CN217825099U - 成像系统调节装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种成像系统调节装置，其中，成像系统调节装置包括相互配合使用的镜头调节机构、光源调节机构、光源检测机构及总控装置，并采用支撑组件、镜头固定组件、俯仰角度调节组件、摆角调节组件及位移调节组件调节来调节固定于镜头调节机构上的镜头的位置，从而可更精准地调节镜头的对焦位置及角度，并提供良好的光源，其中，通过将镜头先固定于镜头固定组件上，再通过俯仰角度调节组件、摆角调节组件及位移调节组件来对固定了镜头的镜头固定组件的位置及角度进行调整，有效减少镜头安装过程中带来的偏差，从而更好地进行对焦。该成像系统调节装置具备操作方便、提高清晰度及检测时的精准度、性能佳、适应性好的特点。

Description

成像系统调节装置

技术领域

本实用新型涉及芯片制造技术领域，尤其涉及一种成像系统调节装置。

背景技术

在半导体器件制造时，需与进行图像获取，已更好、更精准地进行加工，但现有技术中的相机及光源等部件安置后，与待测件间的相对位置角度不可调，这会使得成像效果并不理想从而影响最终的生产。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服了上述现有技术中的缺点，提供了一种便于调节、精准度高、性能好的的成像系统调节装置。

为了实现上述的目的，本实用新型的成像系统调节装置如下：

该成像系统调节装置，其主要特点是，包括：

镜头调节机构，用于固定并调节镜头的位置；

光源调节机构，用于固定并调节为所述镜头提供光源的光源机构的位置；

光源检测机构，用于检测光源机构的照射位置，所述光源检测机构设于所述光源调节机构下侧；

总控装置，分别与所述镜头、光源调节机构及光源检测机构相连接；

其中，所述镜头调节机构包括：

支撑组件；

镜头固定组件，用于调整并限制所述镜头的轴向角度，所述镜头固定于所述镜头固定组件上；

俯仰角度调节组件，用于带动所述镜头固定组件相对于所述支撑组件形成俯仰角度的调整及锁定；

摆角调节组件，用于带动所述镜头固定组件相对于所述支撑组件形成左右摆动角度的调整及锁定；

位移调节组件，用于带动所述镜头固定组件相对于所述支撑组件形成上下位置的调整及锁定。

该成像系统调节装置，其中，所述镜头固定组件包括：

第一固定板，所述镜头固定组件通过所述第一固定板与所述俯仰角度调节组件、摆角调节组件及位移调节组件相连接；

卡位环，固定于所述第一固定板板上，所述卡位环上设有供所述镜头穿过，并对所述镜头进行上下限位的通孔，所述镜头可在所述卡位环内沿其轴向转动；

限位卡块，用于在所述镜头调整好轴向角度后，对所述镜头相对于所述卡位环的轴向角度进行限制。

该成像系统调节装置，其中，所述摆角调节组件包括：

第二固定板，用于支撑所述镜头固定组件；

摆角旋转轴，所述第二固定板通过所述摆角旋转轴与所述支撑组件连接；

摆角调节螺丝构件，设于所述第二固定板的两侧，所述摆角调节螺丝构件用于带动所述第二固定板相对于所述支撑组件进行左右摆动角度的调节；

第一锁附螺丝构件，用于在调节好所述第二固定板相对于所述支撑组件的左右摆动角度后，对所述第二固定板相对于所述支撑组件的左右摆动角度进行固定。

该成像系统调节装置，其中，所述俯仰角度调节组件，包括：

第三固定板，用于支撑所述镜头固定组件；

旋转支撑构件，包括位于所述第三固定板两侧的旋转支撑件，令所述第三固定板可绕所述旋转支撑件相对于所述支撑组件形成俯仰角度的调整；

支撑弹性件，抵撑于所述第三固定板与所述支撑组件之间，且所述支撑弹性件位于所述旋转支撑构件的下侧；

第一调整螺丝构件，穿过所述第三固定板与所述支撑组件连接，所述第一调整螺丝构件位于所述旋转支撑构件的上侧，用于对所述第三固定板相对于所述支撑组件形成俯仰角度进行固定。

