CN218014501U - 一种石英板酸洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石英板酸洗设备，包括机柜，所述机柜的上部两侧均设置有齿条，所述齿条上设置有料篮搬运机构，所述料篮搬运机构包括安装座，所述安装座上设置有安装板，所述安装板上设置有升降传动装置；所述安装板的底部两端均设置有支撑滑动板，两个支撑滑动板之间滑动连接有升降板，所述升降传动装置通过起重带与所述升降板连接，并通过起重带带动升降板沿着两个支撑滑动板升降运动，所述升降板的底部两端均设置有两个呈一定间距分布的勾爪。本实用新型中传动电机通过齿轮驱动安装座沿着齿条移动，升降机构通过驱动勾爪下移将机柜进料口处的装有石英板材的料篮勾住并移送到酸洗池中对石英板材进行酸洗，大大减轻了工人的劳动强度。

Description

一种石英板酸洗设备

技术领域

本实用新型涉及酸洗设备技术领域，特别是一种石英板酸洗设备。

背景技术

石英材料性能优越、终端应用广泛，是半导体产业关键的原材料之一。石英具有耐高温、热膨胀系数小、极佳的透光性、良好的电绝缘性、耐腐蚀性等优越性能，下游需求广泛涉及了中低端的光源行业(4％)、光伏行业(7％)，以及中高端的光学(10％)、光纤(14％)和半导体(65％)等门槛更高的领域，是半导体产业的关键原材料之一。

石英在加工过程中需要对石英材料进行酸洗，以除去石英矿物中的铁质杂质。目前通常是通过人工将装有石英的清洗篮放置到装有酸洗液的酸洗池中进行酸洗，人工放置不仅劳动强度大，生产效率低，而且石英在酸洗溶液中可能会产生大量有害气体，会工作人员的健康构成威胁，将清洗篮放入酸洗池中时，可能会导致酸洗液飞溅，对人体也会造成威胁，因此需要研发一种酸洗设备以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了一种石英板酸洗设备。

实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种石英板酸洗设备，包括机柜，所述机柜的上部两侧均设置有齿条，所述齿条上设置有料篮搬运机构，所述料篮搬运机构包括安装座，所述安装座上设置有安装板，所述安装板上设置有升降传动装置；

所述安装板的底部两端均设置有支撑滑动板，两个支撑滑动板之间滑动连接有升降板，所述升降传动装置通过起重带与所述升降板连接，并通过起重带带动升降板沿着两个支撑滑动板升降运动，所述升降板的底部两端均设置有两个呈一定间距分布的勾爪；

所述安装座的两端均设置有传动电机和齿轮座，所述传动电机通过齿轮与所述齿轮座啮合连接，所述齿轮座与所述齿条啮合，所述传动电机通过齿轮驱动安装座沿着齿条运动。

作为本实用新型的进一步补充，所述安装座的两端还设置有导向轮，所述传动电机驱动安装座沿着齿条运动时，所述导向轮沿着机柜顶部的杆件运动。

作为本实用新型的进一步补充，所述升降传动装置包括安装在安装板上的升降电机和若干固定座，若干固定座上转动连接有转轴，所述升降电机与所述转轴传动连接，驱动转轴转动，所述安装板的两端开设有方孔，所述起重带的上端穿过方孔与所述转轴连接，下端与所述升降板连接。

作为本实用新型的进一步补充，所述机柜设置有进料口，所述进料口设置有放置有石英板的料篮，所述料篮的底部设置有不与料篮内底面接触的承载板，所述承载板上设置有若干垫块，且承载板开设有若干通孔，所述料篮的上部设置有两根固定杆。

作为本实用新型的进一步补充，所述固定杆之间的间距与所述升降板底部一端的两个勾爪之间的间距相适配。

作为本实用新型的进一步补充，所述机柜内设置有若干用于盛放酸洗液的酸洗池，通过所述料篮搬运机构将机柜进料口处的料篮搬运到酸洗池中，对料篮中的石英板材静置酸洗。

作为本实用新型的进一步补充，所述机柜的外侧设置有控制柜以及若干用于抽取机柜内部在酸洗时所产生的气体的抽气泵。

其有益效果在于，本实用新型中传动电机通过齿轮驱动安装座沿着机柜顶部的齿条移动，升降机构通过驱动勾爪下移将机柜进料口处的装有石英板材的料篮勾住并移送到酸洗池中对石英板材进行酸洗，由于机柜整体相对密封，因此无需担心酸洗池中的酸洗液溅出伤人，而且在酸洗过程中产生的有害气体由抽气泵将气体抽取出来，保证有害气体不会在机柜内部积攒，减少有害气体的安全威胁，而且通过该清洗设备大大减轻了工人的劳动强度。

