CN217767003U - 自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，包括支撑架、锁紧螺母和调位螺钉；支撑架上设有竖直的第一通孔，第一通孔内设有内螺纹，第一通孔的底部设有挡圈，挡圈上设有第二通孔，第二通孔与第一通孔同轴设置，第二通孔的直径小于第一通孔，挡圈上沿周向均布有三个以上螺纹孔；调位螺钉的数量与挡圈上的螺纹孔数量相对应，每个螺纹孔上都设有一个调位螺钉；锁紧螺母连接在第一通孔内，锁紧螺母上设有外螺纹，锁紧螺母的外螺纹与第一通孔的内螺纹相适配，锁紧螺母内沿轴向设有第三通孔。有利于保证整体探测精度，无需针对装配提出更高的要求，对生产环节要求降低，且提高生产效率，无需拆解检测架，可直接无损调节。

Description

自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置

技术领域

本实用新型涉及光谱自动膜厚测绘应用技术领域，具体涉及一种自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置。

背景技术

自动光学薄膜厚度测绘仪，是利用卤素灯及紫外灯反射及透射原理检验薄膜反射信号，并通过算计算出薄膜厚度的装置。自动光学薄膜厚度测绘仪通常为实验室使用环境，因此，自动光学薄膜厚度测绘仪对聚焦镜或准直镜成像对焦高度和角度要求较高。

现有的自动光学薄膜厚度测绘仪，对镜头固定采用多零件复合固定，且镜头部分无可调节固定方式容易形成装配误差，安装难度也大，装配完成后调试如需微调设备需要拆解检测头部分进行调整，如有精度问题需要拆解整个检测架部分，并且针对不同聚焦点高度，普通设备需要进行针对检测架方面的不同定制，比较费时和费事，严重影响设备产能。

实用新型内容

为此，需要提供一种自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置,解决现有的自动光学薄膜厚度测绘仪，镜头调整难度大，误差大，比较费时和费事，严重影响设备产能的问题。

为实现上述目的，发明人提供了自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，包括支撑架、锁紧螺母和调位螺钉；

所述支撑架上设有竖直的第一通孔，所述第一通孔内设有内螺纹，所述第一通孔的底部设有挡圈，所述挡圈上设有第二通孔，所述第二通孔与第一通孔同轴设置，所述第二通孔的直径小于第一通孔，所述挡圈上沿周向均布有三个以上螺纹孔；

所述调位螺钉的数量与挡圈上的螺纹孔数量相对应，每个螺纹孔上都设有一个调位螺钉；

所述锁紧螺母连接在第一通孔内，锁紧螺母上设有外螺纹，锁紧螺母的外螺纹与第一通孔的内螺纹相适配，所述锁紧螺母内沿轴向设有第三通孔。

进一步地，所述锁紧螺母顶部设有两个卡槽，两个卡槽相对与锁紧螺母中轴线对称设置。

进一步地，所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括扳手，所述扳手上设有两个外伸臂，两个外伸臂的底部分别设有一个卡块，两个卡块与锁紧螺母顶部的两个卡槽相适配。

进一步地，所述支撑架包括底座、支撑部、悬臂和安装座，所述支撑部竖直连接在底座上，所述悬臂连接在支撑部的顶部，所述安装座连接在悬臂远离支撑部的一端底部，所述第一通孔设置在安装座上。

进一步地，所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括支撑架上盖板和支撑架前盖板，所述支撑架上盖板安装在悬臂上方，所述支撑架前盖板安装在支撑部上远离安装座的一侧。

进一步地，所述支撑架的底座、支撑部、悬臂和安装座为一体式制成。

进一步地，所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括压线板，所述压线板设有多个，分别连接在支撑部前方和悬臂上方。

进一步地，所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括三角架，所述三角架分别和支撑部和悬臂相连接。

进一步地，所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括光纤、光纤接头和镜头，所述镜头连接在锁紧螺母和紧盯螺钉之间，所述光纤接头连接在镜头顶部，所述光纤连接在光纤接头上。

进一步地，所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括测试平台，所述支撑架连接在测试平台上。

区别于现有技术，上述技术方案提供了一种自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，包括支撑架、锁紧螺母和调位螺钉；

所述支撑架上设有竖直的第一通孔，所述第一通孔内设有内螺纹，所述第一通孔的底部设有挡圈，所述挡圈上设有第二通孔，所述第二通孔与第一通孔同轴设置，所述第二通孔的直径小于第一通孔，所述挡圈上沿周向均布有三个以上螺纹孔；

所述调位螺钉的数量与挡圈上的螺纹孔数量相对应，每个螺纹孔上都设有一个调位螺钉；

所述锁紧螺母上设有外螺纹，锁紧螺母的外螺纹与第一通孔的内螺纹相适配，所述锁紧螺母内沿轴向设有第三通孔。

通过锁紧螺母底部和三个以上调位螺钉顶部的抵触夹持来固定镜头，通过锁紧螺钉上下移动来调整镜头的位置，达到调整焦距的目的，通过三个以上的调位螺钉三点定平面的方式来调整镜头的平行度，全程调平过程无需对机构进行拆解，可以无级调节聚焦高度，支持25-55MM的聚焦高度无级调节和镜头平面10度环绕调节范围，实现测试定标时可动态调节，从而降低了装配误差要求提高了生产效率。有利于保证整体探测精度，无需针对装配提出更高的要求，对生产环节要求降低，且提高生产效率，无需拆解检测架，可直接无损调节。

附图说明

图1为具体实施方式所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置去除支撑架前盖板和支撑架上盖板后的三维视图；

图2为具体实施方式所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置的正视图；

图3为具体实施方式所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置的俯视图；

图4为图3A-A处的剖视图；

图5为图4中Ⅰ处的局部放大图；

图6为具体实施方式所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置的爆炸视图；

图7为具体实施方式所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置锁紧螺母的三维视图；

图8为具体实施方式所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置扳手的三维视图。

附图标记说明：

1、支撑架；

101、底座；102、支撑部；103、悬臂；104、安装座；1041、第一通孔；1042、第二通孔；1043、螺纹孔；1044、挡圈；

2、支撑架前盖板；

3、支撑架上盖板；

4、光纤接头；

5、锁紧螺母；

501、第三通孔；502、卡槽；

6、扳手；

601、外伸臂；602、卡块；

7、三角架；

8、光纤；

9、压线板；

10、镜头；

11、调位螺钉。

具体实施方式

为详细说明本申请可能的应用场景，技术原理，可实施的具体方案，能实现目的与效果等，以下结合所列举的具体实施例并配合附图详予说明。本文所记载的实施例仅用于更加清楚地说明本申请的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本申请的保护范围。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中各个位置出现的“实施例”一词并不一定指代相同的实施例，亦不特别限定其与其它实施例之间的独立性或关联性。原则上，在本申请中，只要不存在技术矛盾或冲突，各实施例中所提到的各项技术特征均可以以任意方式进行组合，以形成相应的可实施的技术方案。

除非另有定义，本文所使用的技术术语的含义与本申请所属技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文中对相关术语的使用只是为了描述具体的实施例，而不是旨在限制本申请。

在本申请的描述中，用语“和/或”是一种用于描述对象之间逻辑关系的表述，表示可以存在三种关系，例如A和/或B，表示：存在A，存在B，以及同时存在A和B这三种情况。另外，本文中字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的逻辑关系。

在本申请中，诸如“第一”和“第三”之类的用语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何实际的数量、主次或顺序等关系。

在没有更多限制的情况下，在本申请中，语句中所使用的“包括”、“包含”、“具有”或者其他类似的表述，意在涵盖非排他性的包含，这些表述并不排除在包括所述要素的过程、方法或者产品中还可以存在另外的要素，从而使得包括一系列要素的过程、方法或者产品中不仅可以包括那些限定的要素，而且还可以包括没有明确列出的其他要素，或者还包括为这种过程、方法或者产品所固有的要素。

与《审查指南》中的理解相同，在本申请中，“大于”、“小于”、“超过”等表述理解为不包括本数；“以上”、“以下”、“以内”等表述理解为包括本数。此外，在本申请实施例的描述中“多个”的含义是两个以上(包括两个)，与之类似的与“多”相关的表述亦做此类理解，例如“多组”、“多次”等，除非另有明确具体的限定。

在本申请实施例的描述中，所使用的与空间相关的表述，诸如“中心”“纵向”“横向”“长度”“宽度”“厚度”“上”“下”“前”“后”“左”“右”“竖直”“水平”“垂直”“顶”“底”“内”“外”“顺时针”“逆时针”“轴向”“径向”“周向”等，所指示的方位或位置关系是基于具体实施例或附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请的具体实施例或便于读者理解，而不是指示或暗示所指的装置或部件必须具有特定的位置、特定的方位、或以特定的方位构造或操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。

除非另有明确的规定或限定，在本申请实施例的描述中，所使用的“安装”“相连”“连接”“固定”“设置”等用语应做广义理解。例如，所述“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体设置；其可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是通信连接；其可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；其可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本申请所属技术领域的技术人员而言，可以根据具体情况理解上述用语在本申请实施例中的具体含义。

自动光学薄膜厚度测绘仪一般由测绘主机、测绘平台、光纤8及上位机软件搭建而成，测绘主机包括系统和光源，测绘平台包括测试平台和镜头10 固定装置，光纤8通过光纤接头4连接光源和镜头10，搭建平台时需要镜头 10垂直与测试平台平面。

光学薄膜测厚仪的特点是非接触,非破坏方式测量，无需样品的前处理，测量原理如下：在测量的薄膜上垂直照射卤素灯及紫外灯光线，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象，利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。

请参阅图1至图8，本实施例提供自动光学薄膜厚度测绘仪镜头10固定装置，其特征在于；包括支撑架1、锁紧螺母5和调位螺钉11；

如图1和图2所示，支撑架1包括底座101、支撑部102、悬臂103和安装座104，支撑部102竖直连接在底座101上，悬臂103连接在支撑部102的顶部，安装座104连接在悬臂103远离支撑部102的一端底部，第一通孔1041 设置在安装座104上，本实施例中底座101、支撑部102、悬臂103和安装座 104为一体制造成，可以确保整体的精度，避免多个部件相互连接导致误差，在底座101上设有四个安装孔，用于将底座101固定在测试平台上，安装座 104为圆柱型，如图3至图5所示，在安装座104内设有轴线垂直与测试平台的竖直的第一通孔1041，第一通孔1041内设有内螺纹，第一通孔1041的底部设有挡圈1044，挡圈1044同样为与支撑架1整体制成，挡圈1044上设有第二通孔1042，第二通孔1042与第一通孔1041同轴设置，第二通孔1042的直径小于第一通孔1041，如图3所示，挡圈1044上沿周向均布有三个螺纹孔143，从下往上看，三个螺纹孔143的圆心位于第一通孔1041的内圆上。

进一步地，如图1所示，悬臂103上侧和支撑部102前侧设有线槽，线槽用于安装定位光纤8线路，线槽每隔一段距离还设有一个压线板9，压线板 9用于固定光纤8，可以避免光纤8线路晃动，影响光线的初射角度，导致测量误差。更进一步地，为了保持支撑架1的稳定性，以提高支撑架1的精度，在支撑部102和悬臂103的拐角处设置有三角架7，三角架7由两个直角平面和两个肋板组成，正面投影为三角形，两个直角平面分别和支撑部102和悬臂103底部贴合，并通过螺栓连接在支撑部102和悬臂103上，以增强悬臂 103的强度，减小悬臂103的变形量，达到控制精度的目的。

如图2所示，自动光学薄膜厚度测绘仪镜头10固定装置还包括支撑架上盖板3，支撑架上盖板3通过螺栓连接的方式安装在悬臂103上方，用于保护光纤8和镜头10，自动光学薄膜厚度测绘仪镜头10固定装置还包括支撑架前盖板2，支撑架前盖板2安装在支撑部102上远离安装座104的一侧(走光纤 8线路的一侧)。

调位螺钉11为沉头内六角或者内十字紧定螺钉，如图3至图5所示，调位螺钉11的数量与挡圈1044上的螺纹孔143数量相对应，调位螺钉11与挡圈1044上的螺纹孔143相适配，每个螺纹孔143上都设有一个调位螺钉11，即三个螺纹孔143上都连接着一个调位螺钉11。

如图3至图7所示，锁紧螺母5为圆环柱型，外圆面上设有外螺纹，锁紧螺母5的外螺纹与第一通孔1041的内螺纹相适配，锁紧螺母5内沿轴向设有第三通孔501(圆环柱型的内圆面)，第三通孔501的直径小于待安装的镜头10的直径，第三通孔501用于给光纤8及光纤接头4让位，进一步地，为了方便安装和调整锁紧螺母5，锁紧螺母5的顶部设有两个卡槽502，两个卡槽502相对与锁紧螺母5中轴线对称设置，对两个卡槽502施加相反的力(方向相反，且都与第一通孔1041内圆相切的力)，将提供一个选装力矩，来旋转锁紧螺母5，使得锁紧螺母5在螺纹副的作用下上移或者下移，为此，自动光学薄膜厚度测绘仪镜头10固定装置还提供了一种扳手6作为专用工具，如图8所示，扳手6包括把手、外伸臂601和卡块602，在把手的一段设有两个外伸臂601，两个外伸臂601之间的间距大于锁紧螺母5第三通孔501的直径，在两个外伸臂601的底部设有两个卡块602，两个卡块602和锁紧螺母5上的卡槽502相适配，由于两个外伸臂601之间有给光纤8让位的空间，所以在调整锁紧螺母5时无需拆卸光纤8，可以做到实时调整，大大降低调整难度和流程。

安装时，首先将支撑架1的底座101安装在测试平台上，通过扳手6将锁紧螺母5从安装座104内的第一通孔1041内旋出，然后将镜头10放入第一通孔1041内，镜头10底部抵触到三个调整螺钉顶部，通过三个调整螺钉支撑镜头10，然后通过扳手6旋入锁紧螺母5，直到锁紧螺母5底部抵触到镜头10，达到固定镜头10的目的，固定好镜头10后，通过压线板9将带有光纤接头4的光纤8固定到支撑架1上的线槽内(接头处需要留有余量)，然后将光纤接头4插入镜头10顶部的接口内，最后将光纤接头4另一端接入主机内进行测试即可。

测试过程中，镜头10为聚焦镜，需要调整焦距时，上下移动镜头10即可，具体做法为；上移镜头10时，先用扳手6转动锁紧螺母5，使得锁紧螺母5上移，锁紧螺母5底部脱离镜头10顶部，然后旋紧调位螺钉11，使得三个调位螺钉11上移，直至镜头10顶部抵触到锁紧螺母5的底部，完成镜头 10固定和调焦距；下移镜头10时，先旋松调位螺钉11，使得三个调位螺钉 11下移，镜头10顶部脱离锁紧螺母5底部，然后用扳手6转动锁紧螺母5，使得锁紧螺母5下移，直至镜头10顶部抵触到锁紧螺母5的底部，完成镜头 10固定和调焦距，最后盖上支撑架上盖板3和支撑架前盖板2。全程调平过程无需对机构进行拆解，实现测试定标时可动态调节，可以无级调节聚焦高度，支持25-55MM的聚焦高度无级调节。

镜头10为准直镜时，需要调整准直镜水平角度时，以确保光线垂直照射到测试平台上时，通过调整三个调位螺钉11与准直镜底部的接触处高度，通过三点平面调节法，调整镜头10底部平面倾斜角度，直到准直镜底部与外部测试平台平行，最后盖上支撑架上盖板3和支撑架前盖板2。全程调平过程无需对机构进行拆解，即可10度环绕调节范围，实现测试定标时可动态调节，从而降低了装配误差要求提高了生产效率。有利于保证整体探测精度，无需针对装配提出更高的要求，对生产环节要求降低，且提高生产效率，无需拆解检测架，可直接无损调节。

