CN217878233U - 一种半导体设备管件的测漏装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体设备管件的测漏装置，包括不锈钢圆管，所述不锈钢圆管的一端连接设置有管件，所述管件的一端配合设置有橡胶堵塞，所述不锈钢圆管的另一端固定设置有第二球阀，所述第二球阀的一端连接设置有快接头，所述快接头的一端连接设置有外接型气管，所述不锈钢圆管上端靠近中间处固定设置有连接支管，所述连接支管上固定连接有第一球阀。本实用新型通过在管件的另一端配合设置橡胶堵塞，则橡胶堵塞的一端有突出部，可插装在管件的内侧，使得橡胶堵塞的外边沿可贴合在管件一端肋板上，在橡胶堵塞的外侧一端四周均固定设置六个卡槽，这时将弹性卡环插装配合在橡胶堵塞和管件肋板上的表面。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备管件技术领域，具体为一种半导体设备管件的测漏装置。
背景技术
随着社会经济的快速发展，在半导体设备结构设计中会根据生产工艺的需要接入各种各样的工艺气体管路，这些工艺气体中含有硅烷、磷烷等有毒性气体或氦气、氩气等惰性气体。
但是，现有的半导体设备管件中有一定的间隙以及漏缝，这些间隙管路发生泄露，会造成设备停机、产品报废、人身安全等多方面严重问题。因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种半导体设备管件的测漏装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体设备管件的测漏装置，以解决上述背景技术中提出的设备管件中有一定的间隙以及漏缝，这些间隙管路发生泄露，会造成设备停机、产品报废、人身安全等多方面严重问题等问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备管件的测漏装置，包括不锈钢圆管，所述不锈钢圆管的一端连接设置有管件，所述管件的一端配合设置有橡胶堵塞，所述不锈钢圆管的另一端固定设置有第二球阀，所述第二球阀的一端连接设置有快接头，所述快接头的一端连接设置有外接型气管，所述不锈钢圆管上端靠近中间处固定设置有连接支管，所述连接支管上固定连接有第一球阀，所述第一球阀的上端连接设置有压力表，所述橡胶堵塞和管件之间配合连接，所述橡胶堵塞和管件之间的四周均卡装设置有六个弹性卡环。
优选的，所述橡胶堵塞外侧表面的四周均固定设置有六个卡槽。
优选的，所述弹性卡环的一端卡装位于卡槽内。
优选的，所述橡胶堵塞和管件之间通过六个弹性卡环卡装配合连接。
优选的，所述外接型气管和不锈钢圆管之间通过快接头连接。
优选的，所述不锈钢圆管的一端固定设置有连接肋板，所述管件和不锈钢圆管之间通过连接肋板配合连接，所述管件和连接肋板之间通过螺栓固定连接。
优选的，所述橡胶堵塞一端的中间处固定设置有把手，所述管件和连接肋板之间配合设置有橡胶圈。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型通过在管件的另一端配合设置橡胶堵塞，则橡胶堵塞的一端有突出部，可插装在管件的内侧，使得橡胶堵塞的外边沿可贴合在管件一端肋板上，在橡胶堵塞的外侧一端四周均固定设置六个卡槽，这时将弹性卡环插装配合在橡胶堵塞和管件肋板上的表面，有与弹性卡环的为U型结构，可使得弹性卡环的一端卡装在橡胶堵塞上的卡槽内，弹性卡环的另一端贴合在管件上的肋板上，在橡胶堵塞外侧端面的中间处固定设置把手，使得通过把手可拉动整体的橡胶堵塞，使得橡胶堵塞可快速的和管件进行安装或拆卸；
2、本实用新型通过将快接头外接外接型气管，其作用是根据产品的测试需要，向测试装置中引入相应的测试气体，第二球阀起到控制测漏装置的开关和启停功能连接支管为不锈钢圆管上的一条支路，通过第一球阀连接压力表，则压力表用于准确测试所通入气体的气压情况，在使用的过程中，通过快接头将外接的气体引入到管件中，通过第二球阀调整外接气压的大小来控制压力表的读数，进而达到精准控制管件内部压强，然后关闭第二球阀，并静置一段时间确认压力表读数的衰减情况，从而达到对管件密封性能测试的目的。
附图说明
图1为本实用新型整体的立体结构示意图；
图2为本实用新型整体的正视图；
图3为本实用新型图1中A处的立体结构放大图；
图4为本实用新型图3中立体结构的正视剖切图。
图中：1、外接型气管；2、压力表；3、第一球阀；4、连接支管；5、第二球阀；6、快接头；7、不锈钢圆管；8、管件；9、橡胶堵塞；10、连接肋板；11、把手；12、弹性卡环；13、卡槽；14、橡胶圈。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
本实用新型所提到的压力表(型号为0—1Mpa)、球阀(型号为Dn40)均可从市场采购或私人定制获得。
请参阅图1至图4，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体设备管件的测漏装置，包括不锈钢圆管7，不锈钢圆管7的一端连接设置有管件8，管件8的一端配合设置有橡胶堵塞9，不锈钢圆管7的另一端固定设置有第二球阀5，第二球阀5的一端连接设置有快接头6，快接头6的一端连接设置有外接型气管1，不锈钢圆管7上端靠近中间处固定设置有连接支管4，连接支管4上固定连接有第一球阀3，第一球阀3的上端连接设置有压力表2，橡胶堵塞9和管件8之间配合连接，橡胶堵塞9和管件8之间的四周均卡装设置有六个弹性卡环12。
