CN217921491U - 一种板式臭氧发生器放电室 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种板式臭氧发生器放电室,该臭氧发生器放电室包括地电极组、对称设置在地电极组两侧的两个高压电极组、以及位于每个高压电极组和地电极组之间的气隙形成层,通过将地极板和两个第一介电体层叠放在两个高压电极组之间,不采用粘合剂贴合,可改善电极表面平面度,从而使高压电极和地电极之间的间隙均匀,同时避免粘合剂中有离子析出,保证臭氧纯度;通过在第二介电体层靠近第一介电体层的表面上设置第一金属涂覆层、在第一金属涂覆层的表面上设有第二金属涂覆层,从而避免高压电极表面发生氧化,使电阻稳定,保证臭氧浓度,同时防止等离子体对高压电极表面的刻蚀作用,防止金属污染,保证臭氧纯度。
Description
技术领域
本实用新型涉及臭氧生产技术领域,尤其涉及一种板式臭氧发生器放电室。
背景技术
目前高纯度与高浓度臭氧发生器多采用DBD放电技术,结构为板式结构。常用的板式结构,高压电极表面镀银,上面再用粘合剂贴上一层薄的陶瓷,再将贴合后的高压电极陶瓷组用粘合剂贴于不锈钢盘上;地电极是将金属片用粘合剂贴合在不锈钢盘上,边缘放置小间隙片控制高压电极与地电极间的间隙。这种结构由于多次使用粘合剂贴合,会影响电极表面平面度,从而会造成高压电极与地电极之间的间隙不均匀,且电极表面镀银,银表面容易发生氧化,造成电阻不稳定,这些均会影响臭氧浓度;在高压放电过程中,银表面也容易被蚀刻产生金属离子,粘合剂也容易析出离子,这些离子会影响臭氧纯度,从而无法完全满足高纯度和高浓度的要求。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的板式臭氧发生器无法完全满足高纯度和高浓度要求的缺点,而提出的一种板式臭氧发生器放电室。
为实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种板式臭氧发生器放电室,包括地电极组、对称设置在地电极组两侧的两个高压电极组、以及位于每个高压电极组和地电极组之间的气隙形成层;地电极组包括地极板和对称设置在地极板两侧的两个第一介电体层,地极板和两个第一介电体层叠放在两个高压电极组之间;每个高压电极组均包括高压极板和位于高压极板靠近第一介电体层一侧的第二介电体层,第二介电体层靠近第一介电体层的表面上设有第一金属涂覆层,第一金属涂覆层靠近第一介电体层的表面上设有第二金属涂覆层;位于地极板同一侧的第二金属涂覆层和第一介电体层之间叠放有气隙形成层。
较佳地,第一介电体层和第二介电体层均为陶瓷片。
较佳地,地极板和高压极板均由导电材料制成。
较佳地,第二金属涂覆层为金层或者铂金层。进一步地,第一金属涂覆层为银层或者铜层。
较佳地,气隙形成层由绝缘材料制成。
较佳地,该板式臭氧发生器放电室还包括外壳体,外壳体包括两个子壳体,两个子壳体分别设置在两个高压极板远离地极板的一侧。
较佳地,属于同一高压电极组的高压极板和第二介电体层之间设有粘结层。进一步地,粘结层由粘合剂形成。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:通过将地极板和两个第一介电体层叠放在两个高压电极组之间,不采用粘合剂贴合,可改善电极表面平面度,从而使高压电极和地电极之间的间隙均匀,同时避免粘合剂中有离子析出,保证臭氧纯度;通过在第二介电体层靠近第一介电体层的表面上设置第一金属涂覆层、在第一金属涂覆层的表面上设有第二金属涂覆层,从而避免高压电极表面发生氧化,使电阻稳定,保证臭氧浓度,同时防止等离子体对高压电极表面的刻蚀作用,防止金属污染,保证臭氧纯度。
附图说明
图1为本实用新型一实施例的一种板式臭氧发生器放电室的结构示意图。
具体实施方式
为使对本实用新型的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解,兹配合实施例详细说明如下。
请参见图1,本实用新型的一种板式臭氧发生器放电室,包括地电极组10、对称设置在地电极组10两侧的两个高压电极组20、以及位于每个高压电极组20和地电极组10之间的气隙形成层30,通过选用不同厚度的气隙形成层30即可实现对放电间隙的调整。
地电极组10包括地极板11和对称设置在地极板11两侧的两个第一介电体层12,地极板11和两个第一介电体层12叠放在两个高压电极组20之间,不采用粘合剂贴合,可改善电极表面平面度,从而使高压电极和地电极之间的间隙均匀,同时避免粘合剂中有离子析出,保证臭氧纯度。
每个高压电极组20均包括高压极板21和位于高压极板21靠近第一介电体层12一侧的第二介电体层22,第二介电体层22靠近第一介电体层12的表面上设有第一金属涂覆层221,第一金属涂覆层221靠近第一介电体层12的表面上设有第二金属涂覆层222。
在一优选的实施方式中,第二金属涂覆层222为金层或者铂金层,以避免高压电极表面发生氧化,使电阻稳定,保证臭氧浓度,同时防止等离子体对高压电极表面的刻蚀作用,防止金属污染,保证臭氧纯度。进一步地,第一金属涂覆层221为银层或者铜层。
