CN217927228U - 插板阀装置及连续式真空镀膜系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种插板阀装置及连续式真空镀膜系统，其中插板阀装置包括升降机构、压紧机构、阀体机构及阀板组件；升降机构设置于阀体机构的外部，且升降机构的伸缩端位于阀体机构内，并与阀板组件相连接；压紧机构包括驱动组件和压紧件，驱动组件相对设置于阀体机构的两侧，驱动组件的伸缩端位于阀体机构内，且驱动组件与压紧件相连接，驱动组件能够驱动压紧件与阀板组件的侧部相抵接或相分离。通过升降机构能够实现阀板组件竖直方向的移动，并在与作业设备的待密封口对接后进行密封，通过两侧的压紧机构对阀板组件进行压紧，能够进一步提高阀板组件与密封口之间的紧密度，无需阀板组件的横移，降低阀板组件密封圈的磨损。

Description

插板阀装置及连续式真空镀膜系统

技术领域

本实用新型涉及密封设备技术领域，尤其是涉及一种插板阀装置及连续式真空镀膜系统。

背景技术

连续式真空镀膜系统中存在多个腔体，而为了保证多个腔体之间的真空度以及独立性，通常会通过插板阀进行分隔，以保证各个舱室之间的真空度和密封性。

现有的插板阀大多具有两个动作，升降动作和水平横移动作，阀板的升降动作能够开启和封闭对应位置的阀门，而水平横移动作能够提高阀板与阀门之间的紧密性，提高对舱体的密封程度。

但由于阀板的边缘套设有密封圈，且横移过程必然会使密封圈产生摩擦，从而使密封圈产生磨损，降低阀门的气密性。

因此，急需提供一种插板阀装置及连续式真空覆膜系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种插板阀装置及连续式真空覆膜系统，以在一定程度上优化插板阀结构，降低阀板边缘套设的密封圈产生磨损的问题。

本实用新型提供的一种插板阀装置，包括升降机构、压紧机构、阀体机构及阀板组件；所述升降机构沿竖直方向设置于所述阀体机构的外部，且所述升降机构的伸缩端位于所述阀体机构内，并与所述阀板组件相连接；所述压紧机构包括驱动组件和压紧件，所述驱动组件沿水平方向延伸，并相对设置于所述阀体机构的两侧，所述驱动组件的伸缩端位于所述阀体机构内，且所述驱动组件的伸缩端与所述压紧件相连接，所述驱动组件能够驱动所述压紧件与所述阀板组件的侧部相抵接或相分离。

其中，所述阀板组件包括主阀板和连接吊臂；所述主阀板的截面呈弧形，所述主阀板和所述连接吊臂均位于所述阀体机构内，且所述主阀板与所述连接吊臂相连接，所述升降机构的伸缩端与所述连接吊臂相连接，以驱动所述连接吊臂带动所述主阀板进行升降运动。

具体地，所述阀体机构包括下阀体和上阀体，所述上阀体形成有容纳腔，所述下阀体与作业设备的密封口相对接，且所述下阀体形成有密封腔，所述密封腔与所述容纳腔相连通；所述连接吊臂位于所述上阀体内，所述主阀板能够在所述下阀体与所述上阀体之间往复运动。

其中，本实用新型提供的插板阀装置，还包括导向件，所述导向件沿竖直方向延伸，且位于所述下阀体和上阀体内；所述主阀板与所述导向件滑动连接，并能够沿所述导向件的延伸方向往复运动。

具体地，所述主阀板的侧部连接有辅轮组件，所述辅轮组件位于所述主阀板的侧部与所述导向件之间，所述辅轮组件能够跟随所述主阀板在所述导向件上滚动。

具体地，所述下阀体的两侧均形成有检修口，所述阀体机构还包括侧阀板，所述侧阀板与所述检修口一一对应设置，且所述侧阀板封盖于所述检修口，并与所述下阀体可拆卸连接；所述驱动组件与所述侧阀板相连接。

