CN218024161U - 一种取放料结构及物料搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于芯片生产技术领域，公开了一种取放料结构及物料搬运装置。该取放料结构包括导杆保持座和至少一组取放料机构。其中，取放料机构包括驱动件以及两个圆柱导杆，两个圆柱导杆通过传动组件传动连接，且两个圆柱导杆背离驱动件的一端分别设置有取料件，驱动件能够驱动一个圆柱导杆沿其轴线方向上进行移动，进而能够带动另一个圆柱导杆沿上述轴线方向上反向移动，以使取料件进行交替取料。该取放料结构通过一个驱动件能够实现两个圆柱导杆上下交错移动，具备控制简单，简化结构，节省成本的优点；另外，一个驱动件能够驱动两个取料件交替取料，在节省安装空间的同时，提高了工作效率。

Description

一种取放料结构及物料搬运装置

技术领域

本实用新型涉及芯片生产技术领域，尤其涉及一种取放料结构及物料搬运装置。

背景技术

在芯片制造过程中，芯片需要搬运至指定的位置进行后续操作。现有技术中，有人提出一种直驱式高速送料器，通过直驱式快进机构驱动取放料机构至送料器取料位置的上方，各个取料件在贴装电机的驱动下进行取料、放料，完成后再回退至取料位置。该结构是每个吸嘴由一个贴装电机进行驱动升降，因此，贴装电机的外形尺寸则限定了两个吸嘴之间的间距，而芯片的间距刚好等于相邻两个吸嘴之间的间距时效率最高，但芯片种类繁多，大小尺寸无法完全统一；另外，一个吸嘴对应一个贴装电机，大大增加了使用成本。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提供一种取放料结构，通过一个驱动件实现两个取料件进行取放料操作，节省安装空间，提高工作效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种取放料结构，包括：

导杆保持座；

至少一组取放料机构，所述取放料机构包括驱动件以及至少两个圆柱导杆，所述驱动件的输出端与所述圆柱导杆固定连接，所述圆柱导杆端部设置有取料件，每相邻两个所述圆柱导杆通过一个传动组件传动连接，且均滑动限位于所述导杆保持座上，相邻两个所述圆柱导杆的移动方向相反，所述驱动件能够驱动一个所述圆柱导杆沿其轴线方向上移动，并通过所述传动组件带动其余所述圆柱导杆沿所述轴线方向上反向移动或同向移动。

作为一种可选方案，所述圆柱导杆设置有两个，所述驱动件能够驱动一个所述圆柱导杆沿所述轴线方向移动，并通过所述传动组件带动另一个所述圆柱导杆沿所述轴线方向反向移动。

作为一种可选方案，沿所述轴线方向上，所述圆柱导杆的圆周面上间隔设置有多个齿槽；所述传动组件包括中间齿轮和齿轮轴，所述中间齿轮与所述齿轮轴连接，且所述中间齿轮同时与两个所述圆柱导杆上的所述齿槽啮合，所述齿轮轴设置于所述导杆保持座上。

作为一种可选方案，所述传动组件还包括固定座，所述固定座固定设置于所述导杆保持座上，所述齿轮轴的一端与所述导杆保持座转动连接，另一端与所述固定座转动连接。

作为一种可选方案，连接所述驱动件的输出端的所述圆柱导杆上背离所述取料件的一端设置有导杆夹块，所述导杆夹块与所述圆柱导杆固定连接且同时与所述驱动件的输出端固定连接。

作为一种可选方案，所述取放料机构还包括两个固定块，两个所述圆柱导杆的端部分别与两个固定块固定连接，两个所述取料件分别固定连接于两个所述固定块上，所述固定块上设置有导轴，所述导轴滑动限位于所述导杆保持座上。

作为一种可选方案，两个所述圆柱导杆中未连接所述驱动件的一个上背离所述取料件的一端设置有感应片，所述导杆保持座上设置有感应开关，所述感应片能够触发所述感应开关。

本实用新型的另一个目的在于提供一种物料搬运装置，通过上述取放料结构，节省了安装空间，提高了工作效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种物料搬运装置，包括：

