CN218026329U - 一种快速清洗气路管线的工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种快速清洗气路管线的工装，属于加热器热解涂层生产过程中管路清洗技术领域，包括依次连接的φ25法兰直管、φ25螺纹管、φ16法兰直管、1/4钢丝软管和VCR接头；所述φ25螺纹管一端通过KF25卡箍连接φ25法兰直管，另一端通过变径法兰接头连接φ16法兰直管，φ16法兰直管与1/4钢丝软管之间通过KF16卡箍固定连接，1/4钢丝软管上设置有球阀，φ25法兰直管用于连接到一级排空设备的预留口，VCR接头用于连接在待清洗气路管线上。可以将待清洗的管线(炉体前的管线)直接与一级排空设备相连，避开了占用炉体和二级排空设备，实现了快速清洗，且耗能少、清洗时间短。

Description

一种快速清洗气路管线的工装

技术领域

本实用新型涉及一种快速清洗气路管线的工装，属于加热器热解涂层生产过程中管路清洗技术领域。

背景技术

加热器生产领域目前多数采用化学气相沉积技术(CVD)，在加热器基体表面进行热解(PG)涂层，形成一层热解石墨，热解石墨是一种新型碳素材料，是高纯碳氢气体在一定的炉压下，在1500℃的热解氮化硼(PBN)基体上经过化学气相沉积出的较高结晶取向的热解碳，它是具备高密度、高纯度和热、电、磁、力学性能各项异性等特点。

现有加热器PBN基体大致分为板式和立式两种，为了提高加热器的电阻值，通常在加热器基体进行PG涂层时需要摻入少量的腐蚀性气体A(如某些硼源气体)；现有的PG工艺，包括三路管线，三路管线并联于气控柜，每一路均是由安装有减压阀的气瓶通过不锈钢管道直通气控柜，然后经各自的气体流量控制阀后通往炉体，在生产过程中，沉积前期其中的一路管线一直通氮气稳定炉压，到沉积温度时先在第二路管线上通入腐蚀性气体A后紧接着在第三路管线通入常规反应气体。如上所述，腐蚀性气体A虽然用量极小，但是其具有腐蚀性，影响管道寿命，所以在生产工艺完成后需要对第二路管线中从气瓶到炉体段进行清洗和吹扫。

常规的清洗和吹扫过程是：

关闭第一路和第三路管线，开启需要清洗的第二路管线，依靠与炉体连接的排空设备对第二路管线抽真空，残留的气体A通过气控柜、气体流量控制阀、不锈钢管线、炉体，然后经过滤系统收集起来或排到大气中，抽真空后再通入氮气清洗。

常规清洗过程存在以下缺点，其一，在常规清洗过程中，炉体本身并不需要气体清洗，在清洗过程中只是作为气体排空的一个通道，由于炉体本身较大，抽真空需要耗费大量的能量和时间；其二，与炉体连接的排空设备包括两级，其中一级排空设备的抽真空力度较小，二级排空设备抽真空力度较大，常规清洗过程通常为两级排空设备联合使用，但是仅对于清洗所达到真空度来说，单独使用一级排空设备即可满足要求，两级排空设备同时使用和存在不必要的能源浪费；其三，生产完成后，需要专业人员清理炉体内的反应残渣，管线清洗过程占用了炉体，与清渣过程形成冲突，只能清洗管线完成后再清理残渣，耗费时间较长，造成了整个生产的延迟。

鉴于以上弊端，亟需一种新型的快速清洗气路管线的工装。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种快速清洗气路管线的工装，可以将待清洗的管线(炉体前的管线)直接与一级排空设备相连，避开了占用炉体和二级排空设备，实现了快速清洗，且耗能少、清洗时间短。

本实用新型采用以下技术方案：

一种快速清洗气路管线的工装，包括依次连接的φ25法兰直管、φ25螺纹管、φ16法兰直管、1/4钢丝软管和VCR接头；

所述φ25螺纹管一端通过KF25卡箍连接φ25法兰直管，另一端通过变径法兰接头连接φ16法兰直管，φ16法兰直管与1/4钢丝软管之间通过KF16卡箍固定连接，1/4钢丝软管上设置有球阀，φ25法兰直管用于连接到一级排空设备的预留口，VCR接头用于连接在待清洗气路管线上。

KF25卡箍、KF16卡箍均带有铠装密封圈。

本实用新型以φ25螺纹管为工装主管道,其一端通过KF25卡箍连接φ25法兰直管后,将φ25法兰直管连接到吸排气设备(一级排空设备)的预留口,φ25螺纹管另一端通过变径法兰接头、φ16法兰直管、1/4钢丝软管、KF16卡箍、VCR接头后与待清洗管线(即第二路管线中从气瓶到炉体段)连接，这样就将待清洗管道直接连接到吸排气设备上了。

