CN217978370U - 高纯气体供应系统特气供应分流盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了高纯气体供应系统特气供应分流盘，包括盘体，所述盘体的内部环绕设置有过滤网格，所述盘体的外侧表面设置有进气口，所述进气口的顶部设置有控制阀，所述盘体的顶部设置有盖板，所述盖板的顶部设置有调节柱，所述调节柱的外侧表面套设有套筒，所述套筒的外端设置有定位板，所述盖板的底部表面环绕设置有插接针，且插接针对应的盘体顶部表面环绕设置有插接孔。该高纯气体供应系统特气供应分流盘，在进行日常使用的过程中，可根据实际气体分流输送的方向不同需要，通过将相应的进气口与进出气设备进行连接，并且通过控制阀进行实时启闭相应的进气口，进而实现对分流的方向进行实时控制，使得分流盘使用的灵活性更好。

Description

高纯气体供应系统特气供应分流盘

技术领域

本实用新型涉及高纯气体供应系统特气供应分流技术领域，具体为高纯气体供应系统特气供应分流盘。

背景技术

高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999％的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99％即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99％的即可认为是高纯气体，高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气，高纯气体供应系统运行过程需要通过分流盘进行分流。

现有分流盘结构简单，功能单一，无法根据实际使用需要进行分流的方向调节，同时无法根据实际分流盘安装需要进行高度调节，使用的限制性较大灵活性较差，且无法对分流导送的气体进行实时过滤，使得气体导送过程容易受到污染影响气体纯度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供高纯气体供应系统特气供应分流盘，以解决上述背景技术中提出的现有分流盘结构简单，功能单一，无法根据实际使用需要进行分流的方向调节，同时无法根据实际分流盘安装需要进行高度调节，使用的限制性较大灵活性较差，且无法对分流导送的气体进行实时过滤，使得气体导送过程容易受到污染影响气体纯度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：高纯气体供应系统特气供应分流盘，包括盘体，所述盘体的内部环绕设置有过滤网格，所述盘体的外侧表面设置有进气口，所述进气口的顶部设置有控制阀，所述盘体的顶部设置有盖板，所述盖板的顶部设置有调节柱，所述调节柱的外侧表面套设有套筒，所述套筒的外端设置有定位板。

优选的，所述盖板的底部表面环绕设置有插接针，且插接针对应的盘体顶部表面环绕设置有插接孔。

优选的，所述定位板与套筒一体成型压合而成，所述定位板的两侧表面贯穿设置有定位螺孔，且定位螺孔的内侧活动安装有定位螺栓。

优选的，所述过滤网格的顶部两侧皆固定安装有拉环，且调节柱的表面和套筒的内壁皆设置有扭合螺纹。

优选的，所述进气口沿着盘体外侧表面环绕排布设置，且进气口之间的排布距离皆相等。

优选的，所述盖板的底部表面设置有密封垫，且密封垫的材质为橡胶。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

该高纯气体供应系统特气供应分流盘，在进行日常使用的过程中，可根据实际气体分流输送的方向不同需要，通过将相应的进气口与进出气设备进行连接，并且通过控制阀进行实时启闭相应的进气口，进而实现对分流的方向进行实时控制，使得分流盘使用的灵活性更好。

该高纯气体供应系统特气供应分流盘，在进行日常使用的过程中，可根据实际安装的高度不同需要，通过人工扭动调节柱在套筒内壁螺纹扭合驱动，实现对调节柱的实时延伸距离进行调节，进而实现对分流盘的高度进行实时调节，使得安装使用的整体局限性更小，同时可通过过滤网格对分流输送的气体进行实时过滤除尘，使得分流输送的气体更加纯净。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的盘体结构俯视图；