附图说明

图1是本实用新型的内部结构示意图；

图2是本实用新型的外侧结构示意图；

图3是本实用新型中料篮的结构示意图；

图4是本实用新型中料篮搬运机构的结构示意图；

图5是本实用新型中料篮搬运机构的另一视角的结构示意图。

图中，1、机柜；2、料篮；21、承载板；22、垫块；23、固定杆；3、齿条；4、料篮搬运机构；41、安装座；42、安装板；43、支撑滑动板；44、升降板；45、升降电机；46、固定座；47、转轴；48、传动电机；49、起重带；50、勾爪；51、齿轮座；52、导向轮；5、酸洗池；6、控制柜；7、抽气泵。

具体实施方式

首先说明一下本实用新型的设计初衷，由于目前石英板材在酸洗时通常通过人工将石英板材放入酸洗池中进行酸洗，在酸洗过程中会产生有害气体危害人体健康，而且石英板材在放入酸洗溶液中时可能会导致酸洗溶液溅出，对操作人员造成威胁，因此为了解决上述问题，本实用新型提出了一种石英板材酸洗设备。

下面结合附图对本实用新型进行具体描述，如图1所示，该酸洗设备主要包括机柜1、设置于机柜1顶部的料篮搬运机构4、以及设置于机柜1内部的若干装有酸洗溶液的酸洗池5，而且机柜1也设置有进料口，在进料口处放置有装有石英板材的料篮2，料篮2主要通过叉车搬运到机柜1的进料口处，并通过料篮搬运机构4将料篮2勾起搬运到酸洗池5中进行酸洗。

接下来对其具体结构和工作原理进行说明：

如图3所示，在上述料篮2的底部设置有承载板21，承载板21的底部不与料篮2内底面接触，中间存在一定的间隙，供酸洗溶液通入，而在承载板21上设置有若干垫块22，且承载板21上还开设有若干通孔，当石英板材放入到料篮2中后，石英板材的底部由垫块22承托，酸洗时酸洗溶液会通过承载板21上的通孔进入石英板材之间的缝隙，而在料篮2的上部设置有两根平行分布的固定杆23，便于料篮搬运机构4将料篮2吊起。

如图4和图5所示，料篮搬运机构4主要由安装座41、安装板42、升降传动装置、支撑滑动板43、升降板44、勾爪50等部件组成，其中安装座41由四根框架条组成的框架结构，在安装座41的两端均设置有传动电机48、齿轮座51和导向轮52，而齿轮座51和导向轮52分别位于安装座41同一侧的两端，而在机柜1的顶部两侧均设置有齿条3，传动电机48通过齿轮与齿轮座51啮合连接，齿轮座51与齿条3啮合连接，因此安装座41两端的传动电机48会通过齿轮驱动齿轮座51转动，由齿轮座51和齿条3配合，带动安装座41沿着齿条3运动，导向轮52起到导向的作用，会沿着机柜1顶部的杆件运动。

安装板42是横向安装固定在安装座41上的，支撑滑动板43设有两个，分别安装在安装板42底部的两端，并与安装座41的内侧固定连接，升降板44安装在两个支撑滑动板43之间，并与两个支撑滑动板43滑动连接，上述的升降传动装置是安装在安装板42上的，其包括安装在安装板42上的升降电机45和若干固定座46，若干固定座46按移动间距均匀分布在安装板42上，并且若干固定座46上转动连接有转轴47，升降电机45与转轴47传动连接，驱动转轴47转动，而在安装板42的两端均开设有方孔，转轴47的两端均设置有起重带49，起重带49的上端与转轴47连接，下端穿过方孔与安装板42正下方的升降板44连接，通过升降电机45驱动转轴47转动，起重带49会卷绕在转轴47上，带动升降板44沿着两个支撑滑动板43上下滑动，勾爪50是设有四个的，每两个一组，按一定间距分别安装在升降板44底部的两端，而且上述的料篮2上的两个固定杆23之间的间距与升降板44底部同一端的两个勾爪50之间的间距是相适配的，因此当勾爪50下移时，会与固定杆23错位将固定杆23勾住，从而实现对料篮2的起重搬运，并将料篮2移送到酸洗池5中，对石英板材进行静置酸洗。

