CN217995737U - 一种双框架上料装置及固晶设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种双框架上料装置及固晶设备，双框架上料装置包括框架输送装置和上料设备；上料设备用于将两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移至框架输送装置上。其既可以通过上料设备同时一次性地将两个框架单元送入固晶设备中的下一装置，以提高UPH，又可以通过上料设备校正两个框架单元的相对位置，使得两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移至框架输送装置上，使得两个PAD部的距离减少，便于后续设备对两个框架单元进行加热时，热量不易逸散，可控性强，从而提高晶圆邦定时的稳定稳定性，在不需要额外调节框架单元位置的前提下，即不影响生产效率的前提下，使得生产稳定性得到提高。综上，本申请具备生产效率高且生产稳定性高的优点。

Description

一种双框架上料装置及固晶设备

技术领域

本实用新型涉及固晶技术领域，尤其涉及一种双框架上料装置及固晶设备。

背景技术

固晶是一种将晶圆用胶粘接或焊丝焊接在框架上的PAD区域(衬垫区域)，以形成热通路或电通路，为后序的打线连接提供条件的工序。在上述固晶工序中，通常需要上料设备将多层叠放的框架进行分离上料，并需要后续的框架推送结构将框架推入固晶工位，以便于固晶设备将晶圆用胶粘接或焊丝焊接在框架的PAD区域上，当前，固晶设备中主要采用旋转吸取上料方式(通过配置有吸盘的吸嘴杆组件旋转吸取)实现上料，并采用水平推动的方式推入后续的固晶工位的轨道上。

对于常规的固晶设备而言，其主要采用单个框架上料的形式，即上料结构从料仓中逐一地将框架取出，并通过框架推送结构将单个框架推入固晶工位，显然，上述形式的生产效率较低；为了提高流转效率，比较常见的改进手段是，每次向固晶设备送入两个框架。

一般地，如图1所示，框架单元010的PAD部011不位于框架单元010的中间位置，而是位于框架单元010的一端。现有上料结构将两个框架单元010送入固晶设备时，并不会针对性地改变框架单元010的摆放姿态以调整两PAD部011之间的间隔距离L，因此，当两个框架单元010被送进固晶设备时，两个PAD部011是同时位于各自的框架单元010的左端(或者，同时位于自身的框架单元010的右端)的，由于两个框架单元010之间必然也具备一定的间隔空间，因此，两个PAD部011之间的间隔距离L必然大于一个框架单元010的长度。

在后续的工序中，两个框架单元010会被同步送入温控设备进行加热，具体地，主要是要加热两个PAD部011。一般地，温控设备内的加热区域是连续的，由于两个PAD部011之间的间隔距离L必然大于一个框架单元010的长度，因此，温控设备内的加热区域的宽度也必须大于一个框架单元010的长度。显然，这样的加热区域较宽，热量容易逸散，可控性较差，最终导致晶圆邦定时的温度稳定性较差，影响固晶设备的生产稳定性。

即现有技术中的固晶设备存在生产效率提高与生产稳定性提高不兼容的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双框架上料装置及固晶设备，来解决现有技术中的固晶设备存在生产效率提高与生产稳定性提高不兼容的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种双框架上料装置，包括框架输送装置和上料设备；

所述上料设备用于将两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移至所述框架输送装置上。

可选地，所述上料设备包括分列于所述框架输送装置两侧的第一上料装置和第二上料装置，所述框架输送装置上设置有横向并列设置的第一接料工位和第二接料工位；所述框架输送装置的两侧分别设置有框架存料仓装置；

所述第一上料装置用于将同侧的所述框架存料仓装置中的框架单元移动至所述第二接料工位，使得所述第二接料工位上的框架单元的PAD部靠近所述第一接料工位设置；

所述第二上料装置用于将同侧的所述框架存料仓装置中的框架单元移动至所述第一接料工位，使得所述第一接料工位上的框架单元的PAD部靠近所述第二接料工位设置。

可选地，所述第一上料装置包括第一旋转装置，所述第一旋转装置的旋转轴固定连接有第一框架搬运装置；

所述第二上料装置包括第二旋转装置，所述第二旋转装置的旋转轴固定连接有第二框架搬运装置；

所述框架输送装置对应所述第一框架搬运装置的位置设置有第一容置槽，所述框架输送装置对应所述第二框架搬运装置的位置设置有第二容置槽。

可选地，所述第一容置槽设置于所述第二接料工位的底侧，且所述第二接料工位设置于所述第一接料工位远离所述第一上料装置的一侧；

所述第二容置槽设置于所述第一接料工位的底侧，且所述第一接料工位设置于所述第二接料工位远离所述第二上料装置的一侧。

可选地，还包括基座，所述框架输送装置安装于所述基座上；所述框架存料仓装置相对于所述框架输送装置倾斜设置，且所述框架存料仓装置远离所述框架输送装置的一端朝靠近所述基座的方向倾斜设置。

