CN217911924U - 一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，涉及到掩膜版Open Mask部件清洗技术领域，包括清洗桶以及安装于所述清洗桶排料管上的阀门，所述清洗桶上固定连接有安装架，且所述安装架上固定连接有动力缸，还包括用于承载掩膜版的若干个放置单元、与若干个所述放置单元对应设置的若干个顶起单元和同时带动若干个所述顶起单元上下运动的驱动单元。本实用新型结构合理，设置放置单元、驱动单元和顶起单元，可通过驱动单元和顶起单元的配合带动安装在放置单元上的掩膜版进行低速上下运动，可使得掩膜版Open Mask部件外表面能够与清洗液全面接触，可避免对掩膜版Open Mask部件产生清洗死角，有利于对掩膜版的Open Mask部件的彻底清洗。

Description

一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置

技术领域

本实用新型涉及掩膜版Open Mask清洗技术领域，特别涉及一种OLED掩膜版OpenMask表面清洗装置。

背景技术

OLED显示技术作为国际上一种新型的且蓬勃发展的显示技术，尤其是在OLED面板生产过程中的真空蒸镀工艺，是整个OLED工艺制程中的核心和目前的技术发展瓶颈所在。在OLED真空蒸镀工艺中，一般分为有机材料、金属材料和无机化合物材料的蒸镀，其中OLED蒸镀掩膜版Open Mask是该制程的关键治具，该掩膜版用于控制有机材料沉积在玻璃基板上的位置，从而在玻璃基板上形成不同形状的有机图案，用于限定蒸镀范围，长时间使用后掩膜版Open Mask表面会沉积一层镀膜，达到一定厚度后会有脱落风险，从而影响OLED蒸镀的质量，需要定期利用溶剂对掩膜版进行清洗以溶解去除其上镀膜，再利用纯水或离子水清洗去除掩膜版上的溶剂，最后利用烘干箱将掩膜版烘干。

例如专利申请号为 CN201721009862.6 的中国专利公布了一种掩膜版清洗装置，由其内容可知其专利中包含有用于固定掩膜版的掩膜版夹具，该夹具的四角还设有压块，在使用时利用压块将将掩膜版固定在掩膜版夹具上，由此可知，其掩膜版必然与压块以及掩膜版夹具之间存在相贴合的接触面，导致掩膜版上的此接触面无法与清洗液进行很好地接触，将容易导致掩膜版清洗不够彻底，因此，本申请提供了一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置来满足需求。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，设置放置单元、驱动单元和顶起单元，可通过驱动单元和顶起单元的配合带动安装在放置单元上的掩膜版进行低速上下运动，可使得掩膜版Open Mask部件外表面能够与清洗液全面接触，可避免对掩膜版Open Mask部件产生清洗死角，有利于对掩膜版的Open Mask部件的彻底清洗。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，包括清洗桶以及安装于所述清洗桶排料管上的阀门，所述清洗桶上固定连接有安装架，且所述安装架上固定连接有动力缸，还包括用于承载掩膜版的若干个放置单元、与若干个所述放置单元对应设置的若干个顶起单元和同时带动若干个所述顶起单元上下运动的驱动单元；

所述动力缸的输出端贯穿所述安装架并与所述驱动单元固定连接，所述驱动单元用于带动所述驱动单元、若干个放置单元和若干个放置单元整体进行向下或向上的运动，以方便实现掩膜版做进出清洗液的运动，所述顶起单元配合所述掩膜版自身重力的作用带动所述掩膜版做间隙性的上下运动。

优选的，所述驱动单元包括固定连接于所述动力缸输出端的低速电机，所述低速电机的输出轴下端固定连接有驱动环，所述驱动环的外壁上开设有与所述顶起单元相适配的波浪形滑槽，所述波浪形滑槽首尾相连，所述低速电机的外壳固定连接在用于密封所述清洗桶开口的密封板上，所述低速电机的输出轴穿过所述密封板轴心处设有的通孔，若干个所述若干个放置单元均呈圆周固定连接于所述密封板的下端。