该成像系统调节装置，其中，所述位移调节组件包括：

导向滑轨构件，用于承载所述镜头固定组件；

第二调整螺丝构件，用于带动所述镜头固定组件沿所述导向滑轨构件相对于所述支撑组件形成上下位置的调整及锁定。

该成像系统调节装置，其中，所述光源调节机构包括：

光源承载组件，用于承载所述光源机构；

角度调节组件，分别与所述光源承载组件及所述总控装置相连接，用于根据所述总控装置的指令调节所述光源承载组件的旋转角度。

该成像系统调节装置，其中，所述角度调节组件包括：

转动轴，固定于所述光源承载组件上；

马达构件，与所述总控装置相连接，所述马达构件根据所述总控装置的指令控制所述转动轴转动，以带动所述光源承载组件转动。

该成像系统调节装置，其中，所述角度调节组件还包括：

转轴，与所述马达构件相连接；

两条传动皮带；

所述转轴的两端分别通过两条所述传动皮带与所述光源承载组件两侧的所述转动轴的传动端相连接。

该成像系统调节装置，其中，所述光源承载组件包括：

光源机构固定构件，用于固定所述光源机构；

固定支座，与所述转动轴相连接；

弯折支撑件板，包括处于不同平面、相互连接的第一连接板及第二连接板；

所述弯折支撑件板通过所述第一连接板可滑动地设置于所述固定支座上，并通过水平调整螺丝构件调整所述弯折支撑件板在所述固定支座上的水平位置；

第二锁附螺丝构件，用于在调整好所述弯折支撑件板在所述固定支座上的水平位置后，对所述弯折支撑件板与所述固定支座的相对位置进行进一步地限制；

所述第二连接板上设有纵向调整螺丝构件，通过所述纵向调整螺丝构件调整所述光源机构固定构件在所述第二连接板上的纵向位置；

第三锁附螺丝构件，用于在调整好所述光源机构固定构件在所述第二连接板上的纵向位置后，对所述光源机构固定构件与所述光源机构固定构件的相对位置进行进一步地限制。

该成像系统调节装置，其中，光源检测机构包括：

照度计，与所述总控装置相连接；

光源校正板，设于所述照度计上侧，且所述光源校正板上设有一条供光源通过的狭缝。

本实用新型的成像系统调节装置，通过设置相互配合使用的镜头调节机构、光源调节机构、光源检测机构及总控装置，并采用支撑组件、镜头固定组件、俯仰角度调节组件、摆角调节组件及位移调节组件调节来调节固定于镜头调节机构上的镜头的位置，从而可更好、更方便、更精准地调节镜头的对焦位置及角度，并提供良好的光源，其中，通过将镜头先固定于镜头固定组件上，再通过俯仰角度调节组件、摆角调节组件及位移调节组件来对固定了镜头的镜头固定组件的位置及角度进行调整，有效减少镜头安装过程中带来的偏差，从而更好地进行对焦，更好地进行图像的获取。可更精准、快速地调节镜头、光源及待拍摄物品的相对位置。该成像系统调节装置具备操作方便、提高拍摄清晰度、提高检测时的精准度、性能佳、适应性好的特点。