具体地，所述上阀体的两侧形成有安装孔，所述升降机构与所述安装孔一一对应设置，且所述升降机构的伸缩端穿过所述安装孔进入所述容纳腔与所述连接吊臂相连接。

进一步地，所述安装孔内设有密封组件，所述升降机构的伸缩端穿过所述密封组件进入所述容纳腔内。

更近一步地，本实用新型提供的插板阀装置，还包括安全锁组件，所述安全锁组件与所述上阀体相连接，且所述安全锁组件的伸缩端伸入所述容纳腔内；所述主阀板上形成有锁定孔，所述安全锁组件的伸缩端能够对应插入所述锁定孔内，以对所述主阀板进行锁定。

相对于现有技术，本实用新型提供的插板阀装置具有以下优势：

本实用新型提供的插板阀装置，包括升降机构、压紧机构、阀体机构及阀板组件；升降机构沿竖直方向设置于阀体机构的外部，且升降机构的伸缩端位于阀体机构内，并与阀板组件相连接；压紧机构包括驱动组件和压紧件，驱动组件沿水平方向延伸，并相对设置于阀体机构的两侧，驱动组件的伸缩端位于阀体机构内，且驱动组件的伸缩端与压紧件相连接，驱动组件能够驱动压紧件与阀板组件的侧部相抵接或相分离。

由此分析可知，通过升降机构与阀板组件的连接能够实现阀板组件的升降动作，而通过设置在阀体机构两侧的驱动组件，并使驱动组件的伸缩端与压紧件相连接，从而通过驱动组件驱动压紧件沿水平方向的往复运动，能够实现对阀板组件的压紧。

使用时，阀板组件先进行升降动作，当需要对作业设备的待密封口进行密封时，升降机构驱动阀板组件下降，直至覆盖全部的密封口，之后设置在阀体机构两侧的驱动组件动作，通过驱动组件的伸缩端向接近阀板组件的方向移动，从而能够驱动压紧件向接近阀板组件的方向移动，直至压紧件与阀板组件相抵接，并紧密接触，进而通过驱动组件的动作能够实现对阀板组件边缘的密封，完成对待密封口的全面密封。

由于本申请中的阀板组件的边缘密封无需阀板组件在水平方向上的移动，通过两侧设置的驱动组件即可实现密封，因此，能够在一定程度上避免阀板组件边缘的密封圈在多次密封动作后产生磨损，降低密封效果的问题。

此外，本实用新型还提供一种连续式真空镀膜系统，包括上述的插板阀装置。

采用本申请提供的插板阀装置的连续式真空镀膜系统，能够稳定的对待密封口进行密封，并且能够保证插板阀的使用寿命，在一定程度上避免在使用过程中出现漏气等问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的插板阀装置第一视角的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的插板阀装置第二视角的结构示意图。

图中：1-下阀体；101-密封腔；2-主阀板；3-上阀体；301-容纳腔；4-驱动组件；5-辅轮组件；6-连接吊臂；7-升降机构；8-密封组件；9-侧阀板；10-导向件；11-安全锁组件。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项中的任何一项和任何两项或更多项的任何组合。

为了易于描述，在这里可使用诸如“在……之上”、“上部”、“在……之下”和“下部”的空间关系术语，以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外，还包含装置在使用或操作中的不同方位。

在此使用的术语仅用于描述各种示例，并非用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数的形式也意图包括复数的形式。术语“包括”、“包含”和“具有”列举存在的所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。

由于制造技术和/或公差，可出现附图中所示的形状的变化。因此，这里所描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间出现的形状上的改变。

这里所描述的示例的特征可按照在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的各种方式进行组合。此外，尽管这里所描述的示例具有各种各样的构造，但是如在理解本申请的公开内容之后将显而易见的，其他构造是可能。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本申请要求的保护范围之内。