优选的，所述若干个放置单元包括上端与所述密封板下端固定连接的两个立柱，两个所述立柱的下端均固定连接在安装环上，两个所述立柱上均固定连接有若干个U形限位板，位于同侧若干个所述U形限位板从上至下呈一字排列，位于最下方所述U形限位板的U形腔内固定连接有支撑圆柱，所述掩膜版限位在两侧所述U形限位板形成的限位腔内，并通过支撑圆柱对所述掩膜版的底部形成支撑，若干个所述顶起单元均安装在所述安装环上。

优选的，所述U形限位板的U形腔的三个内面上均活动安装有至少一个万向滚珠。

优选的，所述顶起单元包括下端穿过所述安装环上开设的方形孔的方形限位杆，所述方形限位杆的上端固定连接有连接杆，所述连接杆的纵向杆头上固定连接有顶起块，且所述顶起块位于所述掩膜版的正下方，并与所述掩膜版的底部隔开一段距离，所述连接杆的横向杆头上固定连接有驱动杆，且所述驱动杆的端头滑动设置在所述波浪形滑槽内腔。

优选的，所述清洗桶的内腔底部为漏斗形结构，所述清洗桶的底部贴合安装有与外接超声波发生器电性连接的超声波振板，所述超声波振板的上端面与所述清洗桶的内腔底部斜面一致。

优选的，所述动力缸为气缸、电动伸缩杆或液压缸中的任意一种。

综上，本实用新型的技术效果和优点：

1、本实用新型结构合理，设置放置单元、驱动单元和顶起单元，可通过驱动单元和顶起单元的配合带动安装在放置单元上的掩膜版进行低速上下运动，可使得掩膜版OpenMask部件外表面能够与清洗液全面接触，可避免对掩膜版Open Mask部件产生清洗死角，有利于对掩膜版的Open Mask部件的彻底清洗；

2、本实用新型中，在放置单元的U形限位板内面上设置有万向滚珠，可可减弱掩膜版与U形限位板之间摩擦作用，防止掩膜版因摩擦受损；

3、本实用新型中，设置有密封板，在对掩膜版Open Mask部件进行浸泡清洗时，可对清洗桶的开口进行密封，防止杂质进入清洗桶中对清洗液造成污染；

4、本实用新型中，设置有超声波振板，有利于加块镀膜的脱落且提高对掩膜版的清洗效果。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型的局部拆分结构示意图；

图3为图1中的放置单元结构示意图；

图4为图2中的顶起单元结构示意图；

图5为图1中的清洗桶局部剖面结构示意。

图中：1、清洗桶；2、安装架；3、动力缸；4、驱动单元；41、低速电机；42、驱动环；43、波浪形滑槽；5、密封板；6、安装环；7、放置单元；71、立柱；72、U形限位板；73、支撑圆柱；74、万向滚珠；8、顶起单元；81、方形限位杆；82、连接杆；83、驱动杆；84、顶起块；9、超声波振板；10、阀门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：参考图1-2所示的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，包括清洗桶1以及安装于清洗桶1排料管上的阀门10，清洗桶1上固定连接有安装架2，且安装架2上固定连接有动力缸3，还包括用于承载掩膜版的若干个放置单元7、与若干个放置单元7对应设置的若干个顶起单元8和同时带动若干个顶起单元8上下运动的驱动单元4；动力缸3的输出端贯穿安装架2并与驱动单元4固定连接，驱动单元4用于带动驱动单元4、若干个放置单元7和若干个放置单元整体进行向下或向上的运动，以方便实现掩膜版做进出清洗液的运动，顶起单元8配合掩膜版自身重力的作用带动掩膜版做间隙性的上下运动。