附图说明

以下将结合附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。

图1是本实用新型的成像系统调节装置的第一视角结构示意图。

图2是本实用新型的成像系统调节装置的第二视角结构示意图。

图3是本实用新型的成像系统调节装置中的镜头调节机构的结构示意图。

图4是本实用新型的成像系统调节装置中的镜头调节机构的侧视图。

图5是本实用新型的成像系统调节装置中的镜头调节机构中的摆角调节组件的结构示意图。

图6是本实用新型的成像系统调节装置中的光源调节机构的结构示意图。

图7是本实用新型的成像系统调节装置中的光源检测机构的结构示意图。

图8为一实施例中调整螺丝构件的结构示意图。

附图标记

1 镜头调节机构

11 支撑组件

12 镜头固定组件

121 第一固定板

122 卡位环

123 限位卡块

13 摆角调节组件

131 第二固定板

132 摆角旋转轴

133 摆角调节螺丝构件

134 第一锁附螺丝构件

14 俯仰角度调节组件

141 第三固定板

142 旋转支撑构件

143 支撑弹性件

144 第一调整螺丝构件

15 位移调节组件

151 导向滑轨构件

152 第二调整螺丝构件

2 光源调节机构

21 光源承载组件

211 光源机构固定构件

212 固定支座

213 弯折支撑件板

2131 第一连接板

2132 第二连接板

214 水平调整螺丝构件

215 纵向调整螺丝构件

216 第三锁附螺丝构件

217 第二锁附螺丝构件

22 角度调节组件

221 转动轴

222 马达构件

223 转轴

224 传动皮带

3 光源检测机构

31 照度计

32 光源校正板

321 狭缝

4 镜头

具体实施方式

为了使实用新型实现的技术手段、创造特征、达成目的和功效易于明白了解，下结合具体图示，进一步阐述本实用新型。但本实用新型不仅限于以下实施的案例。

须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

如图1至图8所示，该成像系统调节装置包括镜头调节机构1、光源调节机构2、光源检测机构3及总控装置。其中：

镜头调节机构1用于固定并调节镜头4的位置，该镜头调节机构1包括：

支撑组件11；

镜头固定组件12，用于调整并限制所述镜头4的轴向角度，所述镜头4固定于所述镜头固定组件12上，该镜头固定组件12包括：

第一固定板121，所述镜头固定组件12通过所述第一固定板121与所述俯仰角度调节组件14、摆角调节组件13及位移调节组件15相连接；

卡位环122，固定于所述第一固定板121板上，所述卡位环122上设有供所述镜头4穿过，并对所述镜头4进行上下限位的通孔，所述镜头4可在所述卡位环122内沿其轴向转动；

限位卡块123，用于在所述镜头4调整好轴向角度后，对所述镜头4相对于所述卡位环122的轴向角度进行限制。

摆角调节组件13用于带动所述镜头固定组件12相对于所述支撑组件11形成左右摆动角度的调整及锁定，该摆角调节组件13包括：

第二固定板131，用于支撑所述镜头固定组件12；

摆角旋转轴132，所述第二固定板131通过所述摆角旋转轴132与所述支撑组件11连接；

摆角调节螺丝构件133，设于所述第二固定板131的两侧，所述摆角调节螺丝构件133用于带动所述第二固定板131相对于所述支撑组件11进行左右摆动角度的调节；

第一锁附螺丝构件134，用于在调节好所述第二固定板131相对于所述支撑组件11的左右摆动角度后，对所述第二固定板131相对于所述支撑组件11的左右摆动角度进行固定。

俯仰角度调节组件14用于带动所述镜头固定组件12相对于所述支撑组件11形成俯仰角度的调整及锁定；该俯仰角度调节组件14包括：

第三固定板141，用于支撑所述镜头固定组件12；

旋转支撑构件142，包括位于所述第三固定板141两侧的旋转支撑件，令所述第三固定板141可绕所述旋转支撑件相对于所述支撑组件11形成俯仰角度的调整；

支撑弹性件143，抵撑于所述第三固定板141与所述支撑组件11之间，且所述支撑弹性件143位于所述旋转支撑构件142的下侧；具体实施时，支撑弹性件143可由弹簧构成；

第一调整螺丝构件144，穿过所述第三固定板141与所述支撑组件11连接，所述第一调整螺丝构件144位于所述旋转支撑构件142的上侧，用于对所述第三固定板141相对于所述支撑组件11形成俯仰角度进行固定。

位移调节组件15用于带动所述镜头固定组件12相对于所述支撑组件11形成上下位置的调整及锁定，该位移调节组件15包括：

导向滑轨构件151，用于承载所述镜头固定组件12；

第二调整螺丝构件152，用于带动所述镜头固定组件12沿所述导向滑轨构件151相对于所述支撑组件11形成上下位置的调整及锁定。

如图1至图4所示，该实施例中，俯仰角度调节组件14通过摆角调节组件13固定于支撑组件11上。

光源调节机构2用于固定并调节为所述镜头提供光源的光源机构的位置，该光源调节机构2包括光源承载组件21和角度调节组件22，其中：

光源承载组件21用于承载所述光源机构；所述光源承载组件21包括：

光源机构固定构件211，用于固定所述光源机构；

固定支座212，与所述转动轴221相连接；

弯折支撑件板213，包括处于不同平面、相互连接的第一连接板2131及第二连接板2132；

所述弯折支撑件板213通过所述第一连接板2131可滑动地设置于所述固定支座212上，并通过水平调整螺丝构件214调整所述弯折支撑件板213在所述固定支座212上的水平位置；