石英板材在酸洗的过程中，酸洗溶液会与石英板材表面发生化学反应，产生有害气体，因此为了防止有害气体在机柜1内部积攒，如图2所示，在机柜1的外侧设置有若干抽气泵7，抽气泵7通过管道与专门的集气装置连接，通过抽气泵7将机柜1产生的有害气体抽取出输送到集气装置中，减小机柜1内部的安全威胁，而整套酸洗设备是由设置于机柜1外侧的控制柜6控制的，通过该设备可以大大减轻工人的劳动强度。

上述技术方案仅体现了本实用新型技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本实用新型的原理，属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种石英板酸洗设备，包括机柜(1)，其特征在于，所述机柜(1)的上部两侧均设置有齿条(3)，所述齿条(3)上设置有料篮搬运机构(4)，所述料篮搬运机构(4)包括安装座(41)，所述安装座(41)上设置有安装板(42)，所述安装板(42)上设置有升降传动装置；

所述安装板(42)的底部两端均设置有支撑滑动板(43)，两个支撑滑动板(43)之间滑动连接有升降板(44)，所述升降传动装置通过起重带(49)与所述升降板(44)连接，并通过起重带(49)带动升降板(44)沿着两个支撑滑动板(43)升降运动，所述升降板(44)的底部两端均设置有两个呈一定间距分布的勾爪(50)；

所述安装座(41)的两端均设置有传动电机(48)和齿轮座(51)，所述传动电机(48)通过齿轮与所述齿轮座(51)啮合连接，所述齿轮座(51)与所述齿条(3)啮合，所述传动电机(48)通过齿轮驱动安装座(41)沿着齿条(3)运动。

2.根据权利要求1所述的一种石英板酸洗设备，其特征在于，所述安装座(41)的两端还设置有导向轮(52)，所述传动电机(48)驱动安装座(41)沿着齿条(3)运动时，所述导向轮(52)沿着机柜(1)顶部的杆件运动。

3.根据权利要求1所述的一种石英板酸洗设备，其特征在于，所述升降传动装置包括安装在安装板(42)上的升降电机(45)和若干固定座(46)，若干固定座(46)上转动连接有转轴(47)，所述升降电机(45)与所述转轴(47)传动连接，驱动转轴(47)转动，所述安装板(42)的两端开设有方孔，所述起重带(49)的上端穿过方孔与所述转轴(47)连接，下端与所述升降板(44)连接。

4.根据权利要求1所述的一种石英板酸洗设备，其特征在于，所述机柜(1)设置有进料口，所述进料口设置有放置有石英板的料篮(2)，所述料篮(2)的底部设置有不与料篮(2)内底面接触的承载板(21)，所述承载板(21)上设置有若干垫块(22)，且承载板(21)开设有若干通孔，所述料篮(2)的上部设置有两根固定杆(23)。

5.根据权利要求4所述的一种石英板酸洗设备，其特征在于，所述固定杆(23)之间的间距与所述升降板(44)底部一端的两个勾爪(50)之间的间距相适配。

6.根据权利要求1所述的一种石英板酸洗设备，其特征在于，所述机柜(1)内设置有若干用于盛放酸洗液的酸洗池(5)，通过所述料篮搬运机构(4)将机柜(1)进料口处的料篮(2)搬运到酸洗池(5)中，对料篮(2)中的石英板材静置酸洗。

7.根据权利要求1所述的一种石英板酸洗设备，其特征在于，所述机柜(1)的外侧设置有控制柜(6)以及若干用于抽取机柜(1)内部在酸洗时所产生的气体的抽气泵(7)。

Images