CN217839111U - 一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，包括长条状的杆体；所述杆体由多根首尾依序衔接的节段管组成，相邻节段管之间相互套接，并能够相对沿轴向移动，以使所述杆体能够伸缩；所述杆体的一端能够供背管套接，所述杆体的另一端能够与解绑机器的尾座适配。其通用于不同长度的旋转靶材，从而降低了仓储成本；因减少了运送、替换延长件的时间，即提高了解绑效率。

Description

一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件

技术领域

本实用新型涉及解绑装置技术领域，尤其涉及一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件。

背景技术

在溅射镀膜行业中，旋转靶材通常是采用铟粘合绑定的方式来制造的，一方面是为了避免一些韧性较差的金属、合金或氧化物等易裂材料在使用过程中破裂，因而旋转靶材绑定有不锈钢材质的背管或钛质背管；另一方面，可以改善靶材机械强度不足的问题，可确保靶材的冷却及电接触良好的特性。基于用户使用一定时间后，旋转靶材会逐渐变成残靶，用户退回给厂家后，基于背管的可重复利用性，厂家可以将背管从残靶上拆卸下来回收利用，拆卸的过程称为解绑。具体地，解绑的过程是在解绑机器上进行，因解绑机器尺寸固定，解绑不同长度的旋转靶材时，需配备多种解绑延长辅助件对残靶进行加长，以使旋转靶材能够被解绑机器固定。然而，如此，工厂需要储备各类长度的延长件，不仅增加了仓储成本，而且运送、替换延长件也降低解绑效率。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其通用于不同长度的旋转靶材，从而降低了仓储成本；因减少了运送、替换延长件的时间，即提高了解绑效率。

本实用新型的目的采用如下技术方案实现：

一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，包括长条状的杆体；所述杆体由多根首尾依序衔接的节段管组成，相邻节段管之间相互套接，并能够相对沿轴向移动，以使所述杆体能够伸缩；所述杆体的一端能够供背管套接，所述杆体的另一端能够与解绑机器的尾座适配。

进一步地，各所述节段管的外侧壁均呈等截面结构。

进一步地，所述节段管的横截面外轮廓呈圆形结构，沿所述杆体的轴向依序衔接的各所述节段管的外径逐个依序变小。

进一步地，相邻两个所述节段管之间进行螺纹连接。

进一步地，定义相邻两个相互套接的所述节段管之间一者为外管，另一者为内管，外管的内壁设有沿自身径向由外向内凸起的多个内部节点凸起，多个内部节点凸起沿所述外管的径向相互间隔地分布，所述内管的外壁设有外部节点凸起，所述外部节点凸起卡接在相邻两个所述内部节点凸起之间。

进一步地，所述节段管的横截面外轮廓呈圆形结构。

进一步地，所述内部节点凸起环绕所述节段管的周向延伸并形成闭环的凸条结构。

进一步地，所述节段管的横截面外轮廓呈方形结构。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

通过杆体的一端与旋转靶材的背管连接，以及杆体的另一端与解绑机器连接，从而能够将旋转靶材安装到解绑机器上进行背管的解绑，且本一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件能够调节自身长度以通用于不同长度的旋转靶材，从而降低了仓储成本；且因减少了运送、替换延长件的时间，即提高了解绑效率。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件的结构示意图；

图2为本实用新型第二实施例的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件的结构示意图；

图3为图2的A处的局部放大图；

图4为本实用新型第三实施例的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件的结构示意图；

图5为图4的B处的局部放大图。

图中：1、杆体；11、节段管；111、内部节点凸起；112、外部节点凸起。

具体实施方式

下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上，或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能存在居中元件。本文所使用的“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不代表是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术术语和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

第一实施例：

图1示出了本实用新型第一实施例的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其包括长条状的杆体1。杆体1由多根首尾依序衔接的节段管11组成，相邻节段管11之间相互套接，并能够相对沿轴向移动，以使杆体1能够伸缩。杆体1的一端能够供背管套接，杆体1的另一端能够与解绑机器的尾座适配。解绑时，旋转靶材的一端与解绑机器连接，旋转靶材的背管与杆体1的一端连接，杆体1的另一端以伸缩的方式调节至与解绑机器连接，如此，旋转靶材与杆体1构成长条状的加长结构，使得旋转靶材能够被解绑机器承托和驱动，以能够将背管从旋转靶材上取下以进行回收再利用。

