CN217933717U - 蚀刻机加热板水平调节组件及蚀刻机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种蚀刻机加热板水平调节组件及蚀刻机，该蚀刻机加热板水平调节组件包括加热板，加热板的一端设置有连轴器，一支撑轴穿过连轴器；其中，支撑轴上设置有支撑垫片，支撑垫片设置在连轴器的下方，连轴器上设置有一个或者多个调节孔，调节件穿过调节孔，调节件的下端抵接在支撑垫片上。该蚀刻机包括传片手臂，该传片手臂包括上手臂与下手臂，蚀刻机还包括上述的蚀刻机加热板水平调节组件，沿垂直方向上，加热板位于上手臂和下手臂之间，传片手臂可相对于加热板转动。本实用新型可以灵活、方便的对加热板的水平位置进行调整。

Description

蚀刻机加热板水平调节组件及蚀刻机

技术领域

本实用新型涉及电子器件加工的技术领域，尤其涉及一种加热板水平调节组件以及具有这种加热板调节组件的蚀刻机。

背景技术

现有的电子设备大量使用半导体器件，半导体器件加工过程中往往需要应用蚀刻工艺，蚀刻机是常见的用于半导体蚀刻的加工设备。参见图1，现有的一种蚀刻机设置有传片手臂15，传片手臂15包括两片相互平行的手臂，分别是上手臂16和下手臂17，上手臂16和下手臂17具有间隙。另外，传片手臂15包括一根上手臂转动轴18，上手臂转动轴18穿过上手臂16，上手臂16可以绕上手臂转动轴18转动。在下手臂17的下端设置有手臂传动电机14，手臂传动电机14带动下手臂17转动。

蚀刻机内还设置有加热板11，加热板11由一根支撑轴12支撑，如图1所示，加热板11的一部分需要伸入到上手臂16和下手臂17之间的间隙内，传片手臂15和加热板12设置在一个真空室13内。通常，支撑轴12设置在加热板11的一端，例如远离传片手臂15的一端。蚀刻机运行时，上手臂16和下手臂17绕上手臂转动轴18转动，加热板11保持静止不动，为了确保加热板11不会影响传片手臂15的转动，加热板11应该与上手臂16、下手臂17保持一定的间隙，避免加热板11接触上手臂16或者下手臂17而影响传片手臂15的转动。

通常，上手臂16、下手臂17都是沿水平方向布置，因此，加热板11也需要沿水平方向布置，并且需要加热板11与下手臂17保持平行状态。然而，由于加热板11仅仅在一端由支撑轴12支撑，支撑轴12提供的支撑力仅仅集中在加热板11的一端，加热板11远离支撑轴12的一端在重力的作用下往往会向下倾斜。由于加热板11与下手臂17之间的间隙很小，当加热板11的一端向下倾斜时，容易发生加热板11与下手臂17的上表面接触的情况，在传片手臂15高速转动时，加热板11将划损下手臂17的上表面，导致下手臂17的上表面形成划痕，影响传片手臂15的使用。另外，由于加热板11与下手臂17接触将形成摩擦力，影响传片手臂15的转动速度，使得传片手臂15的转动阻力较大。

为此，需要对加热板11的水平位置进行调整，以确保加热板11与下手臂17之间保持一定的间隙。然而，现有的蚀刻机内并没有设置用于对加热板11的水平位置进行调整的结构，不利于加热板11快速、便捷的对其水平位置进行调节，影响半导体器件蚀刻效率。

发明内容

本实用新型的第一目的是提供一种能够简单对加热板进行水平调节的蚀刻机加热板水平调节组件。

本实用新型的第二目的是提供一种使用上述蚀刻机加热板水平调节组件的氮化镓功率器件热处理设备。

为了实现上述的第一目的，本实用新型提供的蚀刻机加热板水平调节组件包括加热板，加热板的一端设置有连轴器，一支撑轴穿过连轴器；其中，支撑轴上设置有支撑垫片，支撑垫片设置在连轴器的下方，连轴器上设置有一个或者多个调节孔，调节件穿过调节孔，调节件的下端抵接在支撑垫片上。