第二锁附螺丝构件217，用于在调整好所述弯折支撑件板213在所述固定支座212上的水平位置后，对所述弯折支撑件板213与所述固定支座212的相对位置进行进一步地限制；

所述第二连接板2132上设有纵向调整螺丝构件215，通过所述纵向调整螺丝构件215调整所述光源机构固定构件211在所述第二连接板2132上的纵向位置；

第三锁附螺丝构件216，用于在调整好所述光源机构固定构件211在所述第二连接板2132上的纵向位置后，对所述光源机构固定构件211与所述光源机构固定构件211的相对位置进行进一步地限制。

该实施例中的摆角调节螺丝构件133、第二调整螺丝构件152、水平调整螺丝构件214及纵向调整螺丝构件215均可采用图8所示的这种调整螺丝构件(实际尺寸可根据具体设置位置进行选择)构成，即包括一固定块，一穿过固定块与待调部件连接的螺栓结构，与其连接的部件上可设置对应的螺纹，以实现与螺栓的连接，通过该结构可实现微调，从而实现细微地调节，保障调节的精确度，其中固定块固定在用于与待调部件连接的部件上。

如图5及图6所示，该实施例中的第一锁附螺丝构件、第二锁附螺丝构件及第三锁附螺丝构件均由螺丝配合对应的腰型孔构成，即当调整到位时，螺丝穿过对应的腰型孔及待固定件上的开孔与待固定件固定，从而实现锁紧固定，由于图片显示角度关系，螺丝受到了遮挡，故图中仅能体现出腰型孔的位置，螺丝位于对应的腰型孔处。

角度调节组件22分别与所述光源承载组件21及所述总控装置相连接，用于根据所述总控装置的指令调节所述光源承载组件21的旋转角度，该角度调节组件22包括：

转动轴221，固定于所述光源承载组件21上；

马达构件222，与所述总控装置相连接，所述马达构件222根据所述总控装置的指令控制所述转动轴221转动，以带动所述光源承载组件21转动；

转轴223，与所述马达构件222相连接；

两条传动皮带224；

所述转轴223的两端分别通过两条所述传动皮带224与所述光源承载组件21两侧的所述转动轴221的传动端相连接。

在操作时，可通过总控装置控制马达构件222转动，从而依次通过转轴223、传动皮带224带动转动轴221旋转，从而调节光源的旋转角度。

如图7所示，光源检测机构3，用于检测光源机构的照射位置，所述光源检测机构3设于所述光源调节机构2下侧；所述光源检测机构3包括照度计31和光源校正板32，其中：

照度计31与所述总控装置相连接，该实施例中照度计31可进行左右移动，来实现左右位量测；

光源校正板32设于所述照度计31上侧，且所述光源校正板32上设有一条供光源通过的狭缝321，通过该光源校正板32可实现对线光源的校正，具体实施时狭缝321的宽度可设置在2mm左右。