可选地，所述框架存料仓装置包括支撑板，所述支撑板上安装有第一上料电机、第一同步带组件及第二同步带组件，所述第一上料电机通过所述第一同步带组件带动所述第二同步带组件转动，所述第二同步带组件相对所述框架输送装置倾斜设置；

所述第二同步带组件的移动端上安装有框架推板，且所述支撑板于所述框架推板的两侧安装有框架宽度限制板。

可选地，所述第一框架搬运装置与所述第二框架搬运装置均包括旋转臂，所述旋转臂与所述旋转轴固定连接，且所述旋转臂的末端连接有吸嘴杆，所述吸嘴杆上连接有管接头与真空吸盘，所述管接头通过所述吸嘴杆与所述真空吸盘连通。

可选地，所述框架输送装置包括输送轨道与推离装置，所述第一容置槽与所述第二容置槽形成于所述输送轨道上；所述推离装置的推动端能在所述所述第一容置槽及所述第二容置槽中活动，且凸出于所述所述输送轨道，以将框架单元推离。

可选地，所述第一框架搬运装置与所述第二框架搬运装置均包括旋转臂；

所述输送轨道包括依次连接的第一框架支撑条、第二框架支撑条及第三框架支撑条；

所述第一框架支撑条的一侧连接有第一右支撑条，所述第一框架支撑条的另一侧连接有第一左支撑条；所述第三框架支撑条的一侧连接有第二右支撑条，所述第三框架支撑条的另一侧连接有第二左支撑条；

所述第一右支撑条与所述第二右支撑条之间、所述第一框架支撑条与所述第二框架支撑条之间分别留有供所述第一框架搬运装置的旋转臂进入的第一间隙；

所述第一左支撑条与所述第二左支撑条之间、所述第二框架支撑条与所述第三框架支撑条之间留有供所述第二框架搬运装置的旋转臂进入的第二间隙。

一种固晶设备，包括固晶装置与如上所述的双框架上料装置，所述双框架上料装置用于将框架单元送入所述固晶装置中。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的双框架上料装置及固晶设备，其工作时，既可以通过上料设备同时将两个框架单元送入固晶设备中的下一装置，又可以通过上料设备校正两个框架单元的相对位置，使得两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移至框架输送装置上，使得两个PAD部的距离减少，使得加热区域的宽度窄，便于后续设备对两个框架单元进行加热时，热量不易逸散，可控性强，从而提高晶圆邦定时的稳定稳定性，在不需要额外调节框架单元位置的前提下，即不影响生产效率的前提下，使得生产稳定性得到提高。综上所述，本双框架上料装置及固晶设备具备生产效率高且生产稳定性高的优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

图1为背景技术中的固晶设备的工作原理示意图；

图2为本实用新型实施例提供的双框架上料装置的整体结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的双框架上料装置的俯视结构示意图；

图4为本实用新型实施例的框架存料仓装置的正视结构示意图；

图5为本实用新型实施例的框架存料仓装置的俯视结构示意图；

图6为本实用新型实施例的第一上料装置的正视结构示意图；

图7为本实用新型实施例的第一上料装置的俯视结构示意图；

图8为本实用新型实施例的输送轨道的俯视结构示意图；

图9为本实用新型实施例的推离装置的正视结构示意图；

图10为本实用新型实施例的推离装置的俯视结构示意图；

图11为图3于A处的局部放大结构示意图；

图12为图3于B处的局部放大结构示意图。

图示说明：010、框架单元；011、PAD部；

100、框架输送装置；110、第一接料工位；120、第二接料工位；200、框架存料仓装置；201、支撑板；202、第一上料电机；203、第一同步带组件；204、第二同步带组件；205、框架推板；206、框架宽度限制板；207、存料导轨；208、第一光电单元；210、零点检测单元；211、第二光电开关；