总装板；以及

如上述任一方案中的取放料结构，所述取放料结构与所述总装板固定连接。

作为一种可选方案，所述物料搬运装置还包括真空发生装置，所述取料件为吸嘴，所述吸嘴通过管路与所述真空发生装置连通。

作为一种可选方案，所述真空发生装置包括至少两个真空发生器，所述真空发生器与所述取料件一一对应设置。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的一种取放料结构，包括导杆保持座和至少一组取放料机构。其中，取放料机构包括驱动件以及至少两个圆柱导杆，每相邻的两个圆柱导杆通过传动组件传动连接，且圆柱导杆背离驱动件的一端设置有取料件，驱动件能够驱动一个圆柱导杆沿其轴线方向上进行移动，并能够带动其余圆柱导杆沿上述轴线方向上反向移动或同向移动，以使取料件进行交替取料。该取放料结构通过一个驱动件能够实现多个圆柱导杆上下交错移动，具备控制简单，简化结构，节省成本的优点；另外，一个驱动件能够驱动多个取料件交替取料，在节省安装空间的同时，提高了工作效率。

本实用新型还提供的一种物料搬运装置，通过上述取放料结构，具有节省安装空间，提高工作效率的优势。

附图说明

图1是本实用新型实施例所述的取放料结构的示意图一；

图2是本实用新型实施例所述的取放料机构的示意图；

图3是图2中A处的结构放大图；

图4是本实用新型实施例所述的取放料结构的示意图二；

图5是本实用新型实施例所述的物料搬运装置的示意图一；

图6是本实用新型实施例所述的物料搬运装置的示意图二。

图中：

1-总装板；

2-取放料结构；21-导杆保持座；211-感应开关；212-感应开关座；22-取放料机构；221-驱动件；2211-读数头；2212-磁栅尺；2213-定子；2214-动子； 2214a-动子座；222-圆柱导杆；2221-齿槽；2222-导杆夹块；2223-感应片；2224- 感应固定板；223-取料件；224-传动组件；2241-中间齿轮；2242-齿轮轴；2242a- 限位台；2243-固定座；2244-锁紧螺母；2245-第一轴承；2246-止动垫圈；225- 固定块；2251-导轴；

3-真空发生装置；31-真空发生器；

4-安装板。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的零部件或具有相同或类似功能的零部件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

图1-图4所示，本实用新型实施例提供了一种取放料结构2，用于抓取芯片并在指定位置放置芯片，以对芯片进行下一步操作。该取放料结构2包括导杆保持座21和至少一组取放料机构22。其中，取放料机构22包括驱动件221 以及至少两个圆柱导杆222，导杆保持座21上设置有安装圆柱导杆222的第一安装孔，且第一安装孔中设置有第一滑动轴承，圆柱导杆222滑动连接于第一滑动轴承上，且每相邻的两个圆柱导杆222通过一个传动组件224传动连接；驱动件221的输出端与一个圆柱导杆222固定连接，圆柱导杆222上背离驱动件221的一端设置取料件223，取料件223用于抓取芯片；沿圆柱导杆222的轴线方向上，驱动件221在驱动一个圆柱导杆222沿其轴线方向上移动时，由于相邻的两个圆柱导杆222通过传动组件224传动连接，因此，相邻两个圆柱导杆222的移动方向相反，该圆柱导杆222在移动时，通过传动组件224带动其余圆柱导杆222沿轴线方向上反向移动或同向移动，即实现一个驱动件221能够带动多个圆柱导杆222移动，以使多个取料件223均能够上下移动取料或放料。

该取放料结构2通过一个驱动件221能够实现多个圆柱导杆222上下交错移动，具备控制简单，简化结构，节省成本的优点；另外，一个驱动件221能够驱动多个取料件223交替取料，在节省安装空间的同时，提高了工作效率。

