CN218033465U - 环境洁净系统 - Google Patents
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Abstract
一种环境洁净系统，适用于过滤制程设备的气体，所述环境洁净系统包括风道模块、抽气风机，及过滤单元。所述风道模块包括入风口，及出风口。所述抽气风机设置于所述风道模块内，且位于所述入风口与所述出风口之间，可被驱动抽气而使所述气体由所述入风口进入并从所述出风口送出。所述过滤单元包括至少一个化学滤网，用于过滤被送入所述制程设备或自所述制程设备抽出的所述气体，所述至少一个化学滤网可过滤所述气体中的酸、碱、有机物的其中至少一种物质。所述环境洁净系统通过所述过滤单元去除所述气体中残留的化学物质，可提高所述气体的洁净度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种洁净系统，特别是涉及一种适用于半导体制程的环境洁净系统。
背景技术
生产制程、检测设备等制程设备，在作业时常会使用化学品进行制程，而这些化学品包含酸、碱或有机物的物质，容易在加工处理的过程中挥发成具有单一种或任意两种以上化学物质的气体，此外，外界中含有化学物质的气体也有可能进入所述制程设备内，因此所述制程设备内的气体往往残留有化学物质，将会导致产品质量不良，因此设计上仍有待改善。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的环境洁净系统。
本实用新型的环境洁净系统，适用于过滤制程设备的气体，所述环境洁净系统包括风道模块及抽气风机。所述风道模块包括入风口，及连通所述入风口的出风口，所述出风口和所述入风口的其中至少一个与所述制程设备连通，所述抽气风机设置于所述风道模块内，且位于所述入风口与所述出风口之间，能够被驱动抽气而使所述气体由所述入风口进入并从所述出风口送出。所述环境洁净系统还包括过滤单元，所述过滤单元包括至少一个化学滤网，用于过滤被送入所述制程设备或自所述制程设备抽出的所述气体，所述至少一个化学滤网能够过滤所述气体中的酸、碱、有机物的其中至少一种物质。
本实用新型的环境洁净系统，所述过滤单元包括设置于所述入风口且用于过滤从所述入风口进入的所述气体的所述化学滤网。
本实用新型的环境洁净系统，所述过滤单元包括设置于所述出风口且用于过滤从所述出风口排出的所述气体的所述化学滤网。
本实用新型的环境洁净系统，所述环境洁净系统还包括连接于所述制程设备与所述风道模块之间的风管单元。
本实用新型的环境洁净系统，所述风管单元包括连接所述出风口与所述制程设备且将所述气体送入所述制程设备的送风管。
本实用新型的环境洁净系统，所述风管单元包括设置于所述制程设备且供所述气体排出的抽气罩，及连接所述抽气罩与所述入风口的抽风管。
本实用新型的环境洁净系统，所述过滤单元包括设置于所述抽气罩且用于过滤通过所述抽气罩的所述气体的所述化学滤网。
本实用新型的环境洁净系统，所述风道模块的所述入风口被安装于所述制程设备。
本实用新型的有益效果在于：所述环境洁净系统能将所述气体送入或抽离所述制程设备，并通过所述过滤单元去除所述气体中的化学物质，可有效改善所述气体的洁净度。
附图说明
本实用新型的其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：
图1是本实用新型环境洁净系统的第一实施例的前视示意图；
图2是所述第一实施例的立体分解图，说明风道模块、抽气风机，及过滤单元的构造；
图3是本实用新型环境洁净系统的第二实施例的前视示意图；
图4是本实用新型环境洁净系统的第三实施例的前视示意图；
图5是本实用新型环境洁净系统的第四实施例的前视示意图；及
图6是本实用新型环境洁净系统的第五实施例的前视示意图。
具体实施方式
在本实用新型被详细描述以前，应当注意在以下的说明内容中，相同的组件是以相同的编号来表示。
参阅图1与图2，本实用新型环境洁净系统的第一实施例，适用于抽取制程设备1内的气体并进行过滤后再送回，所述制程设备1包括进行生产、检测等作业的设备主体11、设置在所述设备主体11顶部的风机过滤机组12(Fan Filter Unit，FFU)，及供气给所述风机过滤机组12的供气单元13。
在本第一实施例中，所述环境洁净系统包括风道模块2、抽气风机3、风管单元4，及过滤单元5。
所述风道模块2为中空箱体，并包括位于两相反侧且彼此连通的入风口21与出风口22。
所述抽气风机3设置于所述风道模块2内，且位于所述入风口21与所述出风口22之间，可被驱动抽气而使所述气体从所述入风口21流向所述出风口22。由于所述抽气风机3是一般现有技术，所以在此不再详细说明。
所述风管单元4连接于所述制程设备1与所述风道模块2之间，并包括设置于所述设备主体11且供所述设备主体11的所述气体由此排出的抽气罩41、连接所述抽气罩41与所述入风口21且将所述气体导入所述入风口21的抽风管42，及连接所述出风口22与所述供气单元13且将所述气体送入所述制程设备1的送风管43。
在本第一实施例中，所述过滤单元5包括两个用于过滤被抽出所述制程设备1的气体的化学滤网51，其中一个所述化学滤网51设置于所述入风口21，或者位于对应所述入风口21的内侧或外侧，用于过滤从所述入风口21进入的所述气体，其中另一个所述化学滤网51设置于所述出风口22，或者位于对应所述出风口22的内侧或外侧，用于过滤从所述出风口22排出的所述气体。
所述化学滤网51可用于过滤所述气体中的酸、碱、有机物的其中至少一种物质，可为单效、双效、三效或多效的化学滤网51，实施上所述化学滤网51可以相同或不同，而且所述化学滤网51可进行更换或取下再生使用，在此不再说明。要注意的是所述化学滤网51的数目不限于两个，在本实施例的其他变化态样中，也可以是一个或三个以上，例如仅设置一个位于所述入风口21的所述化学滤网51，或是仅设置一个位于所述出风口22的所述化学滤网51。