总控装置分别与所述镜头、光源调节机构2及光源检测机构3相连接；附图中并未绘制出总控装置，具体实施时总控装置可采用PLC、DSP等具备控制功能的设备构成总控装置。

在采用上述实施例中的成像系统调节装置调节成像系统时，调节过程如下：

(1)可通过光源调节机构先调好光源机构的位置及线光源聚焦，通过光源机构下的光源检测机构3中的照度计31，判断光源是否为最佳位置；

(2)当调整好光源，并将镜头固定于镜头调节机构后，通过镜头调节机构调节镜头相对于支撑组件的摆动角度，调好后通过第一锁附螺丝构件对摆动角度进行固定；

(3)通过俯仰角度调节组件调节并固定镜头相对于支撑组件形成俯仰角度；

当镜头用于线性成像系统是，可通过上述步骤(2)及步骤(3)中摆角、俯仰角度、上下位置的调节使得镜头与光源机构的照射位置成一直线，完成相机中镜头的调节；

(4)镜头部分已固定后，可依产品需求自动调整打光角度。

上述成像系统调节装置可执行下述成像系统调节步骤，具体包括以下操作步骤：

步骤1：所述光源调节机构判断所述光源调节机构上的光源机构是否调节到位，并将检测结果传输至所述总控装置；

步骤2：所述总控装置根据所述检测结果生成指令调节所述光源调节机构的旋转角度，并根据所述检测结果调整所述光源机构在所述光源调节机构上的位置，以将光源机构调节到系统预设位置；

步骤3：根据所述总控装置检测到的所述镜头的拍摄状态，确定所述镜头位置是否还需要调节；

步骤4：所述总控装置根据系统预设变化角度控制所述光源调节机构调节所述光源机构的旋转角度。

其中，预设变化角度以实际产品需求的打光角度为依据确定。

上述实施例中的成像系统调节装置具备以下优点及特点：

(1)相较于现有技术中必需先调整好镜头调节机构的对焦位置，才能锁附固定镜头的镜头调节机构的结构而言，本实用新型中的成像系统调节装置中的镜头调节机构中由于设置了镜头固定组件，并通过摆角调节组件、俯仰角度调节组件及位移调节组件对镜头固定组件的位置及角度进行调节，从而可先将镜头先固定于镜头固定组件后，再调整镜头与支撑组件之间的相对位置关系。有效避免现有技术中因先调整好镜头调节机构的状态，再对镜头进行锁定，容易造成已调整好的焦距失焦的问题，该问题在高分辨率下更容易发生。本实用新型中的镜头调节机构有效避免镜头调节机构中的镜头固定组件与镜头调节机构中的其它组件产生相互干扰的问题。

(2)光学分辨率越高，如遇到像距长距离，镜筒(接环)质量较大情况下，越适合本专利。

(3)可满足产品会有不同的打光角度的需求，通过加入光源调节机构中的马达构件，实现将更容易控制调整的效果。

本实用新型的成像系统调节装置技术方案中，其中所包括的各个功能模块和模块单元均能够对应于集成电路结构中的具体硬件电路，因此仅涉及具体硬件电路的改进，硬件部分并非仅仅属于执行控制软件或者计算机程序的载体，因此解决相应的技术问题并获得相应的技术效果也并未涉及任何控制软件或者计算机程序的应用，也就是说，本实用新型仅仅利用这些模块和单元所涉及的硬件电路结构方面的改进即可以解决所要解决的技术问题，并获得相应的技术效果，而并不需要辅助以特定的控制软件或者计算机程序即可以实现相应功能。