位于地极板11同一侧的第二金属涂覆层222和第一介电体层12之间叠放有气隙形成层30,以便于对气隙形成层30进行更换,从而便于调整放电间隙。
优选地,该板式臭氧发生器放电室还包括外壳体(图中未示出),外壳体包括两个子壳体,两个子壳体分别设置在两个高压极板21远离地极板11的一侧,以将地电极组10、两个高压电极组20、以及位于每个高压电极组20和地电极组10之间的气隙形成层30固定在两个子壳体之间。
优选地,属于同一高压电极组20的高压极板21和第二介电体层22之间设有粘结层23,高压极板21和第二介电体层22通过粘结层23连接,以使高压电极组20为一个整体,便于进行该臭氧发生器放电室的装配、以及气隙形成层30的更换。
在实际使用中,第一介电体层12为陶瓷片;第二介电体层22为陶瓷片;气隙形成层30由绝缘材料制成;粘结层23由粘合剂形成;地极板11和高压极板12均由导电材料制成,如不锈钢等。
该板式臭氧发生器放电室的装配过程:首先,在每个高压电极组20的第二介电体层22的表面喷射铜或银等形成第一金属涂覆层221,在第一金属涂覆层221的表面电镀金或铂金等形成第二金属涂覆层222,再将第二介电体层22未进行处理的另一表面用粘合剂贴合在高压极板21上,第二介电体层22与高压极板21之间形成粘结层23;
然后,将气隙形成层30、第一介电体层12、地极板11、第一介电体层12、气隙形成层30依次叠放在两个高压电极组20的第二介电体层22之间;
最后,使用外壳体压合锁紧,即形成双腔高压放电室。
本实用新型的一种板式臭氧发生器放电室,通过将地极板和两个第一介电体层叠放在两个高压电极组之间,不采用粘合剂贴合,可改善电极表面平面度,从而使高压电极和地电极之间的间隙均匀,同时避免粘合剂中有离子析出,保证臭氧纯度;通过在第二介电体层靠近第一介电体层的表面上设置第一金属涂覆层、在第一金属涂覆层的表面上设有第二金属涂覆层,从而避免高压电极表面发生氧化,使电阻稳定,保证臭氧浓度,同时防止等离子体对高压电极表面的刻蚀作用,防止金属污染,保证臭氧纯度。
本实用新型已由上述相关实施例加以描述,然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是,已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地,在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰,均属本实用新型的专利保护范围。
Claims (9)
1.一种板式臭氧发生器放电室,其特征在于,包括地电极组、对称设置在所述地电极组两侧的两个高压电极组、以及位于每个高压电极组和所述地电极组之间的气隙形成层;
所述地电极组包括地极板和对称设置在所述地极板两侧的两个第一介电体层,所述地极板和所述两个第一介电体层叠放在所述两个高压电极组之间;
每个高压电极组均包括高压极板和位于所述高压极板靠近所述第一介电体层一侧的第二介电体层,所述第二介电体层靠近所述第一介电体层的表面上设有第一金属涂覆层,所述第一金属涂覆层靠近所述第一介电体层的表面上设有第二金属涂覆层;
位于所述地极板同一侧的第二金属涂覆层和第一介电体层之间叠放有所述气隙形成层。
2.如权利要求1所述的一种板式臭氧发生器放电室,其特征在于,所述第一介电体层和所述第二介电体层均为陶瓷片。
3.如权利要求1所述的一种板式臭氧发生器放电室,其特征在于,所述地极板和所述高压极板均由导电材料制成。
4.如权利要求1所述的一种板式臭氧发生器放电室,其特征在于,所述第二金属涂覆层为金层或者铂金层。
5.如权利要求4所述的一种板式臭氧发生器放电室,其特征在于,所述第一金属涂覆层为银层或者铜层。
6.如权利要求1所述的一种板式臭氧发生器放电室,其特征在于,所述气隙形成层由绝缘材料制成。
7.如权利要求1所述的一种板式臭氧发生器放电室,其特征在于,还包括外壳体,所述外壳体包括两个子壳体,所述两个子壳体分别设置在所述两个高压极板远离所述地极板的一侧。
8.如权利要求1所述的一种板式臭氧发生器放电室,其特征在于,属于同一高压电极组的高压极板和第二介电体层之间设有粘结层。
9.如权利要求8所述的一种板式臭氧发生器放电室,其特征在于,所述粘结层由粘合剂形成。
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CN202222272011.8U CN217921491U (zh) | 2022-08-29 | 2022-08-29 | 一种板式臭氧发生器放电室 |
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CN116553482A (zh) * | 2023-05-23 | 2023-08-08 | 苏州晶拓半导体科技有限公司 | 无氮添加高浓度臭氧发生装置及其制备方法 |
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