300、第一上料装置；301、旋转轴；302、旋转臂；303、吸嘴杆；304、管接头；305、真空吸盘；306、轴承；307、上料框架；308、第二上料电机；309、上料同步带；310、上料同步轮；400、第二上料装置；

500、输送轨道；501、第一容置槽；502、第二容置槽；511、第一框架支撑条；512、第二框架支撑条；513、第三框架支撑条；514、第一右支撑条；515、第一左支撑条；516、第二右支撑条；517、第二左支撑条；518、第一间隙；519、第二间隙；520、光纤检测；

600、推离装置；601、升降气缸；602、推针调整件；603、框架推针；604、推离导轨；605、推离电机；606、T型座；607、推离同步带；700、基座。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

请参考图2至图12，图2为本实用新型实施例提供的双框架上料装置的整体结构示意图，图3为本实用新型实施例提供的双框架上料装置的俯视结构示意图，图4为本实用新型实施例的框架存料仓装置的正视结构示意图，图5为本实用新型实施例的框架存料仓装置的俯视结构示意图，图6为本实用新型实施例的第一上料装置的正视结构示意图，图7为本实用新型实施例的第一上料装置的俯视结构示意图，图8为本实用新型实施例的输送轨道的俯视结构示意图，图9为本实用新型实施例的推离装置的正视结构示意图，图10为本实用新型实施例的推离装置的俯视结构示意图；图11为图3于A处的局部放大结构示意图，图12为图3于B处的局部放大结构示意图。

实施例一

本实用新型实施例提供的双框架上料装置，应用于固晶设备中，主要用于框架单元010的上料，通过对双框架上料装置的结构进行改进，使双框架上料装置结构合理，结构紧凑，能够同时一次性输送两个框架单元010，极大地提高了输送效率，提高了设备的UPH，结构精密，运行稳定，效率比较高。

本实施例的的双框架上料装置包括框架输送装置100和上料设备；上料设备用于将两个框架单元010以PAD部011相互靠近的姿态转移至框架输送装置100上。具体地，在工作时，双框架上料装置既可以通过上料设备同时将两个框架单元010送入固晶设备中的下一装置(例如，邦定装置)，又可以通过上料设备校正两个框架单元010的相对位置，使得两个框架单元010以PAD部011相互靠近的姿态转移至框架输送装置100上，使得两个PAD部011的距离减少，使得加热区域的宽度窄，便于后续设备对两个框架单元010进行加热时，热量不易逸散，可控性强，从而提高晶圆邦定时的稳定稳定性，在不需要额外调节框架单元010位置的前提下，即不影响生产效率的前提下，使得生产稳定性得到提高。综上所述，本双框架上料装置具备生产效率高且生产稳定性高的优点。

具体地，如图2至图3所示，本实施例的双框架上料装置包括基座700与安装于基座700上的框架输送装置100，框架输送装置100上设置有横向并列设置的第一接料工位110和第二接料工位120；框架输送装置100的两侧分别设置有框架存料仓装置200；其中，框架输送装置100用于将第一接料工位110和第二接料工位120上的框架单元010送入固晶设备中的下一装置(例如，邦定装置)，框架存料仓装置200内存储有多个框架单元010，另外需要说明的是，相对于框架存料仓装置200而言，其布置于框架输送装置100的左侧或右侧，其框架单元010相对于框架存料仓装置200的位置均不变，便于工作人员将框架单元010统一地放置于框架存料仓装置200，降低了操作难度，使得上料效率得到提高。

上料设备包括分列于框架输送装置100两侧的第一上料装置300和第二上料装置400，第一上料装置300用于将同侧的框架存料仓装置200中的框架单元010移动至第二接料工位120，使得第二接料工位120上的框架单元010的PAD部011靠近第一接料工位110设置；第二上料装置400用于将同侧的框架存料仓装置200中的框架单元010移动至第一接料工位110，使得第一接料工位110上的框架单元010的PAD部011靠近第二接料工位120设置。

具体地，工作时，第一上料装置300将同侧的框架存料仓装置200中的框架单元010移动至第二接料工位120，第二上料装置400将同侧的框架存料仓装置200中的框架单元010移动至第一接料工位110，能够同时吸取两侧的框架单元010并移动至框架输送装置100上，具有生产效率高的优点。同时，由于框架存料仓装置200分别设置在框架输送装置100的两侧，相当于两侧的框架单元010以框架输送装置100为中心对称设置；因此框架单元010经过上料装置的搬运并移动至框架输送装置100上后，两个框架单元010仍为对称设置，使得两个PAD部011的距离减少；

