粘附于所述采集装置的内部，通过所述超声单元，对所述采集装置进行超声清洗，将所述采集装置上粘附的较小的贵金属颗粒震落于所述超声清洗槽30内，通过所述第二过滤网620过滤出较小的贵金属颗粒，完成回收工作。优选地，所述挂杆40设置固定框，所述超声单元放置于所述固定台内，以完成对所述采集装置的超声清洗工作。

所述操作台10上还设置有粘附部70，所述粘附部70用于粘附收集所述第一过滤网520及所述第二过滤网620上的贵金属颗粒。具体地，所述粘附部70包括放置台710及挂架720，所述放置台710平行于所述挂架720，所述挂架720用于悬挂蓝膜，可以理解地，所述蓝膜呈圆筒状，且所述蓝膜可沿所述挂架720的轴心旋转，当所述第一过滤网520或所述第二过滤网620完成过滤收集工作后，将所述第一过滤网520或所述第二过滤网620置于所述放置台710上，可以理解地，所述放置台710上开设固定孔740，所述固定孔740与所述定位孔521及所述插接孔621相对应，通过插入固定柱，以将所述第一过滤网520或所述第二过滤网620固定于所述放置台710上。

通过拉动所述蓝膜，使所述蓝膜粘附于所述第一过滤网520或所述第二过滤网620上，再次撕开所述蓝膜，即可将所述第一过滤网520或所述第二过滤网620上的贵金属颗粒粘附回收。为增强粘附效果，所述放置台710的内部设置加热板，所述加热板可对所述第一过滤网520或所述第二过滤网620进行加热，优选地，加热温度为50℃。在所述蓝膜盖设于所述第一过滤网520或所述第二过滤网620上后，用滚轮往复压实所述蓝膜，以使贵金属颗粒更紧密的粘附于所述蓝膜上。优选地，所述挂架720上设置限位框750，所述蓝膜的一端穿过所述限位框750，并黏附于所述第一过滤网520或所述第二过滤网620上，通过设置所述限位框750，在拉动所述蓝膜进行粘附时，可避免所述蓝膜飘飞或打卷，产生褶皱，影响粘附效果。

所述粘附部70还包括切割槽730，所述切割槽730用于切割所述蓝膜，所述切割槽730平行于所述放置台710，且所述切割槽730位于所述挂架720与所述放置台710之间，优选地，所述切割槽730的宽度大于所述蓝膜的宽度，通过设置所述切割槽730，在所述蓝膜粘附所述第一过滤网520或所述第二过滤网620时，同步覆盖所述切割槽730，通过沿所述切割槽730进行切割，可切断所述蓝膜，便于蓝膜的多次使用，同时，通过设置所述切割槽730，可方便切割工作的快速进行，同步也使蓝膜切割后的外观更为美观。

所述过滤槽20的底部及所述超声清洗槽30的底部设置排水口90，所述排水口90通过排水阀连通废水箱，可以理解地，所述第一过滤机构50及所述第二过滤机构60完成过滤回收工作后，清洗液及反应液可通过所述排水口90注入废水箱内，进行废液回收工作，避免胡乱排放造成环境污染。优选地，所述过滤槽20的底部呈倾斜面80，所述倾斜面80自所述过滤槽20的侧壁项所述排水口90方向倾斜，且所述倾斜面80与所述过滤槽20的侧壁之间形成钝角，通过设置所述倾斜面80，可较快废液的排放速度，避免其残留与所述过滤才内，可以理解地，所述超声清洗槽30的底部同样设置所述倾斜面80。

优选地，所述废水箱连接第三过滤机构，所述第三过滤机构包括漏斗、滤纸及抽滤瓶，所述废水箱连通所述漏斗，所述漏斗内设置所述滤纸，所述漏斗连通所述抽滤瓶，所述抽滤瓶连通负压吸引装置，通过所述负压吸引装置，使所述废水箱内的废液快速进入所述抽滤瓶内，部分残留在废液内的贵金属颗粒被过滤于所述滤纸上。通过设置所述第三过滤机构，可进一步提高贵金属颗粒的回收率，提高贵金属管理能效。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种撕金机金属屑收集装置，用于回收采集装置内的贵金属颗粒，其特征在于，包括操作台，所述操作台上设置过滤槽及超声清洗槽，所述过滤槽内设置第一过滤机构，所述第一过滤机构用于回收所述采集装置内装载的贵金属颗粒，所述操作台上设置挂杆，所述挂杆可拆卸的连接所述采集装置，以使所述采集装置悬挂于所述超声清洗槽内，所述超声清洗槽内设置第二过滤机构，所述第二过滤机构用于回收所述采集装置上粘附的贵金属颗粒。

2.根据权利要求1所述的撕金机金属屑收集装置，其特征在于，所述第一过滤机构包括第一固定台、第一过滤网及网袋，所述过滤槽内设置所述第一固定台，所述第一固定台背向所述过滤槽底部的一面凸起形成定位柱，所述定位柱用于固定所述第一过滤网，所述网袋的袋口固定于所述定位柱上。

3.根据权利要求2所述的撕金机金属屑收集装置，其特征在于，所述定位柱位于所述第一固定台的外侧缘，且所述定位柱沿所述第一固定台的中心对称设置，所述第一过滤网开设定位孔，所述定位孔与所述定位柱相对应。

4.根据权利要求3所述的撕金机金属屑收集装置，其特征在于，所述第一过滤网背向所述第一固定台的一面凸起形成提杆。

5.根据权利要求2所述的撕金机金属屑收集装置，其特征在于，所述第二过滤机构包括超声单元、第二固定台及第二过滤网，所述第二固定台连接于所述超声清洗槽内，所述第二固定台背向所述超声清洗槽的底部的一面凸起形成插接杆，所述插接杆用于固定所述第二过滤网。

6.根据权利要求5所述的撕金机金属屑收集装置，其特征在于，所述操作台上设置粘附部，所述粘附部用于粘附收集所述第一过滤网及所述第二过滤网上的贵金属颗粒。

7.根据权利要求6所述的撕金机金属屑收集装置，其特征在于，所述粘附部包括放置台及挂架，所述挂架平行于所述放置台，所述挂架用于悬挂蓝膜。

8.根据权利要求7所述的撕金机金属屑收集装置，其特征在于，所述粘附部还包括切割槽，所述切割槽平行于所述放置台，且所述切割槽位于所述挂架与所述放置台之间。

9.根据权利要求1所述的撕金机金属屑收集装置，其特征在于，所述过滤槽的底部及所述超声清洗槽的底部设置排水口，所述排水口通过排水阀连通废水箱。

10.根据权利要求9所述的撕金机金属屑收集装置，其特征在于，所述过滤槽的底部呈倾斜面，所述倾斜面自所述过滤槽的侧壁向所述排水口方向倾斜，且所述倾斜面与所述过滤槽的侧壁之间形成钝角。

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