如图1所示，本实用新型提供一种插板阀装置，包括升降机构7、压紧机构、阀体机构及阀板组件；升降机构7沿竖直方向设置于阀体机构的外部，且升降机构7的伸缩端位于阀体机构内，并与阀板组件相连接；压紧机构包括驱动组件4和压紧件，驱动组件4沿水平方向延伸，并相对设置于阀体机构的两侧，驱动组件4的伸缩端位于阀体机构内，且驱动组件4的伸缩端与压紧件相连接，驱动组件4能够驱动压紧件与阀板组件的侧部相抵接或相分离。

相对于现有技术，本实用新型提供的插板阀装置具有以下优势：

本实用新型提供的插板阀装置，通过升降机构7与阀板组件的连接能够实现阀板组件的升降动作，而通过设置在阀体机构两侧的驱动组件4，并使驱动组件4的伸缩端与压紧件相连接，从而通过驱动组件4驱动压紧件沿水平方向的往复运动，能够实现对阀板组件的压紧。

使用时，阀板组件先进行升降动作，当需要对作业设备的待密封口进行密封时，升降机构7驱动阀板组件下降，直至覆盖全部的密封口，之后设置在阀体机构两侧的驱动组件4动作，通过驱动组件4的伸缩端向接近阀板组件的方向移动，从而能够驱动压紧件向接近阀板组件的方向移动，直至压紧件与阀板组件相抵接，并紧密接触，进而通过驱动组件4的动作能够实现对阀板组件边缘的密封，完成对待密封口的全面密封。

由于本申请中的阀板组件的边缘密封无需阀板组件在水平方向上的移动，通过两侧设置的驱动组件4即可实现密封，因此，能够在一定程度上避免阀板组件边缘的密封圈在多次密封动作后产生磨损，降低密封效果的问题。

可选地，如图1结合图2所示，本申请中的阀板组件包括主阀板2和连接吊臂6；主阀板2的截面呈弧形，主阀板2和连接吊臂6均位于阀体机构内，且主阀板2与连接吊臂6相连接，升降机构7的伸缩端与连接吊臂6相连接，以驱动连接吊臂6带动主阀板2进行升降运动。

优选地，如图2所示，本申请中的主阀板2的截面呈弧形，从而能够在一定程度上提高承压能力，提高主阀板2对密封口的密封度。而通过在阀体机构内设置的连接吊臂6，能够为主阀板2提供稳定充分的安装位置，并通过使升降机构7与连接吊臂6相连接，从而能够使主阀板2的升降过程更加稳定。

并且，由于在密封过程中主阀板2为主要承压结构，因此，通过使升降机构7与连接吊臂6相连接，不会破坏主阀板2的结构，从而保证主阀板2的整体强度，提高密封效果。

可选地，如图1所示，本申请中的阀体机构包括下阀体1和上阀体3，上阀体3形成有容纳腔301，下阀体1与作业设备的密封口相对接，且下阀体1形成有密封腔101，密封腔101与容纳腔301相连通；连接吊臂6位于上阀体3内，主阀板2能够在下阀体1与上阀体3之间往复运动。

可以理解的是，由于本申请中的容纳腔301与密封腔101相连通，因此，上述上阀体3形成的容纳腔301同样为密封腔101室，从而能够使密封腔101和容纳腔301共同组成相对密闭的空间，进而能够在一定程度上保证整体插板阀装置的气密性，提高密封效果。

此处需要补充说明的是，优选地，本申请中驱动组件4的数量为六个，六个驱动组件4平均分布在主阀板2的两侧，并相对设置，且同侧的驱动组件4等间隔设置，从而能够在压紧过程中，使主阀板2的两侧的受力均匀，在一定程度上保证密封效果。但本申请采用六个驱动组件4仅为其中一种较佳的实施方式，其他数量如八个或更多数量的驱动组件4均可实现对主阀板2的压紧，根据主阀板2在竖直方向上的尺寸设置驱动组件4的数量即可。

