CN217874710U - 一种全自动旋转气管回路机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种全自动旋转气管回路机构。所述全自动旋转气管回路机构包括：主管体；环形腔，所述环形腔开设在所述主管体上；进气管，所述进气管设置在所述主管体上，所述进气管与所述环形腔相连通；单向阀，所述单向阀设置在所述进气管上；回路管，所述回路管设置在所述主管体上；泄压阀，所述泄压阀设置在所述回路管上；旋转管路机构，所述旋转机构设置在所述主管体的底部；旋转机构，所述旋转机构设置在所述主管体上；安装机构，所述安装机构设置在所述主管体的顶部。本实用新型提供的全自动旋转气管回路机构具有能够实现多管路的旋转功能、具有限压功能、安装较为方便的优点。

Description

一种全自动旋转气管回路机构

技术领域

本实用新型属于半导体加工技术领域，尤其涉及一种全自动旋转气管回路机构。

背景技术

晶圆处理设备，例如炉管设备等，通常会采用石英管作为进气管。有些晶圆处理设备，例如用于沉积多晶硅的炉管设备会使用较长的进气管。

但是，现有的石英管进气管结构固定，其往往无法实现多管路的自动旋转，进而无法实现旋转进气，较为不便，同时现有的石英管进气管往往没有进气的限压机构，因此可能会出现进气压力过大的问题。

因此，有必要提供一种新的全自动旋转气管回路机构解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种能够实现多管路的旋转功能、具有限压功能、安装较为方便的全自动旋转气管回路机构。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的全自动旋转气管回路机构包括：主管体；环形腔，所述环形腔开设在所述主管体上；进气管，所述进气管设置在所述主管体上，所述进气管与所述环形腔相连通；单向阀，所述单向阀设置在所述进气管上；回路管，所述回路管设置在所述主管体上；泄压阀，所述泄压阀设置在所述回路管上；旋转管路机构，所述旋转机构设置在所述主管体的底部；旋转机构，所述旋转机构设置在所述主管体上；安装机构，所述安装机构设置在所述主管体的顶部。

作为本实用新型的进一步方案，所述环形腔的内壁上开设有环形槽，所述主管体的底部开设有安装槽。

作为本实用新型的进一步方案，所述安装槽的内壁上固定安装有环形限位板。

作为本实用新型的进一步方案，所述旋转管路机构包括旋转板、旋转管、旋转限位板、电磁阀和连接头，所述旋转板设置在所述主管体的底部，多个所述旋转管设置在所述旋转板上，多个所述旋转管均延伸至所述环形腔的内部，多个所述旋转管上均固定套设有旋转限位板，多个所述旋转限位板均与所述环形槽的内壁滑动连接，多个所述电磁阀分别设置在多个所述旋转管上，多个所述连接头分别设置在多个所述旋转管的一端。

作为本实用新型的进一步方案，所述旋转机构包括伺服电机、转轴和轴承，所述伺服电机固定安装在所述安装槽的内壁上，所述转轴固定安装在所述伺服电机的输出轴上，所述转轴与所述旋转板固定连接，多个所述轴承均设置在所述转轴上，多个所述轴承均与所述环形限位板的内壁固定连接。

作为本实用新型的进一步方案，所述安装机构包括安装板和多个螺栓，所述安装板固定安装在所述主管体的顶部，所述安装板上开设有多个安装孔，多个所述安装孔上均设置有螺栓。

与相关技术相比较，本实用新型提供的全自动旋转气管回路机构具有如下有益效果：

本实用新型提供一种全自动旋转气管回路机构：通过环形腔可以将气流导向多个旋转管内，通过进气管和单向阀可以将气流注入至环形腔内，通过回路管和泄压阀可以控制环形腔内的气压，从而防止进入多个旋转管内的气压过大，通过旋转管路机构可以使多个旋转管能够较为稳定的旋转，通过旋转机构可以带动旋转管路机构转动，通过安装机构可以将该装置较为牢固的安装在多晶硅的炉管设备上，通过环形槽可以对多个旋转限位板进行限位，通过安装槽可以安装伺服电机，通过环形限位板可以安装多个轴承，通过旋转板可以使多个旋转管能够旋转，通过电磁阀可以对多个旋转管的通断进行控制，通过伺服电机和转轴可以带动旋转板转动，通过多个轴承可以使转轴转动时较为稳定，通过安装板和多个螺栓可以将该装置较为稳定的安装在多晶硅的炉管设备上。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型提供的全自动旋转气管回路机构的一种较佳实施例的正视剖视结构示意图；