在另一些实施例中，自动光学薄膜厚度测绘仪镜头10固定装置还包括测试平台，支撑架1连接在测试平台上。通过配置在测试平台，可以避免自动光学薄膜厚度测绘仪镜头10固定装置与其他平台不兼容，同时也可避免安装不规范导致精度降低。

在另一些实施例中，自动光学薄膜厚度测绘仪镜头10固定装置还包括光纤8、光纤接头4和镜头10，镜头10连接在锁紧螺母5和紧盯螺钉之间，光纤接头4连接在镜头10顶部，光纤8连接在光纤接头4上，可实现即安即用，方便快捷。

在另一些实施例中，挡圈1044上沿周向均布有四个螺纹孔143，调位螺钉11的数量与挡圈1044上的螺纹孔143数量相对应，每个螺纹孔143上都设有一个调位螺钉11，通过多点支撑在确定平面同时还可增加支撑的稳定性，当然挡圈1044上螺纹孔143的数量和调位螺钉11的数量并不限与三个或者四个。

在其他一些实施例中，底座101、支撑部102、悬臂103和安装座104为分体式设计，可以通过更换部件来适配不同的使用情况。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。

Claims (10)

1.自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，其特征在于；包括支撑架、锁紧螺母和调位螺钉；

所述支撑架上设有竖直的第一通孔，所述第一通孔内设有内螺纹，所述第一通孔的底部设有挡圈，所述挡圈上设有第二通孔，所述第二通孔与第一通孔同轴设置，所述第二通孔的直径小于第一通孔，所述挡圈上沿周向均布有三个以上螺纹孔；

所述调位螺钉的数量与挡圈上的螺纹孔数量相对应，每个螺纹孔上都设有一个调位螺钉；

所述锁紧螺母连接在第一通孔内，锁紧螺母上设有外螺纹，锁紧螺母的外螺纹与第一通孔的内螺纹相适配，所述锁紧螺母内沿轴向设有第三通孔。

2.根据权利要求1所述的自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，其特征在于；所述锁紧螺母顶部设有两个卡槽，两个卡槽相对与锁紧螺母中轴线对称设置。

3.根据权利要求2所述的自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，其特征在于；所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括扳手，所述扳手上设有两个外伸臂，两个外伸臂的底部分别设有一个卡块，两个卡块与锁紧螺母顶部的两个卡槽相适配。

4.根据权利要求1所述的自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，其特征在于；所述支撑架包括底座、支撑部、悬臂和安装座，所述支撑部竖直连接在底座上，所述悬臂连接在支撑部的顶部，所述安装座连接在悬臂远离支撑部的一端底部，所述第一通孔设置在安装座上。

5.根据权利要求4所述的自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，其特征在于；所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括支撑架上盖板和支撑架前盖板，所述支撑架上盖板安装在悬臂上方，所述支撑架前盖板安装在支撑部上远离安装座的一侧。

6.根据权利要求4所述的自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，其特征在于；所述支撑架的底座、支撑部、悬臂和安装座为一体式制成。

7.根据权利要求4所述的自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，其特征在于；所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括压线板，所述压线板设有多个，分别连接在支撑部前方和悬臂上方。

8.根据权利要求4所述的自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，其特征在于；所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括三角架，所述三角架分别和支撑部和悬臂相连接。

9.根据权利要求1所述的自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，其特征在于；所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括光纤、光纤接头和镜头，所述镜头连接在锁紧螺母和紧盯螺钉之间，所述光纤接头连接在镜头顶部，所述光纤连接在光纤接头上。

10.根据权利要求1所述的自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置，其特征在于；所述自动光学薄膜厚度测绘仪准直镜固定装置还包括测试平台，所述支撑架连接在测试平台上。

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