使用时，启动所述抽气风机3抽气，驱使所述设备主体11内的气体被抽出，自所述抽气罩41经由所述抽风管42进入所述入风口21，并通过所述化学滤网51过滤所述气体，去除所述气体中残留的化学物质，接着将洁净的气体从所述出风口22排出，再经由所述送风管43送至所述供气单元13，以供所述制程设备1使用。如此一来，即能将含有化学物质的气体抽离所述制程设备1，并加以滤净后回收使用，所以可提高所述制程设备1内部的洁净度。
参阅图3，本实用新型环境洁净系统的第二实施例的构造大致相同于所述第一实施例，其差别在于：改变所述化学滤网51的数目及设置位置，本第二实施例的所述过滤单元5仅包括一个设置于所述抽气罩41的所述化学滤网51，且所述化学滤网51设置于所述抽气罩41内部，当然也可以设置于所述抽气罩41与所述抽风管42的交接处，能用于过滤通过所述抽气罩41的所述气体。需说明的是，本第二实施例也能与所述第一实施例并用，也就是除了在所述抽气罩41设置所述化学滤网51以外，还能如图1所示增加至少一个所述化学滤网51，设置于所述风道模块2，可以增加过滤净化效果，在此不再举例说明。
参阅图4，本实用新型环境洁净系统的第三实施例的构造大致相同于所述第一实施例，其差别在于：简化所述风管单元4的局部或全部构造，本第三实施例省略图1的所述抽气罩41及所述抽风管42，使所述风道模块2的入风口21直接安装于所述制程设备1，例如但不限于一个维修门开口，能供所述制程设备1的所述气体直接进入所述风道模块2内。当然在设计上，也可以仅省略所述抽风管42而使所述入风口21连接于所述抽气罩41，或者另外还可以再省略所述送风管43，使所述气体经过所述过滤单元5洁净后，直接从所述出风口22排放到外界环境中，或者连接至另一制程设备(图未示)或过滤系统，在此不再举例说明。
参阅图5，本实用新型环境洁净系统的第四实施例的构造大致相同于所述第一实施例，其差别在于：所述风管单元4仅包括所述送风管43，而省略图1的所述抽气罩41及所述抽风管42，使得外界环境的所述气体直接从所述入风口21吸入所述风道模块2，经过所述过滤单元5洁净后，再由所述送风管43送入所述制程设备1。
参阅图6，本实用新型环境洁净系统的第五实施例的构造大致相同于所述第一实施例，其差别在于：所述风管单元4仅包括所述抽气罩41及所述抽风管42，而省略图1的所述送风管43，使得抽离所述制程设备1的气体经过所述过滤单元5洁净后，直接由所述出风口22排放至外界环境中。
综上所述，本实用新型环境洁净系统，能将所述气体送入或抽出所述制程设备1，并通过所述过滤单元5去除所述气体中的化学物质，可有效改善所述制程设备1内部的洁净度，维护设备效能，延长使用寿命，并提高生产质量，所以确实能达成本实用新型的目的。
以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。
Claims (8)
1.一种环境洁净系统，适用于过滤制程设备的气体，所述环境洁净系统包括：风道模块，及抽气风机，所述风道模块包括入风口，及连通所述入风口的出风口，所述出风口和所述入风口的其中至少一个与所述制程设备连通，所述抽气风机设置于所述风道模块内，且位于所述入风口与所述出风口之间，能够被驱动抽气而使所述气体由所述入风口进入并从所述出风口送出；
其特征在于：所述环境洁净系统还包括过滤单元，所述过滤单元包括至少一个化学滤网，用于过滤被送入所述制程设备或自所述制程设备抽出的所述气体，所述至少一个化学滤网能够过滤所述气体中的酸、碱、有机物的其中至少一种物质。
2.根据权利要求1所述的环境洁净系统，其特征在于：所述过滤单元包括设置于所述入风口且用于过滤从所述入风口进入的所述气体的所述化学滤网。
3.根据权利要求1或2所述的环境洁净系统，其特征在于：所述过滤单元包括设置于所述出风口且用于过滤从所述出风口排出的所述气体的所述化学滤网。
4.根据权利要求1所述的环境洁净系统，其特征在于：所述环境洁净系统还包括连接于所述制程设备与所述风道模块间的风管单元。
5.根据权利要求4所述的环境洁净系统，其特征在于：所述风管单元包括连接所述出风口与所述制程设备且将所述气体送入所述制程设备的送风管。
6.根据权利要求4或5所述的环境洁净系统，其特征在于：所述风管单元包括设置于所述制程设备且供所述气体排出的抽气罩，及连接所述抽气罩与所述入风口的抽风管。
7.根据权利要求6所述的环境洁净系统，其特征在于：所述过滤单元包括设置于所述抽气罩且用于过滤通过所述抽气罩的所述气体的所述化学滤网。
8.根据权利要求1或5所述的环境洁净系统，其特征在于：所述风道模块的所述入风口被安装于所述制程设备。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221769450.3U CN218033465U (zh) | 2022-07-11 | 2022-07-11 | 环境洁净系统 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202221769450.3U CN218033465U (zh) | 2022-07-11 | 2022-07-11 | 环境洁净系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218033465U true CN218033465U (zh) | 2022-12-13 |
Family
ID=84382548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN202221769450.3U Active CN218033465U (zh) | 2022-07-11 | 2022-07-11 | 环境洁净系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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2022
- 2022-07-11 CN CN202221769450.3U patent/CN218033465U/zh active Active
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