CN210506516U - 一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉 - Google Patents
一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210506516U CN210506516U CN201921243577.XU CN201921243577U CN210506516U CN 210506516 U CN210506516 U CN 210506516U CN 201921243577 U CN201921243577 U CN 201921243577U CN 210506516 U CN210506516 U CN 210506516U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- reaction chamber
- liquid precursor
- pipeline
- steel cylinder
- butterfly valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，适用于低压到常压的反应环境。该反应炉包括：反应室；设置于反应室前端、通过管路与反应室并联连接的液态前驱体钢瓶和气体钢瓶；设置于反应室后端、通过管路与反应室连接的蝶阀和连接蝶阀的真空泵；其中，液态前驱体钢瓶上设有两根管路，一根通往大气，一根连接反应室，与反应室连接的管路上设有双通阀，所述液态前驱体钢瓶设于水浴或油浴装置中；气体钢瓶通过管路连接反应室，在连接管路上设有双通阀；所述蝶阀与反应室之间设有压力表，蝶阀两端并联有针阀。本实用新型操作简便，适用范围广，能有效避免传统鼓泡法、注射泵法带来的各种缺陷。
Description
技术领域
本实用新型属于化学气相沉积技术领域，具体为一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉。
背景技术
一般化学气相沉积反应中引入液态前驱体的方法有以下几种：1）注射泵直接引入；2）鼓泡法将惰性气体作载气，通入液态前驱体中，将其带出；3）将液态前驱体加热成气态通入。这些方式都存在着不宜控制液态前驱体含量的问题，反应难以精确控制。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的上述问题而提出的一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，该反应炉通过粗调和微调蝶阀与针阀，可以直观有效地调控参与反应的液态前驱体含量。
实现本实用新型目的的具体技术方案是：
一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，特点是：该反应炉包括：反应室；设置于反应室前端、通过管路与反应室并联连接的液态前驱体钢瓶和气体钢瓶；设置于反应室后端、通过管路与反应室连接的蝶阀和连接蝶阀的真空泵；其中，液态前驱体钢瓶上设有两根管路，一根通往大气，一根连接反应室，与反应室连接的管路上设有双通阀，所述液态前驱体钢瓶设于水浴或油浴装置中；气体钢瓶通过管路连接反应室，在连接管路上设有双通阀；所述蝶阀与反应室之间设有压力表，蝶阀两端并联有针阀。
所述管路为气体金属管路。
所述液态前驱体钢瓶和气体钢瓶分别设置为一个或数个。
与现有技术相比，本实用新型的反应炉通过粗调和微调蝶阀与针阀，可以直观有效地调控参与反应的液态前驱体含量。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型液态前驱体钢瓶设于水浴或油浴装置中的示意图；
图3为本实用新型另一实施状态参考图。
具体实施方式
参阅图1，本实用新型包括反应室1、压力表2、针阀3、蝶阀4、真空泵5、水浴或油浴装置6、液态前驱体钢瓶7、双通阀8及气体钢瓶9，所述反应室1前端并连有液态前驱体钢瓶7和气体钢瓶9，液态前驱体钢瓶7和气体钢瓶9前均装有单独的双通阀8；在所述的反应室1后端安装有蝶阀4，蝶阀4并联着针阀3，所述的蝶阀4后连着真空泵5，蝶阀4与反应室1之间设有压力表2，以上所述各部分均采用金属气体管道连接。
参阅图2，液态前驱体钢瓶7上装有两根金属气体管道，一根通往大气，一根为输出管，并且周围布置有水浴或油浴装置6。
参阅图3，所述液态前驱体钢瓶7和气体钢瓶9可以分别设置为数个，用于灌装不同的气体或液体。
实施例1
首先将液态前驱体(例如乙醇分析纯)倒入钢瓶7中，将钢瓶7上通往大气的管道关闭。然后打开气体钢瓶9，通入保护性气体氢气，打开真空泵5进行抽气，同时进行水浴或油浴加热至60℃，这时由于钢瓶7温度改变，饱和蒸汽压发生变化，部分液态前驱体会变成气态通过输出管。这时可以通过前端气阀8，后端的蝶阀4与针阀3并对照压力表2的示数变化来对液态前驱体的流量进行粗调和微调控制。
实施例2
首先将液态前驱体(例如乙醇分析纯)倒入钢瓶7中，将钢瓶7上通往大气的管道关闭，打开气阀8。然后打开真空泵5进行抽气，10min后关闭气阀8，关闭真空泵5。当反应时打开气体钢瓶9，通入保护性气体氢气，打开真空泵5进行抽气，由于之前抽气导致的压力变化，少量液态前驱体会变成气态溢出。这时可以通过前端气阀8，后端的蝶阀4与针阀3并对照压力表2的示数变化来对液态前驱体的流量进行粗调和微调控制。
本实用新型工作原理：任何液体，其表面分子都有脱离液体表面而飞到空间去的倾向，即汽化，在一定温度和压力下，气化液体与液体处于平衡状态。改变液态前驱体钢瓶7中的气压或温度，部分液态前驱体随着饱和蒸汽压的变化会变成气态溢出。这时控制前端气阀8、后端的蝶阀4和针阀3，可以改变液态前驱体气体通道的闭合程度，并通过压力表2的示数变化，可以直观地判断其流量大小。
Claims (3)