在本实施例中，圆柱导杆222设置有两个，驱动件221在驱动一个圆柱导杆222沿轴线方向移动时，由于两个圆柱导杆222通过传动组件224传动连接，即另一个圆柱导杆222能够在传动组件224的带动下沿轴线反向移动。

在其他实施例中，圆柱导杆222设置三个，三个圆柱导杆222中，每相邻的两个圆柱导杆222中通过一个传动组件224传动连接，即三个圆柱导杆222 相互之间设置有两个传动组件224。当驱动件224驱动任意一个圆柱导杆222移动时，另外两个圆柱导杆222一个与连接驱动件221的圆柱导杆222反向移动，另一个与连接驱动件221的圆柱导杆222同向移动。当然，可以理解的是，圆柱导杆222也可以设置四个、五个或更多，以使一个驱动件221能够实现多个圆柱导杆222的移动，这里不再赘述。

在本实施例中，取放料机构22设置有五组，五组取放料机构22中具有十个取料件223，能够极大地提高工作效率，且只需五个驱动件221即可，有效降低了安装所需要的空间。

具体地，参照图2和图3，沿圆柱导杆222的轴线方向上，圆柱导杆222的圆周面上间隔设置有多个齿槽2221；传动组件224包括中间齿轮2241和齿轮轴 2242，中间齿轮2241与齿轮轴2242固定连接，且中间齿轮2241夹设于两个圆柱导杆222之间同时与两个圆柱导杆222上的齿槽2221啮合，齿轮轴2242转动设置于导杆保持座21上。当一个圆柱导杆222移动时，通过齿槽2221与中间齿轮2241啮合，能够带动中间齿轮2241转动，进而带动另一个圆柱导杆222 反向移动。该结构简单，传动效率高。

在其他实施例中，中间齿轮2241也可以采用转动板，转动板设置于齿轮轴 2242上，圆柱导杆222上设置有卡接槽，转动板的两端分别设置于两个圆柱导杆222的卡接槽中。当一个圆柱导杆222移动时通过卡接槽与转动板的一个端部抵接进而能够带动转动板转动，转动板在转动时通过另一个端部与另一个圆柱导杆222的卡接槽抵接拨动另一个圆柱导杆222沿反向移动。该结构原理与跷跷板原理相似，转动板通过齿轮轴2242在导杆保持座21上往复转动以实现一个圆柱导杆222移动时带动另一个圆柱导杆222反向移动。

可以理解，转动板在转动时其端部绕齿轮轴2242的为圆心做弧线运动，因此，转动板在转动时，转动板的端部与卡接槽之间会产生相对位移，导致了转动板的磨损。为了降低转动板的端部与卡接槽之间的磨损，转动板的两端均设置有转轮，转轮通过转轴与转动板转动连接且设置于卡接槽中，转动板在转动时，转轮与卡接槽抵接并能在卡接槽内转动，以降低转动板的磨损。

在其他实施例中，圆柱导杆222的圆周面上也可以设置与中间齿轮2241的齿形相同的齿条，齿条方便采购，可以与圆柱导杆222采用螺栓连接，安装方便。

为了使齿轮轴2242受力均匀，传动组件224还包括固定座2243，固定座 2243固定设置于导杆保持座21上，齿轮轴2242的一端与导杆保持座21转动连接，另一端与固定座2243转动连接。该结构使得齿轮轴2242的两端均具有支撑力，结构更加合理。为了方便固定座2243的安装，固定座2243采用螺栓固定设置于导杆保持座21上，使拆装更加方便。

为了方便齿轮轴2242的转动，降低零部件的磨损，该传动组件224还包括第一轴承2245和第二轴承，齿轮轴2242的一端通过第一轴承2245与导杆保持座21转动连接，另一端通过第二轴承与固定座2243转动连接。参照图3-图4，第一轴承2245的外圈与导杆保持座21轴孔内壁抵接，第一轴承2245的内圈穿设于齿轮轴2242的一端；第二轴承的外圈与固定座2243的轴孔内壁抵接，第二轴承的内圈穿设于齿轮轴2242另一端，以使齿轮轴2242与导杆保持座21以及固定座2243之间无相对摩擦，提高了零件的使用寿命。在本实施例中，第一轴承2245和第二轴承均为深沟球轴承。