例如，如图11所示，左侧的框架单元010的PAD部011从左向右地朝向框架输送装置100设置，如图12所示，右侧的框架单元010的PAD部011从右向左地朝向框架输送装置100设置，即左右两侧的框架单元010以框架输送装置100的中线对称设置；经过上料装置的作用后，如图3中的放大图所示，原本位于左侧的框架单元010位于第二接料工位120，其PAD部011朝向第一接料工位110，原本位于右侧的框架单元010位于第一接料工位110，其PAD部011朝向第二接料工位120，此时，两个框架单元010仍以框架输送装置100的中线对称设置，即各自的PAD部011相互靠近设置，使得两个PAD部011之间的间距L远小于框架单元010的宽度；从而，上述设置使得加热区域的宽度窄，便于后续设备对两个框架单元010进行加热时，热量不易逸散，可控性强，从而提高晶圆邦定时的稳定稳定性，在不需要额外调节框架单元010位置的前提下，也不需要额外地设置旋转结构对其中一个框架单元010的旋转角度进行调节，即不影响生产效率的前提下，使得生产稳定性得到提高。综上所述，本双框架上料装置及固晶设备具备生产效率高且生产稳定性高的优点。

在一个具体的实施方式中，如图2、图3、图6及图7所示，第一上料装置300包括第一旋转装置，第一旋转装置的旋转轴301固定连接有第一框架搬运装置；第二上料装置400包括第二旋转装置，第二旋转装置的旋转轴301固定连接有第二框架搬运装置；如图8所示，框架输送装置100对应第一框架搬运装置的位置设置有第一容置槽501，框架输送装置100对应第二框架搬运装置的位置设置有第二容置槽502。在本实施方式中，通过旋转的方式，以旋转轴301为中心，将框架单元010从框架存料仓装置200翻转至框架输送装置100对应的接料工位上，利用旋转装置及容置槽的设置，使得架搬运装置可以紧凑地设置在框架存料仓装置200与框架输送装置100之间，使得双框架上料装置的结构更加紧凑。

在其他可选的实施方式中，第一上料装置300及第二上料装置400可以选用设置于框架输送装置100顶部的直线电机模组，直线电机模组的移动端配置有夹爪，以从上方将框架单元010从框架存料仓装置200夹取至框架输送装置100。

进一步地，如图8所示，第一容置槽501设置于第二接料工位120的底侧，且第二接料工位120设置于第一接料工位110远离第一上料装置300的一侧；第二容置槽502设置于第一接料工位110的底侧，且第一接料工位110设置于第二接料工位120远离第二上料装置400的一侧。需要理解的是，对于左侧的框架单元010而言，其被第一上料装置300夹取后，以旋转轴301位为中心，经过第一接料工位110的上方，最后落入第二接料工位120中；同理地，对于右侧的框架单元010而言，其被第二上料装置400夹取后，以旋转轴301位为中心，经过第二接料工位120的上方，最后落入第一接料工位110中；也就说，两个框架单元010相当于空间的错位设置，使得结构更加紧凑；同时，对于左侧的框架单元010而言，其对应的旋转臂302相当于得到了延长，旋转臂302的长度至少大于旋转轴301到第一接料工位110的长度，当第一框架搬运装置从框架存料仓装置200夹取框架单元010时，第一框架搬运装置相应的的第一框架搬运装置相距框架存料仓装置200的末端(右末端)的距离增加，即真空吸盘305可以与第二同步带组件204的同步带的右末端保持适当的距离，即框架单元010的在该同步带的上料位置不需要过于贴近同步带的右末端，从而避免出现框架单元010在惯性的作用下从同步带滑落的情况。

进一步地，如图6所示，框架存料仓装置200相对于框架输送装置100倾斜设置，且框架存料仓装置200远离框架输送装置100的一端朝靠近基座700的方向倾斜设置。通过上述设置，使得双框架上料装置的占地面积进一步地少。