1.一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，其特征在于，该反应炉包括：反应室（1）；设置于反应室（1）前端、通过管路与反应室（1）并联连接的液态前驱体钢瓶（7）和气体钢瓶（9）；设置于反应室（1）后端、通过管路与反应室（1）连接的蝶阀（4）和连接蝶阀（4）的真空泵（5）；其中，液态前驱体钢瓶（7）上设有两根管路，一根通往大气，一根连接反应室（1），与反应室（1）连接的管路上设有双通阀（8），所述液态前驱体钢瓶（7）设于水浴或油浴装置（6）中；气体钢瓶（9）通过管路连接反应室（1），在连接管路上设有双通阀；所述蝶阀（4）与反应室（1）之间设有压力表（2），蝶阀（4）两端并联有针阀（3）。
2.根据权利要求1所述的化学气相沉积反应炉，其特征在于，所述管路为气体金属管路。
3.根据权利要求1所述的化学气相沉积反应炉，其特征在于，所述液态前驱体钢瓶（7）和气体钢瓶（9）分别设置为一个或数个。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921243577.XU CN210506516U (zh) | 2019-08-02 | 2019-08-02 | 一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921243577.XU CN210506516U (zh) | 2019-08-02 | 2019-08-02 | 一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210506516U true CN210506516U (zh) | 2020-05-12 |
Family
ID=70587263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921243577.XU Active CN210506516U (zh) | 2019-08-02 | 2019-08-02 | 一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210506516U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110273141A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-09-24 | 华东师范大学 | 一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉 |
-
2019
- 2019-08-02 CN CN201921243577.XU patent/CN210506516U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110273141A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-09-24 | 华东师范大学 | 一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2009114112A3 (en) | Method and apparatus for precursor delivery system for irradiation beam instruments | |
| CN106435527B (zh) | 一种碳化硅沉积设备及其进气装置 | |
| CN210506516U (zh) | 一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉 | |
| CN105399082A (zh) | 制备石墨烯薄膜的化学气相沉积设备及方法 | |
| CN110273141A (zh) | 一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉 | |
| CN203363652U (zh) | 一种定量供气系统 | |
| CN218756025U (zh) | 一种板式真空设备用工艺腔体气路系统 | |
| CN202381299U (zh) | 多瓶杜瓦罐夹层抽真空系统 | |
| CN205158158U (zh) | 一种氮封自动控制装置 | |
| CN211947212U (zh) | 一种用于原子层沉积设备进气管路 | |
| CN206256164U (zh) | 一种碳化硅沉积设备及其进气装置 | |
| CN210104072U (zh) | 一种tma介质的供给系统 | |
| CN209216602U (zh) | 一种混合氧化物芯块烧结气氛氧势控制装置 | |
| CN208348955U (zh) | 一种易液化及低蒸气压分配伴热装置 | |
| CN103133869B (zh) | 耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置 | |
| CN214060637U (zh) | 一种反应源连接结构 | |
| CN216411188U (zh) | 连续多通道检测mo源浓度的装置 | |
| CN216715866U (zh) | 一种气体流量稳定装置 | |
| CN109300560A (zh) | 一种混合氧化物芯块烧结气氛氧势控制装置 | |
| CN211771654U (zh) | 用于控制32寸坩埚熔融机腔体压力的进排风控制系统 | |
| CN218321626U (zh) | 一种原子层沉积工艺的气路装置 | |
| CN219568052U (zh) | 一种薄膜沉积设备 | |
| CN215876913U (zh) | 氮气稀释实验装置 | |
| CN115369382B (zh) | 一种原子层沉积工艺的气路装置和进气方法 | |
| CN206721360U (zh) | 一种有机金属化学气相沉积装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |