CN217775014U - 掩膜板清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种掩膜板清洁装置,包括气枪和气管，气枪包括主体，主体的一端设置有喷嘴，主体内设置气体通过的通道，气管通过主体内部的通道与喷嘴连通，主体上设置有控制阀，控制阀用于控制通道内部气流的通断，还包括卷尺以及照明部件，照明部件和卷尺均设置主体的外侧壁，且照明部件靠近喷嘴，照明部件通过转动座与主体连接。其在清洁时能够辅助照明掩膜板，提高清洁效率，且易于存放卷尺，方便使用。

Description

掩膜板清洁装置

技术领域

本实用新型涉及显示装置制造设备技术领域，尤其涉及一种掩膜板清洁装置。

背景技术

在液晶面板加工时，阵列工序的曝光工艺中需要采用掩膜板对基板进行曝光。由于掩膜板的存放和使用空间未密闭，掩膜板表面会粘附异物(例如机器运行时产生的碎屑、空气中的浮油物以及虫子等)，掩膜板表面粘附的异物会影响曝光工艺的质量，使曝光后的基板上出现斑点等缺陷，因此当曝光后的基板出现缺陷时，需要及时对掩膜板进行清洁，防止掩膜板上的异物对下一张基板的光爆造成影响。

当发现曝光后的基板出现缺陷时，利用卷尺测量基板上的缺陷位置(即利用卷尺测量缺陷位置在基板上的X坐标和Y坐标)，根据缺陷位置在掩膜板上找到对应区域，然后在该区域内找到异物，再利用气枪喷射高压的干燥洁净的气体除去异物，实现掩膜板清洁的目的。参照图1，气枪包括主体1＇、气管2＇以及控制阀3＇，主体1＇的一端具有喷嘴4＇，气管2＇的一端连接气源，另一端通过主体1＇与喷嘴4＇连通，主体1＇设置气体通过的通道，控制阀3＇设置主体1＇上，用于控制通道中的气流，由于掩膜板上的异物较小，主体1＇上未设置照明设备，具体操作时，最少需要两个人配合，一个人手拿气枪，另一个人拿照明灯协助照明，如两人配合不当，气枪操作者会因无法看清异物，导致无法准确、高效地去除异物，甚至有破损掩膜板的风险。此外，由于卷尺与气枪分开设置，卷尺容易丢失，使用不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种掩膜板清洁装置，其在清洁时能够辅助照明掩膜板，提高清洁效率，且易于存放卷尺，方便使用。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种掩膜板清洁装置，包括气枪和气管，所述气枪包括主体，所述主体的一端设置有喷嘴，所述主体内设置气体通过的通道，所述气管通过所述主体内部的所述通道与所述喷嘴连通，所述主体上设置有控制阀，所述控制阀用于控制所述通道内部气流的通断，还包括卷尺以及照明部件，所述照明部件和所述卷尺均设置所述主体的外侧壁，且所述照明部件靠近所述喷嘴，所述照明部件通过转动座与所述主体连接。

作为掩膜板清洁装置的一种优选方案，所述主体包括枪身以及与所述枪身连接的握持手柄，所述枪身与所述握持手柄呈夹角设置，所述喷嘴设置在所述枪身远离所述握持手柄的一端，所述照明部件设置在所述枪身上，所述卷尺设置在所述握持手柄上。

作为掩膜板清洁装置的一种优选方案，所述转动座通过滑动组件与所述枪身滑动连接，所述滑动组件包括滑轨以及与所述滑轨滑动配合的滑块，所述滑轨设置在所述枪身的外侧壁上，且所述滑轨由所述喷嘴朝向所述握持手柄的方向延伸，所述滑块设置在所述转动座的底部。

作为掩膜板清洁装置的一种优选方案，所述转动座包括底板和转动轴，所述照明部件通过所述转动轴与所述底板连接，所述滑块设置在所述底板的底部。

作为掩膜板清洁装置的一种优选方案，所述底板通过锁紧组件锁紧在所述枪身上，所述锁紧组件包括锁紧件以及弹性件，所述枪身的外侧壁位于所述滑轨的相对两侧分别凹陷设置有凹槽，且所述凹槽的延伸方向与所述滑轨的延伸方向相同，所述底板的相对两端均贯穿设置有通孔，所述通孔与所述凹槽一一对应，所述弹性件套设在所述锁紧件的外部，且所述弹性件的相对两端分别与所述锁紧件的上端与所述底板连接，所述锁紧件的下端穿过所述通孔插入至所述凹槽内，所述弹性件具有驱使所述锁紧件朝向所述枪身方向移动的趋势，以使所述锁紧件的下端能抵紧在所述凹槽的槽底。

作为掩膜板清洁装置的一种优选方案，所述照明部件包括灯盒以及照明灯，所述灯盒的底部通过所述转动轴与所述底板连接，所述灯盒具有容纳所述照明灯的容纳槽，所述容纳槽的槽口封堵有透光板。

作为掩膜板清洁装置的一种优选方案，所述容纳槽的槽口侧壁环形设置有安装槽，所述透光板通过螺丝与所述安装槽的槽侧壁可拆卸连接，所述安装槽的侧壁贯穿开设有多个第一连接孔，多个所述第一连接孔环绕所述安装槽的轴心线间隔分布，所述透光板的周向端面凹陷设置有多个第二连接孔，所述第二连接孔与所述第一连接孔一一对应，所述螺丝的一端穿过所述第一连接孔拧紧在第二连接孔内。

作为掩膜板清洁装置的一种优选方案，所述卷尺包括尺本体以及收纳所述尺本体的尺盒，所述尺盒通过卡扣部件与所述握持手柄可拆卸连接。

作为掩膜板清洁装置的一种优选方案，所述握持手柄与所述尺盒之间夹紧有两个弹性块，所述弹性块的一端与所述握持手柄固定连接，另一端与所述尺盒抵紧，所述卡扣部件位于两个所述弹性块之间，所述卡扣部件包括第一卡扣钩以及与所述第一卡扣钩勾接的第二卡扣钩，所述第一卡扣钩设置在所述握持手柄上，所述第二卡扣钩设置在所述尺盒上。

作为掩膜板清洁装置的一种优选方案，还包括升降台，所述升降台上设置有固定架，所述固定架远离所述升降台的一端设置有固定夹，所述固定夹能够夹紧所述握持手柄。

本实用新型的有益效果为：将照明部件和卷尺集中设置在气枪的主体上，可以利用气枪上的照明部件进行辅助照明，具体清洁时不需要专门的人员拿照明部件协助照明，节省了人力。由于照明部件是设置在主体上，照明部件随着气枪同时移动，照明灯发出的光线也随着气枪同步移动，去除异物的同时也对掩膜板上异物附近区域的位置照明，实现照明和去除异物同步进行，有利于提高异物去除的效率，并且使异物去除更加彻底，提高清洁效率。利用气枪上的卷尺能够在基板上测量出缺陷所在的X坐标和Y坐标，以使在基板上获取缺陷位置，将卷尺与主体结合在一起，不会由于卷尺与主体分开设置而导致卷尺丢失，更加方便获取主体上的卷尺，此外，还易于保存卷尺和气枪。照明部件通过转动座与主体连接，使照明部件可以转动座的轴心线转动，改变照明部件的光照方向，辅助照明更加灵活，满足不同的照明需求。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为现有技术中的气枪的结构图。

图2为一实施例中的掩膜板清洁装置的结构示意图(卷尺安装在握持手柄上时)。

图3为一实施例中的掩膜板清洁装置的结构示意图(卷尺未安装在握持手柄上时)。

图4为另一实施例中所述滑轨和凹槽在枪身上的分布图。

图5为另一实施例中所述照明部件、转动座、锁紧组件和滑动组件的结构图。

图6为实施例所述照明部件的剖视图(透光板封堵透光孔时)。

图7为实施例所述照明部件的剖视图(透光板未封堵透光孔时)。

图8为实施例所述透光板的结构图。

图9为再一实施例中的掩膜板清洁装置中的升降台和固定架的结构图。

图1中：

1＇、主体；2＇、气管；3＇、控制阀；4＇、喷嘴。

图2至图9中：

1、主体；101、枪身；102、握持手柄；103、喷嘴；104、开关按钮；105、夹紧位；

2、照明部件；201、灯盒；2011、散热孔；2012、安装槽；2013、容纳槽；202、透光板；203、灯座；204、照明灯；205、电池块；206、螺丝；207、第一连接孔；2071、第一孔；2072、第二孔；208、第二连接孔；209、电路板；

3、转动座；301、转动轴；302、底板；3021、通孔；

4、滑动组件；401、滑轨；402、滑块；

5、卷尺；501、尺盒；502、尺本体；

6、锁紧组件；601、锁紧件；602、弹性件；

7、卡扣部件；701、第一卡扣钩；702、第二卡扣钩；

8、升降台；801、台本体；802、底座；803、升降缸；

9、固定架；901、支撑杆；902、固定夹；903、固定块；

10、凹槽；

11、控制阀；

12、气管；

13、弹性块。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

本实施例中，参照图2,提供一种掩膜板清洁装置，包括气枪和气管12，气枪包括主体1，主体1的一端设置有喷嘴103，主体1内设置气体通过的通道(图中未示出)，气管12通过主体1内部的通道与喷嘴103连通，气管12上设置有控制阀11，控制阀11用于控制通道部气流的通断，气管12远离喷嘴103的一端连接有气源设备，气源设备产生的一定压力的干燥洁净的气体通过喷嘴103喷出。掩膜板清洁装置还包括卷尺5以及照明部件2，照明部件2和卷尺5均设置主体1的外侧壁，且照明部件2靠近喷嘴103，照明部件2通过转动座3与主体1连接。

可以理解的是，粘附在掩膜板表面的异物较小，不易观察，通常是当发现曝光后的基板出现缺陷时，利用卷尺5测量基板上缺陷位置，根据缺陷位置在掩膜板上寻找对应区域，然后在该区域内找到异物，进而利用气枪的喷出具有一定压力的干燥洁净的气体去除异物，达到清洁掩膜板的目的。本实施例中的掩膜板清洁装置，将照明部件2和卷尺5集中设置在气枪的主体1上，可以利用气枪上的照明部件2进行辅助照明，具体清洁时不需要专门的人员拿照明部件2协助照明，节省了人力。由于照明部件2是设置在主体1上，照明部件2随着气枪同时移动，照明灯204发出的光线也随着气枪同步移动，去除异物的同时也对掩膜板上异物附近区域的位置照明，实现照明和去除异物同步进行，有利于提高异物去除的效率，并且使异物去除更加彻底，提高清洁效率。利用气枪上的卷尺5能够在基板上测量出缺陷所在的X坐标和Y坐标，以使在基板上获取缺陷位置，将卷尺5与主体1结合在一起，不会由于卷尺5与主体1分开设置而导致卷尺5丢失，更加方便获取主体1上的卷尺5，此外，还易于保存卷尺5和气枪。照明部件2通过转动座3与主体1连接，使照明部件2可以转动座3的轴心线转动，改变照明部件2的光照方向，辅助照明更加灵活，满足不同的照明需求。

具体清洁时，将待清洁的掩膜板防止在固定台上，利用气枪的喷嘴103喷射高压气体，以去除异物。

其中，控制阀11具有控制手柄，控制手柄凸出设置在主体1与握持手柄102之间的位置，作业人员通过控制把手控制通道的气流。

本实施例中，参照图2和图3，主体1包括枪身101以及与枪身101连接的握持手柄102，枪身101与握持手柄102呈夹角设置，喷嘴103设置在枪身101远离握持手柄102的一端，照明部件2设置在枪身101上，卷尺5设置在握持手柄102上。将照明部件2设置在枪身101上，卷尺5设置在握持手柄102上，防止卷尺5阻挡照明部件2照射的光线。卷尺5在基板上测量缺陷位置时，可通过转动座3将照明部件2的透光部位朝向卷尺5的方向，使照明部件2对测量缺陷位置进行辅助照明，气枪在掩膜板上清除异物时，通过转动座3将照明部件2的透光部位朝向喷嘴103方向，以对异物的清除进行辅助照明。可以理解的是，卷尺5是比较小的一个部件，只占用握持手柄102上的部分空间，并不会妨碍的握持把手102的握持功能。当然在其他的实施例中，可根据需要灵活设置照明部件2和卷尺5的具体位置，在此并不对照明部件2和卷尺5的位置做具体限制。

本实施例中，参照图4和图5，转动座3通过滑动组件4与枪身101滑动连接，滑动组件4包括滑轨401以及与滑轨401滑动配合的滑块402，滑轨401设置在枪身101的外侧壁上，且滑轨401由喷嘴103朝向握持手柄102的方向延伸，滑块402设置在转动座3的底部。由于滑轨401的长度方向与枪身101的长度方向相同，滑块402相对于滑轨401滑动，通过滑块402可以调整照明部件2在枪身101上的位置，以此改变照明部件2与喷嘴103的距离，调整照明部件2在掩膜板上的光照度。当异物较小时，可以将照明部件2朝向喷嘴103的方向移动，以使照明部件2更靠近掩膜板，从而更加清楚的看到掩膜板上的异物，当异物较大时，可以将照明部件2朝向背离喷嘴103的方向移动，以使照明部件2远离掩膜板，减少掩膜板上的光照强度，防止强光刺激工作人员而加快眼部疲劳。

具体地，参照图2、图3和图5，转动座3包括底板302和转动轴301，照明部件2通过转动轴301与底板302连接，滑块402设置在底板302的底部。将滑块402设置在底板302的底部，滑块402的滑动可以带动照明部件2滑动，照明部件2通过转动轴301与底板302连接，通过转动轴301带动照明部件2转动。具体实施时，将转动轴301设置为阻尼轴，阻尼轴可将照明部件2旋转定位。

本实施例中，滑轨401为T型结构，滑块402背离底板302的一侧面凹陷设置与滑轨401的结构配合的T型槽，滑块402套设在滑轨401的外周，在此种结构的掩膜板清洁装置中，底板302通过锁紧组件6锁紧在枪身101上，锁紧组件6包括锁紧件601以及弹性件602，枪身101的外侧壁位于滑轨401的相对两侧分别凹陷设置有凹槽10，且凹槽10的延伸方向与滑轨401的延伸方向相同，底板302的相对两端均贯穿设置有通孔3021，通孔3021与凹槽10一一对应，弹性件602套设在锁紧件601的外部，且弹性件602的相对两端分别与锁紧件601的上端与底板302固定连接，锁紧件601的下端穿过通孔3021插入至凹槽10内，弹性件602具有驱使锁紧件601朝向枪身101方向移动的趋势，以使锁紧件601的下端能抵紧在凹槽10的槽底。弹性件602为锁紧件601提供驱动力，使锁紧件601具有朝向枪身101移动的趋势，从而使锁紧件601的下端抵紧在凹槽10的槽底，由于照明部件2是设置在枪身101上的，照明部件2的重量较轻，因此弹性件602和锁紧件601可以为照明部件2提供足够的锁紧力，防止照明部件2在沿着滑轨401随意滑动，实现照明部件2定位在枪身101上。当需要将照明部件2在枪身101上滑动时，将锁紧件601向上提起，拉长弹性件602，减小弹性件602对锁紧件601的驱动力，解除对照明部件2的锁紧力，外力驱动底板302上的滑块402相对于枪身101上的滑轨401滑动，当滑动完毕后，释放锁紧件601锁紧照明部件2。弹性件602可以为压缩弹簧，或其他可以弹性压缩的结构。凹槽10可以容纳锁紧件601的下端，避免锁紧件601与枪身101底部抵接而导致底板302被顶离滑块402。其他的示例中，锁紧组件6还可以为其他的结构，例如，锁紧组件6包括第一磁铁件和能够与第一磁铁件相互吸附的第二磁铁件，枪身101的外侧壁位于滑轨401的相对两侧分别凹陷设置有凹槽10，凹槽10沿着枪身101的长度方向延伸，第一磁铁件固定设置在凹槽10的槽底，且第一磁铁件沿着凹槽10的长度方向延伸，底板302贯穿设置通孔3021，第二磁铁件的下端穿过通孔3021与凹槽10内部的第一磁铁件吸附，第二磁铁件的上端凸出于底板302的顶部，第二磁铁件的下端穿过通孔3021能够与第一磁铁件抵紧内部，通过第一磁铁件和第二磁铁件之间的吸附力，锁紧底板302的位置，防止照明部件2在枪身101上随意滑动，将第二磁铁件从凹槽10移走后，即可解除对底板302的锁紧力，滑动滑块402。

参照图6和图7，照明部件2包括灯盒201以及照明灯204，灯盒201的底部通过转动轴301与底板302连接，灯盒201具有容纳照明灯204的容纳槽2013，容纳槽2013的槽口封堵有透光板202。将照明灯204设置在灯盒201内部，一方面，通过将灯盒201固定在枪身101上，可以对照明灯204的位置进行固定，便于照明灯204与枪身101的结合；另一方面，灯盒201也可以为照明灯204提供防护，避免在使用或运输的过程中外力撞坏照明灯204。设置透光板202封堵透光孔，防止灰尘进入容纳槽2013内部而粘附在照明灯204表面，经过长时间的使用后使照明灯204仍然具有良好光照能力。

容纳槽2013的槽口侧壁环形设置有安装槽2012，透光板202的周部安装在安装槽2012内，具体设计时，安装槽2012的尺寸与透光板202的尺寸适配，将透光板202的周部直接放置在安装槽2012内即可安装到位，实现透光板202的快速安装。照明灯204具有一定的使用寿命，随着照明部件2的使用，照明灯204会烧坏更换照明灯204，因此可以将透光板202通过螺丝206与安装槽2012的槽侧壁可拆卸连接，通过螺丝206将透光板202从安装槽2012内拆卸。

具体地，参照图6至图8，安装槽2012的侧壁贯穿开设有多个第一连接孔207，多个第一连接孔207环绕安装槽2012的轴心线间隔分布，透光板202的周向端面凹陷设置有多个第二连接孔208，第二连接孔208与第一连接孔207一一对应，螺丝206的一端穿过第一连接孔207拧紧在第二连接孔208内，由于螺丝206是从安装槽2012的槽壁拧入透光板202的，螺丝206不会影响照明灯204朝向透光孔照射光线，避免了螺丝206从透光板202的一侧拧入而导致照明灯204照射时在掩膜板上出现黑影的现象。

为了避免螺丝206凸出于枪身101表面而影响美观性，第一连接孔207由第一孔2071与第二孔2072组成，第二孔2072位于第一孔2071与第二连接孔208之间，且第一孔2071的孔径大于第二孔2072的孔径，螺丝206的一端从第一孔2071穿入第二孔2072拧紧在第二连接孔208内，可以通过第一孔2071容纳螺丝206端部的螺帽。

优选地，参照图6和图7，容纳槽2013的腔壁贯穿设置有散热孔2011。由于灯盒201的容纳槽2013空间有限，照明灯204工作发出的热量无法从容纳槽2013内部释放会影响照明灯204的使用寿命，设置散热孔2011实现容纳槽2013内部和外部空气的交换，照明灯204发出的热量可以从散热孔2011排出，有利于延长照明灯204的使用寿命。

一实施例中，参照图6和图7，照明部件2还包括有为照明灯204供电的电池块205以及安装照明灯204的灯座203，电池块205封堵在灯盒201背离透光孔的一端，灯座203设置在电池块205靠近透光孔的一侧，灯座203通过电路板209与电池块205电连接。通过电池块205为照明灯204供电，不需要使用电源线将照明灯204与外部的电源连接，减少电源线绕设，并且便于气枪的移动。

实际设计时，电池块205选用可充电电池，电池块205的外表面凹陷设置有充电接口，当电池块205使用一段时间后，通过充电接口对电池块205进行充电。

为了便于控制照明灯204，握持手柄102上还设置有开关按钮104，通过开关按钮104可以控制照明灯204与电池块205之间的电路通断。

一实施例中，参照图2和图3，卷尺5包括尺本体502以及收纳尺本体502的尺盒501，尺盒501通过卡扣部件7与握持手柄102可拆卸连接。使用卡扣部件7将尺盒501与握持手柄102可拆卸连接，可将卷尺5从握持手柄102拆卸下使用，当卷尺5测量好基板上缺陷位置后，再将卷尺5通过卡扣部件7安装在握持手柄102上，防止卷尺5丢失。

握持手柄102与尺盒501之间夹紧有两个弹性块13，弹性块13的一端与握持手柄102固定连接，另一端与尺盒501抵紧，卡扣部件7位于两个弹性块13之间，卡扣部件7包括第一卡扣钩701以及与第一卡扣钩701勾接的第二卡扣钩702，第一卡扣钩701设置在握持手柄102上，第二卡扣钩702设置在尺盒501上。弹性块13采用弹性橡胶或弹性海绵等制成，弹性块13具有一定的弹性力，未被尺盒501挤压时，弹性块13凸出于握持手柄102的高度大于第一卡扣钩701凸出于握持手柄102的高度，将尺盒501安装在握持手柄102的过程中，尺盒501挤压弹性块13，使弹性块13被压缩后，尺盒501上的第二卡扣钩702与第一卡扣钩701勾接，在弹性块13的弹性作用下，弹性块13驱使尺盒501和第二卡扣钩702具有朝向背离第一卡扣钩701方向的运动趋势，从而使第一卡扣钩701与第二卡扣钩702勾紧，使尺盒501与握持手柄102可靠连接。

当然，在其他的实施例中，也可以将卷尺5固定设置在握持手柄102上，不需要将卷尺5从气枪上拆卸下来也可以测量出基板上缺陷位置。

另一实施例中，参照图2、图3和图9，掩膜板清洁装置还包括升降台8，升降台8上设置有固定架9，固定架9远离升降台8的一端设置有固定夹902，固定夹902能够夹紧握持手柄102。清洁掩膜板时，是将待清洁的掩膜板防止在固定台上，再通过气枪的喷嘴103喷射高压气体，以去除异物，由于固定台具有一定高度(1.5m左右)，清洁时工作人员手握气枪弯腰进行清洁作业，持续长时间作业，手握气枪会使手臂酸痛。本实施例中，通过升降台8垫高气枪的高度，利用设置在升降台8上的固定架9固定气枪，清洁掩膜板时可以利用固定夹902夹紧握持手柄102，不需要人力承受气枪的重量，减少了作业人员的劳作强度。

具体地，升降台8包括台本体801以及用于支撑台本体801的升降脚，通过升降脚可以调整台本体801的高度，从而调整夹持在固定架9上的气枪的高度，以适用不同的清洁作业的高度。本实施例中，升降脚设置有四个，四个升降脚间隔分布。

进一步地，升降脚包括底座802以及设置在底座802上的升降缸803，同时控制四个升降脚中的升降缸803，调节台本体801的高度。

为了便于固定夹902夹紧握持手柄102，握持手柄102位于主体1与卷尺5之间设置有夹紧位105，通过固定夹902夹紧在夹紧位105上，实现主体1的固定。

具体地，固定架9还包括固定块903以及与固定块903连接的支撑杆901，固定块903与台本体801固定连接，支撑杆901远离固定块903的一端设置固定夹902，支撑杆901可弯曲形变，当气枪的握持手柄102被夹紧在固定夹902上时，通过改变支撑杆901的弯曲度可以调整气枪的喷嘴103的方向，便于喷射异物。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种掩膜板清洁装置，包括气枪和气管，所述气枪包括主体，所述主体的一端设置有喷嘴，所述主体内设置气体通过的通道，所述气管通过所述主体内部的所述通道与所述喷嘴连通，所述主体上设置有控制阀，所述控制阀用于控制所述通道内部气流的通断，其特征在于，还包括卷尺以及照明部件，所述照明部件和所述卷尺均设置所述主体的外侧壁，且所述照明部件靠近所述喷嘴，所述照明部件通过转动座与所述主体连接。

2.根据权利要求1所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述主体包括枪身以及与所述枪身连接的握持手柄，所述枪身与所述握持手柄呈夹角设置，所述喷嘴设置在所述枪身远离所述握持手柄的一端，所述照明部件设置在所述枪身上，所述卷尺设置在所述握持手柄上。

3.根据权利要求2所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述转动座通过滑动组件与所述枪身滑动连接，所述滑动组件包括滑轨以及与所述滑轨滑动配合的滑块，所述滑轨设置在所述枪身的外侧壁上，且所述滑轨由所述喷嘴朝向所述握持手柄的方向延伸，所述滑块设置在所述转动座的底部。

4.根据权利要求3所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述转动座包括底板和转动轴，所述照明部件通过所述转动轴与所述底板连接，所述滑块设置在所述底板的底部。

5.根据权利要求4所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述底板通过锁紧组件锁紧在所述枪身上，所述锁紧组件包括锁紧件以及弹性件，所述枪身的外侧壁位于所述滑轨的相对两侧分别凹陷设置有凹槽，且所述凹槽的延伸方向与所述滑轨的延伸方向相同，所述底板的相对两端均贯穿设置有通孔，所述通孔与所述凹槽一一对应，所述弹性件套设在所述锁紧件的外部，且所述弹性件的相对两端分别与所述锁紧件的上端与所述底板固定连接，所述锁紧件的下端穿过所述通孔插入至所述凹槽内，所述弹性件具有驱使所述底板朝向所述枪身方向移动的趋势，以使所述锁紧件的下端能抵紧在所述凹槽的槽底。

6.根据权利要求4所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述照明部件包括灯盒以及照明灯，所述灯盒的底部通过所述转动轴与所述底板连接，所述灯盒具有容纳所述照明灯的容纳槽，所述容纳槽的槽口封堵有透光板。

7.根据权利要求6所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述容纳槽的槽口侧壁环形设置有安装槽，所述透光板通过螺丝与所述安装槽的槽侧壁可拆卸连接，所述安装槽的侧壁贯穿开设有多个第一连接孔，多个所述第一连接孔环绕所述安装槽的轴心线间隔分布，所述透光板的周向端面凹陷设置有多个第二连接孔，所述第二连接孔与所述第一连接孔一一对应，所述螺丝的一端穿过所述第一连接孔拧紧在第二连接孔内。

8.根据权利要求2所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述卷尺包括尺本体以及收纳所述尺本体的尺盒，所述尺盒通过卡扣部件与所述握持手柄可拆卸连接。

9.根据权利要求8所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述握持手柄与所述尺盒之间夹紧有两个弹性块，所述弹性块的一端与所述握持手柄固定连接，另一端与所述尺盒抵紧，所述卡扣部件位于两个所述弹性块之间，所述卡扣部件包括第一卡扣钩以及与所述第一卡扣钩勾接的第二卡扣钩，所述第一卡扣钩设置在所述握持手柄上，所述第二卡扣钩设置在所述尺盒上。

10.根据权利要求2所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，还包括升降台，所述升降台上设置有固定架，所述固定架远离所述升降台的一端设置有固定夹，所述固定夹能够夹紧所述握持手柄。

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