图2为图1中旋转板的俯视外观结构示意图；

图3为图1中A部分的放大结构示意图。

图中：1、主管体；2、环形腔；3、进气管；4、单向阀；5、回路管；6、泄压阀；7、环形槽；8、安装槽；9、环形限位板；10、旋转板；11、旋转管；12、旋转限位板；13、电磁阀；14、连接头；15、伺服电机；16、转轴；17、轴承；18、安装板；19、螺栓。

具体实施方式

请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本实用新型提供的全自动旋转气管回路机构的一种较佳实施例的正视剖视结构示意图；

图2为图1中旋转板的俯视外观结构示意图；图3为图1中A部分的放大结构示意图。全自动旋转气管回路机构包括：主管体1；环形腔2，所述环形腔2开设在所述主管体1上；进气管3，所述进气管3设置在所述主管体1上，所述进气管3与所述环形腔2相连通；单向阀4，所述单向阀4设置在所述进气管3上；回路管5，所述回路管5设置在所述主管体1上；泄压阀6，所述泄压阀6设置在所述回路管5上；旋转管路机构，所述旋转机构设置在所述主管体1的底部；旋转机构，所述旋转机构设置在所述主管体1上；安装机构，所述安装机构设置在所述主管体1的顶部，通过环形腔2可以将气流导向多个旋转管11内，通过进气管3和单向阀4可以将气流注入至环形腔2内，通过回路管5和泄压阀6可以控制环形腔2内的气压，从而防止进入多个旋转管11内的气压过大，通过旋转管路机构可以使多个旋转管11能够较为稳定的旋转，通过旋转机构可以带动旋转管路机构转动，通过安装机构可以将该装置较为牢固的安装在多晶硅的炉管设备上。

所述环形腔2的内壁上开设有环形槽7，所述主管体1的底部开设有安装槽8，通过环形槽7可以对多个旋转限位板12进行限位，通过安装槽8可以安装伺服电机15。

所述安装槽8的内壁上固定安装有环形限位板9，通过环形限位板9可以安装多个轴承17。

所述旋转管路机构包括旋转板10、旋转管11、旋转限位板12、电磁阀13和连接头14，所述旋转板10设置在所述主管体1的底部，多个所述旋转管11设置在所述旋转板10上，多个所述旋转管11均延伸至所述环形腔2的内部，多个所述旋转管11上均固定套设有旋转限位板12，多个所述旋转限位板12均与所述环形槽7的内壁滑动连接，多个所述电磁阀13分别设置在多个所述旋转管11上，多个所述连接头14分别设置在多个所述旋转管11的一端，通过旋转板10可以使多个旋转管11能够旋转，通过电磁阀13可以对多个旋转管11的通断进行控制。

所述旋转机构包括伺服电机15、转轴16和轴承17，所述伺服电机15固定安装在所述安装槽8的内壁上，所述转轴16固定安装在所述伺服电机15的输出轴上，所述转轴16与所述旋转板10固定连接，多个所述轴承17均设置在所述转轴16上，多个所述轴承17均与所述环形限位板9的内壁固定连接，通过伺服电机15和转轴16可以带动旋转板10转动，通过多个轴承17可以使转轴16转动时较为稳定。

所述安装机构包括安装板18和多个螺栓19，所述安装板18固定安装在所述主管体1的顶部，所述安装板18上开设有多个安装孔，多个所述安装孔上均设置有螺栓19，通过安装板18和多个螺栓19可以将该装置较为稳定的安装在多晶硅的炉管设备上。