在其他的实施例中，第一轴承2245和第二轴承也可以均采用轴套替换，轴套具有自润滑特性，使转动更加顺畅。

进一步地，为了使齿轮轴2242不脱出导杆保持座21和固定座2243，继续参照图3-图4，齿轮轴2242与固定座2243转动连接的一端设置有限位台2242a，齿轮轴2242与导杆保持座21转动连接的另一端设置有外螺纹，锁紧螺母2244 与齿轮轴2242的另一端螺纹连接，导杆保持座21和固定座2243夹设于锁紧螺母2244和限位台2242a之间。该结构中，轴孔均为台阶孔，第二轴承设置于固定座2243的台阶孔中且外圈抵接于固定座2243的台阶孔的台阶处，第一轴承 2245设置于导杆保持座21的台阶孔中且外圈抵接于导杆保持座21的台阶孔的台阶处，以使第一轴承2245和第二轴承不能相向运动。齿轮轴2242穿过第二轴承和第一轴承2245后，限位台2242a与第二间隔件2246的内圈抵接，锁紧螺母2244与齿轮轴2242螺纹连接后抵接第一轴承2245的内圈，以使齿轮轴2242 不发生轴向移动。

为了防止锁紧螺母2244与第一轴承2245抵接，传动组件224还包括止动垫圈2246，止动垫圈2246套设于齿轮轴2242上，且夹设于锁紧螺母2244和第一轴承2245之间，以防止磨损锁紧螺母2244。

在本实施例中，驱动件221为直线电机，直线电机相对于旋转电机具有外形尺寸小，且高速运行稳定的特点，解决了旋转电机旋转惯量小的问题。

直线电机具有定子2213和动子2214，动子2214上设置有动子座2214a，参照图2，为了方便圆柱导杆222与直线电机的动子座2214a连接，圆柱导杆 222背离取料件223的一端设置有导杆夹块2222，导杆夹块2222上设置有第一圆孔，且沿第一圆孔的轴线方向上开设有第一缺口与第一圆孔连通，圆柱导杆 222穿设于第一圆孔中，第一缺口的一侧设置第一螺纹孔，另一侧设置沉头孔，通过螺钉穿过沉头孔且旋入第一螺纹孔中将两侧相互靠近以使导杆夹块2222夹紧圆柱导杆222；导杆夹块2222同时与动子座2214a固定连接。

在其他实施例中，导杆夹块2222上设置有第二螺纹孔，第二螺纹孔与第一圆孔连通，圆柱导杆222穿设于第一圆孔中，顶丝能够旋入第二螺纹孔中且抵接圆柱导杆222，以使导杆夹块2222与圆柱导杆222固定连接。

如图5所示，直线电机上配置有读数头2211和磁栅尺2212，以使圆柱导杆 222在其轴线方向上移动时位置更加准确，进而使取料件223的位置准确。

为了方便圆柱导杆222与取料件223固定连接，取放料机构22还包括两个固定块225，两个圆柱导杆222背离直线电机的动子座2214a的一端分别与两个固定块225固定连接，两个取料件223分别固定连接于两个固定块225上。该结构圆柱导杆222与固定块225连接的一端设置有外螺纹，圆柱导杆222穿过固定块225采用螺母与圆柱导杆222连接以使其与固定块225固定连接；固定块225上设置有第二圆孔，且沿第二圆孔的轴线方向上开设有与第二圆孔连通的第二缺口，该结构原理与上述第一圆孔夹设圆柱导杆222的结构原理相同，这里不再赘述。

为了防止圆柱导杆222绕其轴线方向转动，固定块225朝向导杆保持座21 的一端设置有导轴2251，导轴2251滑动限位于导杆保持座21上。当圆柱导杆222移动时，导轴2251同时在导杆保持座21上滑动，以使圆柱导杆222不发生转动，进而使取料件223的位置更加精确。可以理解，导杆保持座21上设置有第二安装孔，第二安装孔中设置有第二直线轴承，导轴2251滑动设置于第二直线轴承上。