进一步优选地，本申请中的升降机构7的数量为两个，且升降机构7的数量至少为两个，通过两个升降机构7，并设置在连接吊臂6的两端，从而能够保证连接吊臂6能够始终保持在水平状态，实现连接吊臂6起升和下降动作的稳定进行，避免主阀板2在移动过程中产生偏移的问题。

其中，如图1所示，本实用新型提供的插板阀装置，还包括导向件10，导向件10沿竖直方向延伸，且位于下阀体1和上阀体3内；主阀板2与导向件10滑动连接，并能够沿导向件10的延伸方向往复运动。

通过在下阀体1和上阀体3内布设导向件10，且本申请中的导向件10为导轨，使主阀板2与导轨之间滑动连接，从而能够为主阀板2沿竖直方向的往复运动提供导向和支撑，避免主阀板2在移动过程中产生偏移的问题。

优选地，如图1所示，本申请中主阀板2的侧部连接有辅轮组件5，辅轮组件5位于主阀板2的侧部与导向件10之间，辅轮组件5能够跟随主阀板2在导向件10上滚动。

本申请中的辅轮组件5为多个，且分别设置在主阀板2的两侧，从而能够配合导轨实现对主阀板2在竖直方向上往复运动的限位和导向作用，避免主阀板2在移动过程中产生晃动的问题。

可选地，如图1所示，本申请中的下阀体1的两侧均形成有检修口，阀体机构还包括侧阀板9，侧阀板9与检修口一一对应设置，且侧阀板9封盖于检修口，并与下阀体1可拆卸连接；驱动组件4与侧阀板9相连接。

通过使侧阀板9与下阀体1可拆卸连接，能够实现对下阀体1的快速检修及维护，当需要对下阀体1进行检修时，将一侧的侧阀板9拆离下阀体1，从而能够露出下阀体1内结构，进而能够使维护人员对下阀体1进行快速检修。

优选地，本申请中的多个驱动组件4均设置在侧阀板9上，从而在侧阀板9拆离下阀体1时能够一并拆离，便于对下阀体1以及驱动组件4进行维护检修。

可选地，如图1所示，本申请中上阀体3的两侧形成有安装孔，升降机构7与安装孔一一对应设置，且升降机构7的伸缩端穿过安装孔进入容纳腔301与连接吊臂6相连接。

本申请中的升降机构7设置于上阀体3的外部，且升降机构7的伸缩端通过上阀体3凸出于下阀体1的位置形成的安装孔进入上阀体3内与连接吊臂6相连接。由于升降机构7由外部进入，因此，为保证容纳腔301和密封腔101的气密性，本申请中安装孔内设有密封组件8，升降机构7的伸缩端穿过密封组件8进入容纳腔301与连接吊臂6相连接，从而能够在一定程度上保证密封腔101和容纳腔301内在作业时的密封效果。

如图2所示，本实用新型提供的插板阀装置，还包括安全锁组件11，安全锁组件11与上阀体3相连接，且安全锁组件11的伸缩端伸入容纳腔301内；主阀板2上形成有锁定孔，安全锁组件11的伸缩端能够对应插入锁定孔内，以对主阀板2进行锁定。

当主阀板2解除对密封口的封堵并起升至容纳腔301内时，为避免在非密封阶段主阀板2下落，上阀体3上还设有安全锁组件11，且安全锁组件11的伸缩端能够沿阀体机构的厚度方向伸缩，使伸缩端能够进入上阀体3的容纳腔301内。

可选地，本申请中的主阀板2上开设有锁定孔，当主阀板2起升并全部进入容纳腔301内后，主阀板2上的锁定孔能够与安全锁组件11相对应，从而当安全锁组件11的伸缩端进入容纳腔301后，能够插入锁定孔内，进而实现对主阀板2的锁定。

可以理解的是，本申请中的安全锁组件11、驱动组件4以及升降机构7均可以采用液压油缸、气缸或电动伸缩杆等具有伸缩动作的机构，如图2所示，本申请中的安全锁组件11的数量为两个，且位于同一水平高度上，从而能够在插入锁定孔后，保持主阀板2的受力平衡。