作为本实施例中的一种优选地实施方式，如图1-4所示，驱动单元4包括固定连接于动力缸3输出端的低速电机41，低速电机41的输出轴下端固定连接有驱动环42，驱动环42的外壁上开设有与顶起单元8相适配的波浪形滑槽43，波浪形滑槽43首尾相连，低速电机41的外壳固定连接在用于密封清洗桶1开口的密封板5上，低速电机41的输出轴穿过密封板5轴心处设有的通孔，若干个若干个放置单元7均呈圆周固定连接于密封板5的下端，若干个放置单元7包括上端与密封板5下端固定连接的两个立柱71，两个立柱71的下端均固定连接在安装环6上，两个立柱71上均固定连接有若干个U形限位板72，位于同侧若干个U形限位板72从上至下呈一字排列，位于最下方U形限位板72的U形腔内固定连接有支撑圆柱73，掩膜版限位在两侧U形限位板72形成的限位腔内，并通过支撑圆柱73对掩膜版的底部形成支撑，若干个顶起单元8均安装在安装环6上，顶起单元8包括下端穿过安装环6上开设的方形孔的方形限位杆81，方形限位杆81的上端固定连接有连接杆82，连接杆82的纵向杆头上固定连接有顶起块84，且顶起块84位于掩膜版的正下方，并与掩膜版的底部隔开一段距离，连接杆82的横向杆头上固定连接有驱动杆83，且驱动杆83的端头滑动设置在波浪形滑槽43内腔，本装置的各用电设备均与安装在安装架2上的控制器电性连接，在使用时，将掩膜版插接放置在两侧的U形限位板72之间形成的限位空内，此时掩膜版的Open Mask部件部分外表面将于U形限位板72的内面接触，掩膜版放置完毕后，将动力缸3使得掩膜版进入清洗液中，此时密封板5将对清洗桶1的开口进行密封，可防止杂质进入清洗桶1中对清洗液造成污染，再通过低速电机41带动驱动环42进行低速旋转，在驱动环42进行低速旋转时，驱动杆83会沿着波浪形滑槽43的路径带动顶起块84做连续的上下运动，当顶起块84向上运动时，其上端将与掩膜版的下端接触并将其顶起一定高度，使得掩膜版的Open Mask部件之前被接触的外表面运动至U形限位72的上方与清洗液充分接触，当顶起块84向下运动时，掩膜版通过自身重力向下运动，当顶起块84运动到最低点时，其将会与掩膜版的下端分离，有利于掩膜版下端与清洗液的接触清洗，如此反复，可使得掩膜版在清洗液中不断做上下运动，从而使得与U形限位板72接触的Open Mask部件外表面能够不断地与清洗液进行接触，可避免对掩膜版Open Mask部件产生清洗死角，有利于对掩膜版的Open Mask部件的彻底清洗。

在本实施例中，如图3所示，U形限位板72的U形腔的三个内面上均活动安装有至少一个万向滚珠74，可减弱掩膜版与U形限位板72之间摩擦作用，防止掩膜版因摩擦受损。

作为本实施例中的一种优选地实施方式，如图5所示，清洗桶1的内腔底部为漏斗形结构，清洗桶1的底部贴合安装有与外接超声波发生器电性连接的超声波振板9，超声波振板9震动产生2气泡，气泡撞击掩膜版外表面并发生爆炸，有利于加快镀膜的脱落且提高对掩膜版的清洗效果，超声波振板9的上端面与清洗桶1的内腔底部斜面一致，便于清洗后的废液集中向排料管汇集，有利于废液的排出。