继续参照图1和图2，两个圆柱导杆222中未连接驱动件221的一个圆柱导杆222上背离取料件223的一端设置有感应片2223，导杆保持座21上设置有感应开关211，通过感应片2223触发感应开关211能够得到取料件223沿圆柱导杆222的轴线方向上的位置。当取料件223位于初始位置时，感应片2223触发感应开关211，即感应片2223遮挡感应开关211，感应开关211检测到信号，以保证取料件223的初始位置高度一定。

为了方便感应片2223的固定安装，未连接驱动件221的一个圆柱导杆222 上设置有感应固定板2224，感应固定板2224一端与圆柱导杆222固定连接，另一端与感应片2223采用螺栓固定连接；为了方便感应开关211的安装，导杆保持座21上设置有感应开关座212，感应开关211固定设置于感应开关座212上。

如图6所示，本实用新型实施例还提供了一种物料搬运装置，包括总装板1 和取放料结构2，取放料结构2与总装板1固定连接。其中，总装板1与驱动模组的输出端固定连接，驱动模组能够驱动总装板1沿X轴的方向上移动，取放料结构2中的驱动件221能够驱动取料件223沿Z轴的方向(即圆柱导杆222 的轴线方向)上移动。该结构通过驱动模组驱动总装板1带动取放料结构2沿X 轴的方向上移动至取料位置，驱动件221再驱动取料件223沿Z轴方向移动并抓取芯片。

该物料搬运装置，通过上述取放料结构2，具有节省安装空间，提高工作效率的优势。

可选地，物料搬运装置还包括真空发生装置3，取料件223为吸嘴，吸嘴通过管路与真空发生装置3连通。继续参照图6，总装板1上还设置有安装板4，真空发生装置3固定设置于安装板4上，真空发生装置3能够产生负压和真空破坏，通过管路将真空发生装置3和吸嘴连通，以使真空发生装置3在产生负压时，吸嘴能够吸取芯片，在真空发生装置3真空破坏时，管路中的负压消除，吸嘴放置芯片，使吸取或放置芯片更加方便，结构更加合理。

在其他的实施例中，取料件223也可以为夹爪结构，通过夹爪结构能够夹取芯片。

进一步地，真空发生装置3包括至少两个真空发生器31，真空发生器31与取料件223一一对应设置。在本实施例中，真空发生器31与取料件223均设置有十个，每个真空发生器31均设置有一个第一管接头，每个吸嘴均设置有一个第二管接头，通过管路连通第一管接头和第二管接头将真空发生器31与吸嘴连通，以使每个吸嘴均通过一个真空发生器31单独控制。

在本实施例中，该物料搬运装置的工作流程为：驱动模组驱动总装板1带动整体结构沿X轴的方向移动至取料位置，此时，取料件223处于等待位置，感应开关211被感应片2223遮挡；直线电机固定在总装板1上，直线电机的动子2214与动子座2214a连接，导杆夹块2222一端与动子座2214a连接，另一端与圆柱导杆222连接，直线电机的动子2214沿Z轴方向朝向芯片移动进而驱动与导杆夹块2222固定连接的圆柱导杆222带动吸嘴朝向芯片移动，而与连接导杆夹块2222的圆柱导杆222相邻的另一个圆柱导杆222在中间齿轮2241顺时针旋转带动下背离芯片移动；此时与设置连接该圆柱导杆222上的真空发生器31打开，吸嘴通过管路产生真空，继续朝向芯片移动并吸取芯片，直线电机驱动动子2214反向运动，感应开关211感应到位信号，两个吸嘴同时处于等待位置，驱动模组驱动总装板1步进一个芯片距离；然后，直线电机的动子2214 沿Z轴方向反向移动，则与连接导杆夹块2222的圆柱导杆222相邻的另一个圆柱导杆222在中间齿轮2241逆时针旋转带动下朝向芯片移动以吸取芯片，直线电机驱动动子2214再沿Z轴的方向上朝向芯片移动，两个吸嘴在直线电机的动子2214的驱动下回到等待位置，重复以上动作，待所有吸嘴取料完成后，驱动模组再驱动总装板1带动整体结构沿X轴方向移动至放料位置，并依次放入收料盘上。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种取放料结构，其特征在于，包括：