此处需要补充说明的是，上述安全锁组件11也可位于主阀板2的两侧，且当主阀板2全部进入容纳腔301后，安全锁组件11的伸缩端伸入容纳腔301能够承托连接吊臂6，从而能够对主阀板2起到限位锁定的作用，避免主阀板2的下落。

此外，本实用新型还提供一种连续式真空镀膜系统，包括上述的插板阀装置。

采用本申请提供的插板阀装置的连续式真空镀膜系统，能够稳定的对待密封口进行密封，并且能够保证插板阀的使用寿命，在一定程度上避免在使用过程中出现漏气等问题。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种插板阀装置，其特征在于，包括升降机构、压紧机构、阀体机构及阀板组件；

所述升降机构沿竖直方向设置于所述阀体机构的外部，且所述升降机构的伸缩端位于所述阀体机构内，并与所述阀板组件相连接；

所述压紧机构包括驱动组件和压紧件，所述驱动组件沿水平方向延伸，并相对设置于所述阀体机构的两侧，所述驱动组件的伸缩端位于所述阀体机构内，且所述驱动组件的伸缩端与所述压紧件相连接，所述驱动组件能够驱动所述压紧件与所述阀板组件的侧部相抵接或相分离。

2.根据权利要求1所述的插板阀装置，其特征在于，所述阀板组件包括主阀板和连接吊臂；

所述主阀板的截面呈弧形，所述主阀板和所述连接吊臂均位于所述阀体机构内，且所述主阀板与所述连接吊臂相连接，所述升降机构的伸缩端与所述连接吊臂相连接，以驱动所述连接吊臂带动所述主阀板进行升降运动。

3.根据权利要求2所述的插板阀装置，其特征在于，所述阀体机构包括下阀体和上阀体，所述上阀体形成有容纳腔，所述下阀体与作业设备的密封口相对接，且所述下阀体形成有密封腔，所述密封腔与所述容纳腔相连通；

所述连接吊臂位于所述上阀体内，所述主阀板能够在所述下阀体与所述上阀体之间往复运动。

4.根据权利要求3所述的插板阀装置，其特征在于，还包括导向件，所述导向件沿竖直方向延伸，且位于所述下阀体和上阀体内；

所述主阀板与所述导向件滑动连接，并能够沿所述导向件的延伸方向往复运动。

5.根据权利要求4所述的插板阀装置，其特征在于，所述主阀板的侧部连接有辅轮组件，所述辅轮组件位于所述主阀板的侧部与所述导向件之间，所述辅轮组件能够跟随所述主阀板在所述导向件上滚动。

6.根据权利要求3所述的插板阀装置，其特征在于，所述下阀体的两侧均形成有检修口，所述阀体机构还包括侧阀板，所述侧阀板与所述检修口一一对应设置，且所述侧阀板封盖于所述检修口，并与所述下阀体可拆卸连接；

所述驱动组件与所述侧阀板相连接。

7.根据权利要求3所述的插板阀装置，其特征在于，所述上阀体的两侧形成有安装孔，所述升降机构与所述安装孔一一对应设置，且所述升降机构的伸缩端穿过所述安装孔进入所述容纳腔与所述连接吊臂相连接。

8.根据权利要求7所述的插板阀装置，其特征在于，所述安装孔内设有密封组件，所述升降机构的伸缩端穿过所述密封组件进入所述容纳腔内。

9.根据权利要求3所述的插板阀装置，其特征在于，还包括安全锁组件，所述安全锁组件与所述上阀体相连接，且所述安全锁组件的伸缩端伸入所述容纳腔内；

所述主阀板上形成有锁定孔，所述安全锁组件的伸缩端能够对应插入所述锁定孔内，以对所述主阀板进行锁定。

10.一种连续式真空镀膜系统，其特征在于，包括上述权利要求1-9中任一项所述的插板阀装置。

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