优选的，φ25法兰直管、φ25螺纹管、变径法兰接头、φ16法兰直管、1/4钢丝软管和VCR接头均为316不锈钢，耐腐蚀性强。

优选的，所述一级排空设备连接有过滤系统；与一级排空设备连接的管线上设置有压力表。

优选的，所述变径法兰接头为φ25变φ16法兰接头，φ25螺纹管长度为3m。本实用新型快速清洗气路管线的工装的总长度取决于待清洗管线端口到一级排气设备预留口的距离，本工装实现了排空管线的距离和空间的最小化。

本实用新型的工作过程为：

先期将球阀关闭，开启一级排空设备，一级排空设备进行抽真空，待其运行稳定后最低压可抽至3Pa左右(可通过其上的压力表显示)，此时将球阀打开，球阀两侧由于巨大压差待清洗管线中的残留气体逐渐被排除，经过滤系统收集起来或排到大气中，当整个管线压力与一级排空设备压力相近时再通入氮气对管道气体残留进一步清洗，以达到彻底清洗管线的目的。

本实用新型未详尽之处，均可采用现有技术。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型提供的快速清洗气路管线的工装，在原有清洗方式上进行了优化，通过简易管道组件将待清洗管线(炉体前的管线)直连到一级排空设备上，避开了占用炉体和二级排空设备，有效的缩短了清洗管道的长度和减少了残留气体排出时途径管道的空间，规避了原清洗方法占用炉体系统所造成的对其清洗理产生的时间和空间上的冲突，不仅可以节省能耗和时间，也可使管线清洗过程和炉体清渣过程同时进行，有效的推进了生产进度。

2、由于待清洗管线位置已固定且与排空设备无论纵向和横向均不在同一维度，且相距较远，两者端口也不统一，因此没有专门的连接工装把两者直接连接在一起，而本工装利用常见的管件通过不同的组合以及螺纹管特有的任意弯折特点实现了待清洁管线和排空设备的连接，该工装管件所选用的材质均为316不锈钢，有效避免了使用中自身的腐蚀问题。

附图说明

图1为本实用新型的快速清洗气路管线的工装结构示意图；

其中，1-φ25法兰直管，2-φ25螺纹管，3-φ16法兰直管，4-1/4钢丝软管，5-VCR接头，6-变径法兰接头，7-球阀。

具体实施方式：

为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述，但不仅限于此，本实用新型未详尽说明的，均按本领域常规技术。

实施例1：

一种快速清洗气路管线的工装，如图1所示，包括依次连接的φ25法兰直管1、φ25螺纹管2、φ16法兰直管3、1/4钢丝软管4和VCR接头5；

φ25螺纹管2一端通过KF25卡箍连接φ25法兰直管1，另一端通过变径法兰接头6连接φ16法兰直管3，φ16法兰直管3与1/4钢丝软管4之间通过KF16卡箍固定连接，1/4钢丝软管4上设置有球阀7，φ25法兰直管1用于连接到一级排空设备的预留口，VCR接头5用于连接在待清洗气路管线上。

KF25卡箍、KF16卡箍均带有铠装密封圈。

本实用新型以φ25螺纹管为工装主管道,其一端通过KF25卡箍连接φ25法兰直管后,将φ25法兰直管连接到吸排气设备(一级排空设备)的预留口,φ25螺纹管另一端通过变径法兰接头、φ16法兰直管、1/4钢丝软管、KF16卡箍、VCR接头后与待清洗管线(即第二路管线中从气瓶到炉体段)连接，这样就将待清洗管道直接连接到吸排气设备上了。

实施例2：

一种快速清洗气路管线的工装，结构如实施例1所示，所不同的是，φ25法兰直管1、φ25螺纹管2、变径法兰接头6、φ16法兰直管3、1/4钢丝软管4和VCR接头5均为316不锈钢，耐腐蚀性强；

一级排空设备连接有过滤系统；与一级排空设备连接的管线上设置有压力表；

变径法兰接头6为φ25变φ16法兰接头，φ25螺纹管2长度为3m。本实用新型快速清洗气路管线的工装的总长度取决于待清洗管线端口到一级排气设备预留口的距离，本工装实现了排空管线的距离和空间的最小化。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种快速清洗气路管线的工装，其特征在于，包括依次连接的φ25法兰直管、φ25螺纹管、φ16法兰直管、1/4钢丝软管和VCR接头；

所述φ25螺纹管一端通过KF25卡箍连接φ25法兰直管，另一端通过变径法兰接头连接φ16法兰直管，φ16法兰直管与1/4钢丝软管之间通过KF16卡箍固定连接，1/4钢丝软管上设置有球阀，φ25法兰直管用于连接到一级排空设备的预留口，VCR接头用于连接在待清洗气路管线上。

2.根据权利要求1所述的快速清洗气路管线的工装，其特征在于，φ25法兰直管、φ25螺纹管、变径法兰接头、φ16法兰直管、1/4钢丝软管和VCR接头均为316不锈钢。

3.根据权利要求2所述的快速清洗气路管线的工装，其特征在于，所述一级排空设备连接有过滤系统；与一级排空设备连接的管线上设置有压力表。

4.根据权利要求2所述的快速清洗气路管线的工装，其特征在于，所述变径法兰接头为φ25变φ16法兰接头，φ25螺纹管长度为3m。

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