导杆保持座(21)；

至少一组取放料机构(22)，所述取放料机构(22)包括驱动件(221)以及至少两个圆柱导杆(222)，所述驱动件(221)的输出端与所述圆柱导杆(222)固定连接，所述圆柱导杆(222)端部设置有取料件(223)，每相邻两个所述圆柱导杆(222)通过一个传动组件(224)传动连接，且均滑动限位于所述导杆保持座(21)上，相邻两个所述圆柱导杆(222)的移动方向相反，所述驱动件(221)能够驱动一个所述圆柱导杆(222)沿其轴线方向上移动，并通过所述传动组件(224)带动其余所述圆柱导杆(222)沿所述轴线方向上反向移动或同向移动。

2.根据权利要求1所述的取放料结构，其特征在于，所述圆柱导杆(222)设置有两个，所述驱动件(221)能够驱动一个所述圆柱导杆(222)沿所述轴线方向移动，并通过所述传动组件(224)带动另一个所述圆柱导杆(222)沿所述轴线方向反向移动。

3.根据权利要求1或2所述的取放料结构，其特征在于，沿所述轴线方向上，所述圆柱导杆(222)的圆周面上间隔设置有多个齿槽(2221)；所述传动组件(224)包括中间齿轮(2241)和齿轮轴(2242)，所述中间齿轮(2241)与所述齿轮轴(2242)连接，且所述中间齿轮(2241)同时与两个所述圆柱导杆(222)上的所述齿槽(2221)啮合，所述齿轮轴(2242)设置于所述导杆保持座(21)上。

4.根据权利要求3所述的取放料结构，其特征在于，所述传动组件(224)还包括固定座(2243)，所述固定座(2243)固定设置于所述导杆保持座(21)上，所述齿轮轴(2242)的一端与所述导杆保持座(21)转动连接，另一端与所述固定座(2243)转动连接。

5.根据权利要求1或2所述的取放料结构，其特征在于，连接所述驱动件(221)的输出端的所述圆柱导杆(222)上背离所述取料件(223)的一端设置有导杆夹块(2222)，所述导杆夹块(2222)与所述圆柱导杆(222)固定连接且同时与所述驱动件(221)的输出端固定连接。

6.根据权利要求2所述的取放料结构，其特征在于，所述取放料机构(22)还包括两个固定块(225)，两个所述圆柱导杆(222)的端部分别与两个固定块(225)固定连接，两个所述取料件(223)分别固定连接于两个所述固定块(225)上，所述固定块(225)上设置有导轴(2251)，所述导轴(2251)滑动限位于所述导杆保持座(21)上。

7.根据权利要求2所述的取放料结构，其特征在于，两个所述圆柱导杆(222)中未连接所述驱动件(221)的一个上背离所述取料件(223)的一端设置有感应片(2223)，所述导杆保持座(21)上设置有感应开关(211)，所述感应片(2223)能够触发所述感应开关(211)。

8.一种物料搬运装置，其特征在于，包括：

总装板(1)；以及

如权利要求1-7任一项所述的取放料结构，所述取放料结构与所述总装板(1)固定连接。

9.根据权利要求8所述的物料搬运装置，其特征在于，所述物料搬运装置还包括真空发生装置(3)，所述取料件(223)为吸嘴，所述吸嘴通过管路与所述真空发生装置(3)连通。

10.根据权利要求9所述的物料搬运装置，其特征在于，所述真空发生装置(3)包括至少两个真空发生器(31)，所述真空发生器(31)与所述取料件(223)一一对应设置。

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