CN217862163U - 一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆切割设备直线导轨散热设备的技术领域，具体为一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置，所述的大理石基台上可拆卸连接有直线导轨，所述的大理石基台上设有与直线轨道配合的过流通道，所述的过流通道上分别间隔设有进口管道和出口管道，所述的过流通道中间位置间隔设有数组安装孔，所述的过流通道内设有数组散热腔，数组所述的散热腔经管道连接，数组所述的散热腔内均设有与直线轨道配合的散热翅片。

Description

一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置

技术领域

本实用新型属于晶圆切割设备直线导轨散热设备的技术领域，具体为一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置。

背景技术

在加工晶圆时，加工平台常常需要导轨进行支撑，确保高频次、高精度的往复运动，大量的摩擦导致运动平台导轨产生热量，影响切割工作的效率，或是损坏切割设备。在此类高精密机械设备中，支撑导轨的载台多为大理石基台，传热能力较差，导轨零部件温度升高会产生热膨胀，可能对平台的精密控制产生不利影响，在现有的设备中，多采用自然风冷，对环境的要求很高且可靠性不高。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供了一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置，解决晶圆切割设备加工平台在工作过程中因大量来回移动摩擦而产生的温度升高，从而导致一系列其他连锁反应的技术问题。

本实用新型采取的方案为：一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置，包括大理石基台，其特征在于，所述的大理石基台上开拆卸连接有直线导轨，所述的大理石基台上设有与直线轨道配合的过流通道，所述的过流通道上分别间隔设有进口管道和出口管道，所述的过流通道中间位置间隔设有数组安装孔，所述的过流通道内设有数组散热腔，数组所述的散热腔内经管道连接，数组所述的散热腔内均设有与直线轨道配合的散热翅片。

优选的，所述的大理石基台上设有数组螺栓嵌套，数组所述的螺栓嵌套内螺纹连接有与直线导轨配合且与过流通道配合的紧固螺栓。

优选的，所述的大理石基台上设有测温设备。

优选的，所述的测温设备为温度传感器，所述的温度传感器与控制器间电性连接。

本实用新型的有益效果：保证直线导轨承载需求不受影响的前提下，对导轨进行散热，可同时满足水冷和强制风冷的结构需求。结构简单，效果明显；大理石基台承载过流通道及直线导轨；过流通道供冷却流体穿过带走热量，散热翅片强化换热；直线导轨承载加工平台；可以在保证导轨承载能力的前提下，利用水冷或强制风冷方式，对导轨进行散热。

附图说明

图1是本实用新型的立体图视角之一。

图2是本实用新型的安装孔截面视图。

图3是本实用新型的过流通道俯视剖视图。

图4是图3的A局部放大图。

附图标记：1、大理石基台；2、直线导轨；3、过流通道；4、进口管路；5、出口管路；6、散热翅片；7、管道；8、温度传感器；9、螺纹嵌套；10、安装孔；11、紧固螺栓；12、散热腔。

具体实施方式

有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图1-4实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的结构内容，均是以说明书附图为参考。

下面将参照附图描述本实用新型的各示例性的实施例。

实施例一，一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置，包括大理石基台1，其特征在于，所述的大理石基台1上开拆卸连接有直线导轨2，所述的大理石基台1上设有与直线轨道配合的过流通道3，所述的过流通道3上分别间隔设有进口管道7和出口管道7，所述的过流通道3中间位置间隔设有数组安装孔10，所述的过流通道3内设有数组散热腔12，数组所述的散热腔12内经管道7连接，数组所述的散热腔12内均设有与直线轨道配合的散热翅片6。

实施例二，在实施例一的基础上，所述的大理石基台1上设有数组螺栓嵌套，数组所述的螺栓嵌套内螺纹连接有与直线导轨2配合且与过流通道3配合的紧固螺栓11。

实施例三，在实施例二的基础上，所述的大理石基台1上设有测温设备。

实施例四，在实施例三的基础上，所述的测温设备为温度传感器8，所述的温度传感器8与控制器间电性连接。

该实施例在使用的时候，大理石基台1上开设有与导轨相匹配的孔位，孔内嵌有螺纹嵌套9以适配紧固螺栓11。大理石基台1上还开设有过流通道3的放置凹槽，凹槽宽度小于导轨宽度，使得导轨的承载需求仍由大理石基台1完成。过流通道3放置于开设的凹槽内，通道上表面两端分别连通进口管路4和出口管路5，中间开有安装孔10，无需额外固定组件，过流通道3的上表面与大理石基台1的上表面持平，确保与导轨底面相接触。过流通道3由多个散热腔12组成，散热腔12内部设有与流动方向平行的散热翅片6，既能强化传热效果，又能减轻流体冲击垂直翅片时的振动。在经过紧固螺栓11时，为确保基台的承载能力，过流通道3的相邻散热腔12之间使用管道7连接。紧固螺栓11穿过直线导轨2和过流通道3的安装孔10，通过螺纹嵌套9与大理石基台1连接；大理石基台1承载过流通道3及直线导轨2；过流通道3供冷却流体穿过带走热量，散热翅片6强化换热；直线导轨2承载加工平台；保证直线导轨2承载需求不受影响的前提下，对导轨进行散热，可同时满足水冷和强制风冷的结构需求。结构简单，效果明显，有效对直线导轨2进行散热，避免因温升过高导致的精度降低、生产故障等问题；

散热流体通过进口管路4进入过流通道3，过流通道3由多个散热腔12组成，散热腔12之间通过连通管道7连通，散热腔12内布置有散热翅片6，散热腔12上表面与导轨下表面贴合。工作时，加工平台在直线导轨2上往复运动产生热量，热量迅速在直线导轨2中自发扩散开来。散热腔12采用传热性能较好的材料制成，散热腔12的上表面将导轨中产生的热量引出，并散布在腔体壁面和散热翅片6上，再由通过的流体将其带出。导轨温度过高时，测温设备向控制中枢发送信号，控制中枢响应并开启循环水泵（水冷）或风机(强制风冷)，降温达到一定程度之后，循环泵或风机关闭，以节省能源；从而解决晶圆切割设备加工平台在工作过程中因大量来回移动摩擦而产生的温度升高问题的技术问题。

上面所述只是为了说明本实用新型，应该理解为本实用新型并不局限于以上实施例，符合本实用新型思想的各种变通形式均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置，包括大理石基台（1），其特征在于，所述的大理石基台（1）上开拆卸连接有直线导轨（2），所述的大理石基台（1）上设有与直线轨道配合的过流通道（3），所述的过流通道（3）上分别间隔设有进口管道（7）和出口管道（7），所述的过流通道（3）中间位置间隔设有数组安装孔（10），所述的过流通道（3）内设有数组散热腔（12），数组所述的散热腔（12）内经管道（7）连接，数组所述的散热腔（12）内均设有与直线轨道配合的散热翅片（6）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置，其特征在于，所述的大理石基台（1）上设有数组螺栓嵌套，数组所述的螺栓嵌套内螺纹连接有与直线导轨（2）配合且与过流通道（3）配合的紧固螺栓（11）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置，其特征在于，所述的大理石基台（1）上设有测温设备。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割设备直线导轨的散热装置，其特征在于，所述的测温设备为温度传感器（8），所述的温度传感器（8）与控制器间电性连接。

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