显然，这样设置，通过杆体1的一端与旋转靶材的背管连接，以及杆体1的另一端与解绑机器连接，从而能够将旋转靶材安装到解绑机器上进行背管的解绑，且本一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件能够调节自身长度以通用于不同长度的旋转靶材，从而降低了仓储成本；且因减少了运送、替换延长件的时间，即提高了解绑效率。

优选地，参见图1，为了便于制造，各节段管11的外侧壁均呈等截面结构。也即是说，每段节段管11均是等截面结构，例如圆管或方管，需要说明的是，无论圆管或是方管都是由需要解绑的旋转靶材的具体构造决定。

参见图1，在第一实施例中，节段管11的横截面外轮廓呈圆形结构，沿杆体1的轴向依序衔接的各节段管11的外径逐个依序变小。可以理解，相邻两个节段管11之间可以通过阻尼力进行拼接，而在第一实施例中，优选地，相邻两个节段管11之间进行螺纹连接。显然，通过螺纹的方式调节，利于稳妥地保持杆体1的长度。

第二实施例：

图2和图3示出了本实用新型第二实施例的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其包含第一实施例，其不同于第一实施例的地方在于相邻两个节段管11之间的连接方式：定义相邻两个相互套接的节段管11之间一者为外管，另一者为内管，外管的内壁设有沿自身径向由外向内凸起的多个内部节点凸起111，多个内部节点凸起111沿外管的径向相互间隔地分布，内管的外壁设有外部节点凸起112，外部节点凸起112卡接在相邻两个内部节点凸起111之间。显然，在第二实施例中，相邻两个节段管11之间通过卡接的方式进行杆体1的长度的调节。

优选地，节段管11的横截面外轮廓呈圆形结构。以及，内部节点凸起111环绕节段管11的周向延伸并形成闭环的凸条结构。

第三实施例：

图4和图5示出了本实用新型第三实施例的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其包含第二实施例，其不同于第二实施例的地方在于：优选地，节段管11的横截面外轮廓呈方形结构。显然，在图5中可以详细地看出，外部节点凸起112为点状结构，即无需设置工艺较为复杂的闭环的凸条结构。

上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。

Claims (8)

1.一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其特征在于：包括长条状的杆体(1)；所述杆体(1)由多根首尾依序衔接的节段管(11)组成，相邻节段管(11)之间相互套接，并能够相对沿轴向移动，以使所述杆体(1)能够伸缩；所述杆体(1)的一端能够供背管套接，所述杆体(1)的另一端能够与解绑机器的尾座适配。

2.如权利要求1所述的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其特征在于：各所述节段管(11)的外侧壁均呈等截面结构。

3.如权利要求2所述的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其特征在于：所述节段管(11)的横截面外轮廓呈圆形结构，沿所述杆体(1)的轴向依序衔接的各所述节段管(11)的外径逐个依序变小。

4.如权利要求3所述的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其特征在于：相邻两个所述节段管(11)之间进行螺纹连接。

5.如权利要求1所述的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其特征在于：定义相邻两个相互套接的所述节段管(11)之间一者为外管，另一者为内管，外管的内壁设有沿自身径向由外向内凸起的多个内部节点凸起(111)，多个内部节点凸起(111)沿所述外管的径向相互间隔地分布，所述内管的外壁设有外部节点凸起(112)，所述外部节点凸起(112)卡接在相邻两个所述内部节点凸起(111)之间。

6.如权利要求5所述的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其特征在于：所述节段管(11)的横截面外轮廓呈圆形结构。

7.如权利要求5所述的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其特征在于：所述内部节点凸起(111)环绕所述节段管(11)的周向延伸并形成闭环的凸条结构。

8.如权利要求5所述的一种用于旋转靶材的可伸缩式解绑辅助延长件，其特征在于：所述节段管(11)的横截面外轮廓呈方形结构。

Images