以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种成像系统调节装置，其特征在于，包括：

镜头调节机构，用于固定并调节镜头的位置；

光源调节机构，用于固定并调节为所述镜头提供光源的光源机构的位置；

光源检测机构，用于检测光源机构的照射位置，所述光源检测机构设于所述光源调节机构下侧；

总控装置，分别与所述镜头、光源调节机构及光源检测机构相连接；

其中，所述镜头调节机构包括：

支撑组件；

镜头固定组件，用于调整并限制所述镜头的轴向角度，所述镜头固定于所述镜头固定组件上；

摆角调节组件，用于带动所述镜头固定组件相对于所述支撑组件形成左右摆动角度的调整及锁定；

俯仰角度调节组件，用于带动所述镜头固定组件相对于所述支撑组件形成俯仰角度的调整及锁定；

位移调节组件，用于带动所述镜头固定组件相对于所述支撑组件形成上下位置的调整及锁定。

2.根据权利要求1所述的成像系统调节装置，其特征在于，所述镜头固定组件包括：

第一固定板，所述镜头固定组件通过所述第一固定板与所述俯仰角度调节组件、摆角调节组件及位移调节组件相连接；

卡位环，固定于所述第一固定板板上，所述卡位环上设有供所述镜头穿过，并对所述镜头进行上下限位的通孔，所述镜头可在所述卡位环内沿其轴向转动；

限位卡块，用于在所述镜头调整好轴向角度后，对所述镜头相对于所述卡位环的轴向角度进行限制。

3.根据权利要求2所述的成像系统调节装置，其特征在于，所述摆角调节组件包括：

第二固定板，用于支撑所述镜头固定组件；

摆角旋转轴，所述第二固定板通过所述摆角旋转轴与所述支撑组件连接；

摆角调节螺丝构件，设于所述第二固定板的两侧，所述摆角调节螺丝构件用于带动所述第二固定板相对于所述支撑组件进行左右摆动角度的调节；

第一锁附螺丝构件，用于在调节好所述第二固定板相对于所述支撑组件的左右摆动角度后，对所述第二固定板相对于所述支撑组件的左右摆动角度进行固定。

4.根据权利要求2所述的成像系统调节装置，其特征在于，所述俯仰角度调节组件，包括：

第三固定板，用于支撑所述镜头固定组件；

旋转支撑构件，包括位于所述第三固定板两侧的旋转支撑件，令所述第三固定板可绕所述旋转支撑件相对于所述支撑组件形成俯仰角度的调整；

支撑弹性件，抵撑于所述第三固定板与所述支撑组件之间，且所述支撑弹性件位于所述旋转支撑构件的下侧；

第一调整螺丝构件，穿过所述第三固定板与所述支撑组件连接，所述第一调整螺丝构件位于所述旋转支撑构件的上侧，用于对所述第三固定板相对于所述支撑组件形成俯仰角度进行固定。

5.根据权利要求2所述的成像系统调节装置，其特征在于，所述位移调节组件包括：

导向滑轨构件，用于承载所述镜头固定组件；

第二调整螺丝构件，用于带动所述镜头固定组件沿所述导向滑轨构件相对于所述支撑组件形成上下位置的调整及锁定。

6.根据权利要求1所述的成像系统调节装置，其特征在于，所述光源调节机构包括：

光源承载组件，用于承载所述光源机构；

角度调节组件，分别与所述光源承载组件及所述总控装置相连接，用于根据所述总控装置的指令调节所述光源承载组件的旋转角度。

7.根据权利要求6所述的成像系统调节装置，其特征在于，所述角度调节组件包括：

转动轴，固定于所述光源承载组件上；

马达构件，与所述总控装置相连接，所述马达构件根据所述总控装置的指令控制所述转动轴转动，以带动所述光源承载组件转动。

8.根据权利要求7所述的成像系统调节装置，其特征在于，所述角度调节组件还包括：

转轴，与所述马达构件相连接；

两条传动皮带；

所述转轴的两端分别通过两条所述传动皮带与所述光源承载组件两侧的所述转动轴的传动端相连接。

9.根据权利要求7所述的成像系统调节装置，其特征在于，所述光源承载组件包括：

光源机构固定构件，用于固定所述光源机构；

固定支座，与所述转动轴相连接；

弯折支撑件板，包括处于不同平面、相互连接的第一连接板及第二连接板；

所述弯折支撑件板通过所述第一连接板可滑动地设置于所述固定支座上，并通过水平调整螺丝构件调整所述弯折支撑件板在所述固定支座上的水平位置；

第二锁附螺丝构件，用于在调整好所述弯折支撑件板在所述固定支座上的水平位置后，对所述弯折支撑件板与所述固定支座的相对位置进行进一步地限制；

所述第二连接板上设有纵向调整螺丝构件，通过所述纵向调整螺丝构件调整所述光源机构固定构件在所述第二连接板上的纵向位置；

第三锁附螺丝构件，用于在调整好所述光源机构固定构件在所述第二连接板上的纵向位置后，对所述光源机构固定构件与所述光源机构固定构件的相对位置进行进一步地限制。

10.根据权利要求7所述的成像系统调节装置，其特征在于，所述光源检测机构包括：

照度计，与所述总控装置相连接；

光源校正板，设于所述照度计上侧，且所述光源校正板上设有一条供光源通过的狭缝。

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