由上述方案可见，通过在连轴器上设置一个或者多个调节孔，并且使用调节件穿过调节孔，调节件的下端可以抵接在支撑垫片上。这样，通过调节多个调节件与调节孔之间的位置，可以快速、便捷的对加热板的水平位置进行调整，从而避免加热板与下手臂接触的问题。

一个优选的方案是，调节件为调节螺杆，调节孔内设置有内螺纹，调节螺杆与调节孔螺纹连接。

由此可见，通过调节螺杆可以实现调节件与调节孔的螺纹配合，当需要对加热板的水平位置进行调节时，通过对其中一个或者多个调节螺杆的位置进行调节，可以非常灵活的对加热板的水平位置进行调整，加热板的水平位置调整操作非常方便。

进一步的方案是，调节件的数量为三个以上，多个调节件在支撑轴的周向上均匀布置。

可见，调节加热板的水平位置时，通过调节其中一部分调节件的位置即可。

进一步的方案是，支撑轴包括第一段支撑轴与第二段支撑轴，第一段支撑轴的外径小于第二段支撑轴的外径，第一段支撑轴位于第二段支撑轴的上方；第一段支撑轴穿过连轴器。

由此可见，直径较小的第一段支撑轴穿过连轴器，可以避免连轴器的尺寸过大，有利于减小加热板水平调节组件的体积。

更进一步的方案是，多个调节件设置在第一段支撑轴的径向外侧；优选的，支撑垫片支撑在第二段支撑轴上，支撑垫片的外径大于第二段支撑轴的外径。

可见，支撑垫片的外径较大，能够有效的支撑多个调节件，使得多个调节件能够牢固的支撑在支撑垫片上。

更进一步的方案是，多个调节件的轴线位于同一圆周上，该圆周的直径小于第二段支撑轴的外径。

由此可见，在支撑垫片所在的平面投影上，每一个调节件都位于第二段支撑轴内，这样，第二段支撑轴可以向调节件提供支撑力，使得调节件能够更好的对连轴器进行支撑与调节。

更进一步的方案是，加热板与连轴器一体成型。这样，对连轴器进行调节时，能够很好的对加热板一并进行调节，加热板的水平位置调节非常方便。

为了实现上述的第二的主要目的，本实用新型提供的蚀刻机包括传片手臂，该传片手臂包括上手臂与下手臂，蚀刻机还包括上述的蚀刻机加热板水平调节组件，沿垂直方向上，加热板位于上手臂和下手臂之间，传片手臂可相对于加热板转动。

由上述方案可见，通过对调节件进行调节，例如旋拧各个调节螺杆，使得调节螺杆调节连轴器的位置，从而改变加热板的水平位置，进而确保加热板与下手臂之间保持一定的间隙，避免加热板与下手臂接触的情况发生

一个优选的方案是，蚀刻机还设置有上手臂转动轴，上手臂转动轴穿过上手臂，上手臂相对于上手臂转动轴转动。

由此可见，上手臂和下手臂之间具有较大的间隙，以确保加热板伸入到上手臂和下手臂之间，且加热板不影响传片手臂的转动。

附图说明

图1是现有加热板水平调节组件与传片手臂的示意图。

图2是本实用新型蚀刻机加热板水平调节组件实施例第一视角的结构图。

图3是本实用新型蚀刻机加热板水平调节组件实施例第二视角的结构图。

图4是本实用新型蚀刻机加热板水平调节组件实施例与传片手臂的示意图。

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

具体实施方式

本实用新型的蚀刻机加热板水平调节组件用于对蚀刻机内的加热板的水平位置进行调节，以确保加热板与传片手臂的下手臂之间保持一定的距离，避免加热片与下手臂接触，从而避免加热板影响传片手臂的转动，也避免加热板划损下手臂的上表面。

参见图2和图3，本实用新型的蚀刻机加热板水平调节组件包括加热板21，加热板21大致呈圆盘状，在加热板21的一端设置有连轴器22，优选的，连轴器22大致呈方形，连轴器22与加热板21一体成型。在连轴器22上设置有多个圆形的调节孔，每一个调节孔均为螺纹孔，即每一个调节孔均设置有内螺纹。当然，调节孔的数量也可以是一个。

加热板水平调节组件还包括一根支撑轴30，支撑轴30包括第一段支撑轴31和第二段支撑轴32，其中，第一段支撑轴31位于第二段支撑轴32的上方，第一段支撑轴31呈圆柱状，直径较小，第二段支撑轴32也是呈圆柱状，直径较大，且第一段支撑轴31的长度小于第二段支撑轴32的长度。

第一段支撑轴31穿过连轴器22，优选的，连轴器22的中心设置有通孔，第一段支撑轴31穿过该通孔。本实施例中，多个调节孔设置在该通孔的周向上，例如，多个调节孔的轴线位于一个圆周上，该圆周的圆心与该通孔的圆心重叠。第一段支撑轴31的外径可以略小于连轴器22的通孔外径，以便于对加热板21的水平位置的调节。

在连轴器22上设置有多个调节件，本实施例的调节件是调节螺杆35，每一个调节孔内壁上设置有内螺纹，每一根调节螺杆35旋入一个调节孔内，调节螺杆35的周壁上设置有外螺纹，调节螺杆35与调节孔螺纹配合。每一根调节螺杆35可以单独被调节，本实施例中，通过对每一根调节螺杆35旋拧来调节加热板21与水平方向的倾斜角度。由于多个调节孔是在第一段支撑轴31的周向外侧均匀布置的，因此，多个调节螺杆35也是在第一段支撑轴31的周向外侧均匀布置，且多个调节螺杆35均位于第一段支撑轴31的径向外侧。本实施例的调节螺杆35的数量是四个，实际应用时可以根据实际情况增加或者减少调节螺杆35的数量，例如设置三个、五个等。

在第二段支撑轴32的上端，即第二段支撑轴32靠近加热板21的一端设置有支撑垫片33，支撑垫片33位于连轴器22的下方，支撑垫片33为圆盘状，支撑垫片33的直径稍大于第二段支撑轴32的外径。每一根调节螺杆35的下端抵接在支撑垫片33的上表面，即靠近加热板21的表面。并且，多个调节螺杆35的轴线位于同一圆周上，该圆周的直径小于第二段支撑轴32的外径。

参见图4，蚀刻机具有传片手臂40，传片手臂40包括两片相互平行的手臂，分别是上手臂41和下手臂42，上手臂41和下手臂42具有间隙。另外，传片手臂40包括一根上手臂转动轴43，上手臂转动轴43穿过上手臂41，上手臂41可以绕上手臂转动轴43转动。在下手臂42的下方设置有手臂传动电机50以带动下手臂42转动。

加热板21伸入到传片手臂40内，具体的，加热板21伸入到上手臂41和下手臂42之间的间隙，由于上手臂41和下手臂42需要不断的转动，而加热板21保持静止，为了避免加热板21划损下手臂42，加热板21需要与下手臂42保持一定的间隙，优选的，加热板21与下手臂42相互平行。

然而，由于加热板21远离支撑轴30的一端会在重力的作用下向下倾斜，导致加热板21与水平面之间形成夹角，一旦夹角过大，意味着加热板21远离支撑轴30的一端非常靠近甚至贴合在下手臂42的上表面。一旦传片手臂40转动，加热板21将划损下手臂42的上表面，不但影响传片手臂40的转动，还会导致传片手臂40的损坏。