进一步地，如图4和图5所示，框架存料仓装置200包括支撑板201，支撑板201上安装有第一上料电机202、第一同步带组件203及第二同步带组件204，第一上料电机202通过第一同步带组件203带动第二同步带组件204转动，第二同步带组件204相对框架输送装置100倾斜设置；第二同步带组件204的移动端上安装有框架推板205，且支撑板201于框架推板205的两侧安装有框架宽度限制板206。其中，上述同步带组件均包括两个同步轮及套设于同步轮上的同步带，支撑板201上设置有存料导轨207，框架推板205与存料导轨207滑动连接，存料导轨207的右末端还设置有第一光电单元208以检测框架存料仓装置200中是否还有框架单元010；框架推板205远离第一光电单元208的一端，设置有零点检测单元210和第二光电开关211，零点检测单元210用于触发第二光电开关211，以校正框架推板205的位置。

进一步地，如图6和图7所示，第一框架搬运装置与第二框架搬运装置均包括旋转臂302，旋转臂302与旋转轴301固定连接，且旋转臂302的末端连接有吸嘴杆303，吸嘴杆303上连接有管接头304与真空吸盘305，管接头304通过吸嘴杆303与真空吸盘305连通。其中，旋转轴301通过轴承306与上料框架307转动连接；上述的第一旋转装置及第二旋转装置均包括旋转轴301，上料框架307上安装有第二上料电机308，第二上料电机308通过上料同步轮310与上料同步带309带动旋转轴301转动。

进一步地，如图2、图3、图8至图10所示，框架输送装置100包括输送轨道500与推离装置600，第一容置槽501与第二容置槽502形成于输送轨道500上；推离装置600的推动端能在第一容置槽501及第二容置槽502中活动，且凸出于输送轨道500，以将框架单元010推离，更加具体地，是将框架单元010推入固晶设备中的下一装置。

输送轨道500包括依次连接的第一框架支撑条511、第二框架支撑条512及第三框架支撑条513；第一框架支撑条511的一侧连接有第一右支撑条514，第一框架支撑条511的另一侧连接有第一左支撑条515；第三框架支撑条513的一侧连接有第二右支撑条516，第三框架支撑条513的另一侧连接有第二左支撑条517；第一右支撑条514与第二右支撑条516之间、第一框架支撑条511与第二框架支撑条512之间分别留有供第一框架搬运装置的旋转臂302进入的第一间隙518；第一左支撑条515与第二左支撑条517之间、第二框架支撑条512与第三框架支撑条513之间留有供第二框架搬运装置的旋转臂302进入的第二间隙519。同时第三框架支撑条513的一侧还设置有光纤检测520，光纤检测520用于判断框架单元010是否完全进入下一装置。

进一步地，如图9至图10所示，推离装置600包括同步带输送装置，同步带输送装置的移动端上安装有升降气缸601，升降气缸601的升降端上安装有推针调整件602，推针调整件602连接有框架推针603，框架推针603能相对于推针调整件602移动。需要补充是，推离装置600还包括推离导轨604，升降气缸601可以通过T型座606与推离导轨604滑动连接，而推离电机605可以通过推离同步带607及同步轮电动T型座606滑动，以带动框架推针603，进而通过框架推针603推动框架单元010；同时推离装置600还包括零点检测单元210和第二光电开关211，以对框架推针603的位置进行校正，以提高精度。

综上所述，本实施例提供的双框架上料装置结构合理，结构紧凑，能够实现双单排框架的上料过程，具备精度高、稳定性、效率高等优点。

实施例二

本实施例的固晶设备包括固晶装置与实施例一中的双框架上料装置，双框架上料装置用于将框架单元010送入固晶装置中，固晶装置起到将晶圆邦定在框架单元010的作用。实施例一中叙述了关于双框架上料装置的具体结构及技术效果，本实施例的固晶设备引用了该结构，同样具有其技术效果。

综上所述，本实施例提供的固晶设备结构合理，结构紧凑，能够实现双单排框架的上料过程，具备精度高、稳定性、效率高等优点。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种双框架上料装置，其特征在于，包括框架输送装置(100)和上料设备；

所述上料设备用于将两个框架单元(010)以PAD部(011)相互靠近的姿态转移至所述框架输送装置(100)上。

2.根据权利要求1所述的双框架上料装置，其特征在于，所述上料设备包括分列于所述框架输送装置(100)两侧的第一上料装置(300)和第二上料装置(400)，所述框架输送装置(100)上设置有横向并列设置的第一接料工位(110)和第二接料工位(120)；所述框架输送装置(100)的两侧分别设置有框架存料仓装置(200)；

所述第一上料装置(300)用于将同侧的所述框架存料仓装置(200)中的框架单元(010)移动至所述第二接料工位(120)，使得所述第二接料工位(120)上的框架单元(010)的PAD部(011)靠近所述第一接料工位(110)设置；

所述第二上料装置(400)用于将同侧的所述框架存料仓装置(200)中的框架单元(010)移动至所述第一接料工位(110)，使得所述第一接料工位(110)上的框架单元(010)的PAD部(011)靠近所述第二接料工位(120)设置。

3.根据权利要求2所述的双框架上料装置，其特征在于，所述第一上料装置(300)包括第一旋转装置，所述第一旋转装置的旋转轴(301)固定连接有第一框架搬运装置；

所述第二上料装置(400)包括第二旋转装置，所述第二旋转装置的旋转轴(301)固定连接有第二框架搬运装置；

所述框架输送装置(100)对应所述第一框架搬运装置的位置设置有第一容置槽(501)，所述框架输送装置(100)对应所述第二框架搬运装置的位置设置有第二容置槽(502)。

4.根据权利要求3所述的双框架上料装置，其特征在于，所述第一容置槽(501)设置于所述第二接料工位(120)的底侧，且所述第二接料工位(120)设置于所述第一接料工位(110)远离所述第一上料装置(300)的一侧；

所述第二容置槽(502)设置于所述第一接料工位(110)的底侧，且所述第一接料工位(110)设置于所述第二接料工位(120)远离所述第二上料装置(400)的一侧。

5.根据权利要求3所述的双框架上料装置，其特征在于，还包括基座(700)，所述框架输送装置(100)安装于所述基座(700)上；所述框架存料仓装置(200)相对于所述框架输送装置(100)倾斜设置，且所述框架存料仓装置(200)远离所述框架输送装置(100)的一端朝靠近所述基座(700)的方向倾斜设置。

6.根据权利要求5所述的双框架上料装置，其特征在于，所述框架存料仓装置(200)包括支撑板(201)，所述支撑板(201)上安装有第一上料电机(202)、第一同步带组件(203)及第二同步带组件(204)，所述第一上料电机(202)通过所述第一同步带组件(203)带动所述第二同步带组件(204)转动，所述第二同步带组件(204)相对所述框架输送装置(100)倾斜设置；

所述第二同步带组件(204)的移动端上安装有框架推板(205)，且所述支撑板(201)于所述框架推板(205)的两侧安装有框架宽度限制板(206)。

7.根据权利要求3所述的双框架上料装置，其特征在于，所述第一框架搬运装置与所述第二框架搬运装置均包括旋转臂(302)，所述旋转臂(302)与所述旋转轴(301)固定连接，且所述旋转臂(302)的末端连接有吸嘴杆(303)，所述吸嘴杆(303)上连接有管接头(304)与真空吸盘(305)，所述管接头(304)通过所述吸嘴杆(303)与所述真空吸盘(305)连通。

8.根据权利要求4所述的双框架上料装置，其特征在于，所述框架输送装置(100)包括输送轨道(500)与推离装置(600)，所述第一容置槽(501)与所述第二容置槽(502)形成于所述输送轨道(500)上；所述推离装置(600)的推动端能在所述第一容置槽(501)及所述第二容置槽(502)中活动，且凸出于所述输送轨道(500)，以将框架单元(010)推离。

9.根据权利要求8所述的双框架上料装置，其特征在于，所述第一框架搬运装置与所述第二框架搬运装置均包括旋转臂(302)；

所述输送轨道(500)包括依次连接的第一框架支撑条(511)、第二框架支撑条(512)及第三框架支撑条(513)；

所述第一框架支撑条(511)的一侧连接有第一右支撑条(514)，所述第一框架支撑条(511)的另一侧连接有第一左支撑条(515)；所述第三框架支撑条(513)的一侧连接有第二右支撑条(516)，所述第三框架支撑条(513)的另一侧连接有第二左支撑条(517)；

所述第一右支撑条(514)与所述第二右支撑条(516)之间、所述第一框架支撑条(511)与所述第二框架支撑条(512)之间分别留有供所述第一框架搬运装置的旋转臂(302)进入的第一间隙(518)；

所述第一左支撑条(515)与所述第二左支撑条(517)之间、所述第二框架支撑条(512)与所述第三框架支撑条(513)之间留有供所述第二框架搬运装置的旋转臂(302)进入的第二间隙(519)。

10.一种固晶设备，其特征在于，包括固晶装置与如权利要求1-9中任一项所述的双框架上料装置，所述双框架上料装置用于将框架单元(010)送入所述固晶装置中。

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