进一步，橡胶堵塞9外侧表面的四周均固定设置有六个卡槽13，弹性卡环12的一端卡装位于卡槽13内。
通过采用上述技术方案，则卡槽13的设置极大的提高了弹性卡环12的固定性。
进一步，橡胶堵塞9和管件8之间通过六个弹性卡环12卡装配合连接。
通过采用上述技术方案，则弹性卡环12的卡装设置整体的橡胶堵塞9可配合位于管件8一端的表面上。
进一步，外接型气管1和不锈钢圆管7之间通过快接头6连接。
通过采用上述技术方案，快接头6有利于外接型气管1的拆卸和安装。
进一步，不锈钢圆管7的一端固定设置有连接肋板10，管件8和不锈钢圆管7之间通过连接肋板10配合连接，管件8和连接肋板10之间通过螺栓固定连接。
通过采用上述技术方案，螺栓提高了连接肋板10和管件8之间的紧密性。
进一步，橡胶堵塞9一端的中间处固定设置有把手11，管件8和连接肋板10之间配合设置有橡胶圈14。
通过采用上述技术方案，把手11可使得整体的进行快速的插拔安装。
综上所述，使用时，管件8是两头贯通的结构，若对其进行密封性检测时，则先将管件8和不锈钢圆管7上端的连接肋板10之间通过螺栓固定连接，且在连接肋板10内侧端面上固定设置环形槽，则环形槽内可放置橡胶圈14，使得管件8和连接肋板10之间可配合设置橡胶圈14，则橡胶圈14可对管件8和不锈钢圆管7之间的连接具有极大的密封性，通过在管件8的另一端配合设置橡胶堵塞9，则橡胶堵塞9的一端有突出部，可插装在管件8的内侧，使得橡胶堵塞9的外边沿可贴合在管件8一端肋板上，在橡胶堵塞9的外侧一端四周均固定设置六个卡槽13，这时将弹性卡环12插装配合在橡胶堵塞9和管件8肋板上的表面，有与弹性卡环12的为U型结构，可使得弹性卡环12的一端卡装在橡胶堵塞9上的卡槽13内，弹性卡环12的另一端贴合在管件8上的肋板上，在橡胶堵塞9外侧端面的中间处固定设置把手11，使得通过把手11可拉动整体的橡胶堵塞9，使得橡胶堵塞9可快速的和管件8进行安装或拆卸；
通过将快接头6外接外接型气管1，其作用是根据产品的测试需要，向测试装置中引入相应的测试气体，第二球阀5起到控制测漏装置的开关和启停功能连接支管4为不锈钢圆管7上的一条支路，通过第一球阀3连接压力表2，则压力表2用于准确测试所通入气体的气压情况，在使用的过程中，通过快接头6将外接的气体引入到管件8中，通过第二球阀5调整外接气压的大小来控制压力表的读数，进而达到精准控制管件内部压强，然后关闭第二球阀5，并静置一段时间确认压力表读数的衰减情况，从而达到对管件8密封性能测试的目的。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (7)
1.一种半导体设备管件的测漏装置，包括不锈钢圆管(7)，其特征在于：所述不锈钢圆管(7)的一端连接设置有管件(8)，所述管件(8)的一端配合设置有橡胶堵塞(9)，所述不锈钢圆管(7)的另一端固定设置有第二球阀(5)，所述第二球阀(5)的一端连接设置有快接头(6)，所述快接头(6)的一端连接设置有外接型气管(1)，所述不锈钢圆管(7)上端靠近中间处固定设置有连接支管(4)，所述连接支管(4)上固定连接有第一球阀(3)，所述第一球阀(3)的上端连接设置有压力表(2)，所述橡胶堵塞(9)和管件(8)之间配合连接，所述橡胶堵塞(9)和管件(8)之间的四周均卡装设置有六个弹性卡环(12)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备管件的测漏装置，其特征在于：所述橡胶堵塞(9)外侧表面的四周均固定设置有六个卡槽(13)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备管件的测漏装置，其特征在于：所述弹性卡环(12)的一端卡装位于卡槽(13)内。
4.根据权利要求1所述的一种半导体设备管件的测漏装置，其特征在于：所述橡胶堵塞(9)和管件(8)之间通过六个弹性卡环(12)卡装配合连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体设备管件的测漏装置，其特征在于：所述外接型气管(1)和不锈钢圆管(7)之间通过快接头(6)连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体设备管件的测漏装置，其特征在于：所述不锈钢圆管(7)的一端固定设置有连接肋板(10)，所述管件(8)和不锈钢圆管(7)之间通过连接肋板(10)配合连接，所述管件(8)和连接肋板(10)之间通过螺栓固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种半导体设备管件的测漏装置，其特征在于：所述橡胶堵塞(9)一端的中间处固定设置有把手(11)，所述管件(8)和连接肋板(10)之间配合设置有橡胶圈(14)。
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| CN202221810727.2U CN217878233U (zh) | 2022-07-13 | 2022-07-13 | 一种半导体设备管件的测漏装置 |
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2022
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