本实施例设置了支撑垫片33以及多根调节螺杆35，如果加热板21发生倾斜，则旋拧其中一根或者多根调节螺杆35，对加热板21的水平位置进行调节，例如对靠近传片手臂40的两根调节螺杆35进行旋拧。从图4可见，传片手臂40、加热板21、连接轴22、支撑轴30的上端、支撑垫片33以及多根调节螺杆35设置在真空室45内。

由于调节螺杆35的下端抵接在支撑垫片33上，调节螺杆35的作用力通过支撑垫片33作用在第二段支撑轴32上，为了向调节螺杆35提供足够的支撑力，所有调节螺杆35的轴线都应该位于第二段支撑轴32的圆周内。具体的，所有的调节螺杆35的轴线位于同一圆周上，该圆周的直径小于第二段支撑轴32的外径。进一步的，所有的调节螺杆35在支撑垫片33的投影都完全位于第二段支撑轴32在支撑垫片33的投影内。

支撑垫片33可以通过焊接等方式固定在第二段支撑轴32上，使得支撑垫片33牢固的固定在第二段支撑轴32上。这样，在对调节螺杆35旋拧的过程中，即使调节螺杆35向支撑垫片33施加较大的力，由于第二段支撑轴32的支撑作用，支撑垫片33不容易发生倾斜的情况，确保对连轴器22以及加热板21的水平位置调节准确性。

当然，上述的方案只是本实用新型优选的实施方案，实际应用时还可以有更多的变化，例如，加热板形状的变化，或者，支撑轴形状的变化等，这些改变都不影响本实用新型的实施，也应该包括在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.蚀刻机加热板水平调节组件，包括：

加热板，所述加热板的一端设置有连轴器，一支撑轴穿过所述连轴器；

其特征在于：

所述支撑轴上设置有支撑垫片，所述支撑垫片设置在所述连轴器的下方，所述连轴器上设置有一个或者多个调节孔，调节件穿过所述调节孔，所述调节件的下端抵接在所述支撑垫片上。

2.根据权利要求1所述的蚀刻机加热板水平调节组件，其特征在于：

所述调节件为调节螺杆，所述调节孔内设置有内螺纹，所述调节螺杆与所述调节孔螺纹连接。

3.根据权利要求1或2所述的蚀刻机加热板水平调节组件，其特征在于：

所述调节件的数量为三个以上，多个所述调节件在所述支撑轴的周向上均匀布置。

4.根据权利要求3所述的蚀刻机加热板水平调节组件，其特征在于：

支撑轴包括第一段支撑轴与第二段支撑轴，所述第一段支撑轴的外径小于所述第二段支撑轴的外径，所述第一段支撑轴位于所述第二段支撑轴的上方；

所述第一段支撑轴穿过所述连轴器。

5.根据权利要求4所述的蚀刻机加热板水平调节组件，其特征在于：

多个所述调节件设置在所述第一段支撑轴的径向外侧。

6.根据权利要求4所述的蚀刻机加热板水平调节组件，其特征在于：

所述支撑垫片设置在所述第二段支撑轴上，所述支撑垫片的外径大于所述第二段支撑轴的外径。

7.根据权利要求6所述的蚀刻机加热板水平调节组件，其特征在于：

多个所述调节件的轴线位于同一圆周上，该圆周的直径小于所述第二段支撑轴的外径。

8.根据权利要求1或2所述的蚀刻机加热板水平调节组件，其特征在于；

所述加热板与所述连轴器一体成型。

9.蚀刻机，包括；

传片手臂，所述传片手臂包括上手臂与下手臂；

其特征在于：还设置有如权利要求1至8任一项所述的蚀刻机加热板水平调节组件，沿垂直方向上，所述加热板位于所述上手臂和所述下手臂之间，所述传片手臂可相对于所述加热板转动。

10.根据权利要求9所述的蚀刻机，其特征在于：

所述蚀刻机还设置有上手臂转动轴，所述上手臂转动轴穿过所述上手臂，所述上手臂相对于所述上手臂转动轴转动。

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