需要注意的是：超声波振板9可根据需要设置若干个，进行全方面多角度产生气泡，进而提提高对掩膜版的冲洗效率。

作为本实施例中的一种优选地实施方式，动力缸3为气缸、电动伸缩杆或液压缸中的任意一种，可根据实际需要挑选气缸、电动伸缩杆或液压缸中的任意一种作为动力缸。

本实用工作原理：本装置的各用电设备均与安装在安装架2上的控制器电性连接，在使用时，将掩膜版插接放置在两侧的U形限位板72之间形成的限位空内，此时掩膜版的Open Mask部件部分外表面将于U形限位板72的内面接触，掩膜版放置完毕后，将动力缸3使得掩膜版进入清洗液中，此时密封板5将对清洗桶1的开口进行密封，可防止杂质进入清洗桶1中对清洗液造成污染，再通过低速电机41带动驱动环42进行低速旋转，在驱动环42进行低速旋转时，驱动杆83会沿着波浪形滑槽43的路径带动顶起块84做连续的上下运动，当顶起块84向上运动时，其上端将与掩膜版的下端接触并将其顶起一定高度，使得掩膜版的Open Mask部件之前被接触的外表面运动至U形限位72的上方与清洗液充分接触，当顶起块84向下运动时，掩膜版通过自身重力向下运动，当顶起块84运动到最低点时，其将会与掩膜版的下端分离，有利于掩膜版下端与清洗液的接触清洗，如此反复，可使得掩膜版在清洗液中不断做上下运动，从而使得与U形限位板72接触的Open Mask部件外表面能够不断地与清洗液进行接触，可避免对掩膜版Open Mask部件产生清洗死角，有利于对掩膜版的OpenMask部件的彻底清洗。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，包括清洗桶（1）以及安装于所述清洗桶（1）排料管上的阀门（10），其特征在于：所述清洗桶（1）上固定连接有安装架（2），且所述安装架（2）上固定连接有动力缸（3），还包括用于承载掩膜版的若干个放置单元（7）、与若干个所述放置单元（7）对应设置的若干个顶起单元（8）和同时带动若干个所述顶起单元（8）上下运动的驱动单元（4）；

所述动力缸（3）的输出端贯穿所述安装架（2）并与所述驱动单元（4）固定连接，所述驱动单元（4）用于带动所述驱动单元（4）、若干个放置单元（7）和若干个放置单元整体进行向下或向上的运动，以方便实现掩膜版做进出清洗液的运动，所述顶起单元（8）配合所述掩膜版自身重力的作用带动所述掩膜版做间隙性的上下运动。

2.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述驱动单元（4）包括固定连接于所述动力缸（3）输出端的低速电机（41），所述低速电机（41）的输出轴下端固定连接有驱动环（42），所述驱动环（42）的外壁上开设有与所述顶起单元（8）相适配的波浪形滑槽（43），所述波浪形滑槽（43）首尾相连，所述低速电机（41）的外壳固定连接在用于密封所述清洗桶（1）开口的密封板（5）上，所述低速电机（41）的输出轴穿过所述密封板（5）轴心处设有的通孔，若干个所述若干个放置单元（7）均呈圆周固定连接于所述密封板（5）的下端。

3.根据权利要求2所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述若干个放置单元（7）包括上端与所述密封板（5）下端固定连接的两个立柱（71），两个所述立柱（71）的下端均固定连接在安装环（6）上，两个所述立柱（71）上均固定连接有若干个U形限位板（72），位于同侧若干个所述U形限位板（72）从上至下呈一字排列，位于最下方所述U形限位板（72）的U形腔内固定连接有支撑圆柱（73），所述掩膜版限位在两侧所述U形限位板（72）形成的限位腔内，并通过支撑圆柱（73）对所述掩膜版的底部形成支撑，若干个所述顶起单元（8）均安装在所述安装环（6）上。

4.根据权利要求3所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述U形限位板（72）的U形腔的三个内面上均活动安装有至少一个万向滚珠（74）。

5.根据权利要求3或4所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述顶起单元（8）包括下端穿过所述安装环（6）上开设的方形孔的方形限位杆（81），所述方形限位杆（81）的上端固定连接有连接杆（82），所述连接杆（82）的纵向杆头上固定连接有顶起块（84），且所述顶起块（84）位于所述掩膜版的正下方，并与所述掩膜版的底部隔开一段距离，所述连接杆（82）的横向杆头上固定连接有驱动杆（83），且所述驱动杆（83）的端头滑动设置在所述波浪形滑槽（43）内腔。

6.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述清洗桶（1）的内腔底部为漏斗形结构，所述清洗桶（1）的底部贴合安装有与外接超声波发生器电性连接的超声波振板（9），所述超声波振板（9）的上端面与所述清洗桶（1）的内腔底部斜面一致。

7.根据权利要求1所述的一种OLED掩膜版Open Mask表面清洗装置，其特征在于：所述动力缸（3）为气缸、电动伸缩杆或液压缸中的任意一种。

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