本实用新型提供的全自动旋转气管回路机构的工作原理如下：

使用时，通过多个螺栓19将安装板18安装在相应的位置，然后将进气管3接入注气管路，将回路管5接入排气管路，然后通过多个连接头14分别将多个旋转管11与多个送气管，运行时，气流沿进气管3进入环形腔2内，然后气流通过环形腔2分别进入多个旋转管11内，进而进入多个送气管内，当环形腔2内的气压过大时，可以通过泄压阀6和回路管5降低环形腔2内的气压，从而防止多个旋转管11输送的气体压力过大，通过多个电磁阀13可以对多个旋转管11的通断进行控制，在安装时将伺服电机15接入控制系统，通过控制系统控制伺服电机15的转动，伺服电机15带动转轴16转动，转轴16带动旋转板10转动，通过旋转板10带动多个旋转管11旋转，进而实现多个旋转管11的自动旋转。

与相关技术相比较，本实用新型提供的全自动旋转气管回路机构具有如下有益效果：

本实用新型提供一种全自动旋转气管回路机构，通过环形腔2可以将气流导向多个旋转管11内，通过进气管3和单向阀4可以将气流注入至环形腔2内，通过回路管5和泄压阀6可以控制环形腔2内的气压，从而防止进入多个旋转管11内的气压过大，通过旋转管路机构可以使多个旋转管11能够较为稳定的旋转，通过旋转机构可以带动旋转管路机构转动，通过安装机构可以将该装置较为牢固的安装在多晶硅的炉管设备上，通过环形槽7可以对多个旋转限位板12进行限位，通过安装槽8可以安装伺服电机15，通过环形限位板9可以安装多个轴承17，通过旋转板10可以使多个旋转管11能够旋转，通过电磁阀13可以对多个旋转管11的通断进行控制，通过伺服电机15和转轴16可以带动旋转板10转动，通过多个轴承17可以使转轴16转动时较为稳定，通过安装板18和多个螺栓19可以将该装置较为稳定的安装在多晶硅的炉管设备上。

需要说明的是，本实用新型的设备结构和附图主要对本实用新型的原理进行描述，在该设计原理的技术上，装置的动力机构、供电系统及控制系统等的设置并没有完全描述清楚，而在本领域技术人员理解上述实用新型的原理的前提下，可清楚获知其动力机构、供电系统及控制系统的具体，申请文件的控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现；

其中所使用到的标准零件均可以从市场上购买，而且根据说明书和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，且本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型或直接或间接运用，在其它相关的技术领域，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种全自动旋转气管回路机构，其特征在于，包括：

主管体；

环形腔，所述环形腔开设在所述主管体上；

进气管，所述进气管设置在所述主管体上，所述进气管与所述环形腔相连通；

单向阀，所述单向阀设置在所述进气管上；

回路管，所述回路管设置在所述主管体上；

泄压阀，所述泄压阀设置在所述回路管上；

旋转管路机构，所述旋转管路机构设置在所述主管体的底部；

旋转机构，所述旋转机构设置在所述主管体上；

安装机构，所述安装机构设置在所述主管体的顶部。

2.根据权利要求1所述的全自动旋转气管回路机构，其特征在于，所述环形腔的内壁上开设有环形槽，所述主管体的底部开设有安装槽。

3.根据权利要求2所述的全自动旋转气管回路机构，其特征在于，所述安装槽的内壁上固定安装有环形限位板。

4.根据权利要求3所述的全自动旋转气管回路机构，其特征在于，所述旋转管路机构包括旋转板、旋转管、旋转限位板、电磁阀和连接头，所述旋转板设置在所述主管体的底部，多个所述旋转管设置在所述旋转板上，多个所述旋转管均延伸至所述环形腔的内部，多个所述旋转管上均固定套设有旋转限位板，多个所述旋转限位板均与所述环形槽的内壁滑动连接，多个所述电磁阀分别设置在多个所述旋转管上，多个所述连接头分别设置在多个所述旋转管的一端。

5.根据权利要求4所述的全自动旋转气管回路机构，其特征在于，所述旋转机构包括伺服电机、转轴和轴承，所述伺服电机固定安装在所述安装槽的内壁上，所述转轴固定安装在所述伺服电机的输出轴上，所述转轴与所述旋转板固定连接，多个所述轴承均设置在所述转轴上，多个所述轴承均与所述环形限位板的内壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的全自动旋转气管回路机构，其特征在于，所述安装机构包括安装板和多个螺栓，所述安装板固定安装在所述主管体的顶部，所述安装板上开设有多个安装孔，多个所述安装孔上均设置有螺栓。

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