图3为本实用新型的盖板部分结构示意图；

图4为本实用新型的定位板部分结构示意图。

图中：1、定位板；2、套筒；3、调节柱；4、盖板；5、控制阀；6、盘体；7、进气口；8、插接孔；9、过滤网格；10、插接针；11、密封垫；12、定位螺栓；13、定位螺孔；14、扭合螺纹；15、拉环。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：高纯气体供应系统特气供应分流盘，包括盘体6，盘体6的内部环绕设置有过滤网格9，对分流输送的气体进行实时过滤除尘，使得分流输送的气体更加纯净，盘体6的外侧表面设置有进气口7，进气口7的顶部设置有控制阀5，可根据实际气体分流输送的方向不同需要，通过控制阀5进行实时启闭相应的进气口7，进而实现对分流的方向进行实时控制，使得分流盘使用的灵活性更好，盘体6的顶部设置有盖板4，盖板4的顶部设置有调节柱3，调节柱3的外侧表面套设有套筒2，套筒2的外端设置有定位板1，可根据实际安装的高度不同需要，通过人工扭动调节柱3在套筒2内壁螺纹扭合驱动，实现对调节柱3的实时延伸距离进行调节，进而实现对分流盘的高度进行实时调节，使得安装使用的整体局限性更小，盖板4的底部表面环绕设置有插接针10，且插接针10对应的盘体6顶部表面环绕设置有插接孔8，可方便进行盖板4和盘体6的快速安装和拆卸，有效的提高了盘体6内部清理维护的效率。

定位板1与套筒2一体成型压合而成，可增加安装定位的整体强度，定位板1的两侧表面贯穿设置有定位螺孔13，且定位螺孔13的内侧活动安装有定位螺栓12，可将分流盘整体进行安装固定到相应的分流位置处，避免使用过程分流盘发生松动掉落，过滤网格9的顶部两侧皆固定安装有拉环15，可方便人工进行实时拿持取出过滤网格9清理更换，且调节柱3的表面和套筒2的内壁皆设置有扭合螺纹14，可通过螺纹扭合产生驱动力实现延伸距离的调节，进气口7沿着盘体6外侧表面环绕排布设置，且进气口7之间的排布距离皆相等，可方便进行多个进气和出气设备的实时连接，进而实现对气体分流方向的实时调节，盖板4的底部表面设置有密封垫11，且密封垫11的材质为橡胶，可增加分流盘整体的密封性能，避免使用过程发生气体泄漏的问题。

工作原理：当需要进行高纯气体分流工作时，首先可将分流盘各个进气口7与相应的进出气设备进行实时连接固定，通过盖板4对分流盘进行实时密封，在进行日常使用的过程中，可根据实际气体分流输送的方向不同需要，通过控制阀5进行实时启闭相应的进气口7，进而实现对分流的方向进行实时控制，使得分流盘使用的灵活性更好，可根据实际安装的高度不同需要，通过人工扭动调节柱3在套筒2内壁螺纹扭合驱动，实现对调节柱3的实时延伸距离进行调节，进而实现对分流盘的高度进行实时调节，使得安装使用的整体局限性更小，同时可通过过滤网格9对分流输送的气体进行实时过滤除尘，使得分流输送的气体更加纯净。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.高纯气体供应系统特气供应分流盘，包括盘体(6)，其特征在于：所述盘体(6)的内部环绕设置有过滤网格(9)，所述盘体(6)的外侧表面设置有进气口(7)，所述进气口(7)的顶部设置有控制阀(5)，所述盘体(6)的顶部设置有盖板(4)，所述盖板(4)的顶部设置有调节柱(3)，所述调节柱(3)的外侧表面套设有套筒(2)，所述套筒(2)的外端设置有定位板(1)。

2.根据权利要求1所述的高纯气体供应系统特气供应分流盘，其特征在于：所述盖板(4)的底部表面环绕设置有插接针(10)，且插接针(10)对应的盘体(6)顶部表面环绕设置有插接孔(8)。

3.根据权利要求1所述的高纯气体供应系统特气供应分流盘，其特征在于：所述定位板(1)与套筒(2)一体成型压合而成，所述定位板(1)的两侧表面贯穿设置有定位螺孔(13)，且定位螺孔(13)的内侧活动安装有定位螺栓(12)。

4.根据权利要求1所述的高纯气体供应系统特气供应分流盘，其特征在于：所述过滤网格(9)的顶部两侧皆固定安装有拉环(15)，且调节柱(3)的表面和套筒(2)的内壁皆设置有扭合螺纹(14)。

5.根据权利要求4所述的高纯气体供应系统特气供应分流盘，其特征在于：所述进气口(7)沿着盘体(6)外侧表面环绕排布设置，且进气口(7)之间的排布距离皆相等。

6.根据权利要求1所述的高纯气体供应系统特气供应分流盘，其特征在于：所述盖板(4)的底部表面设置有密封垫(11)，且密封垫(11)的材质为橡胶。

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