CN218723881U - 一种激光干涉仪测量对镜工装 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种激光干涉仪测量对镜工装及方法，所述工装包括底板和调节机构；所述底板上包括激光干涉仪固定区域、镜组固定区域；所述调节机构和所述底板连接用于支撑所述底板，所述工装布置在水平基准面上时，所述调节机构还用于调节所述底板所处高度和水平度；所述激光干涉仪固定区域用于安装固定激光干涉仪，所述镜组固定区域用于安装固定镜组，所述镜组包括线性分光镜和两个线性反射镜，安装固定后激光干涉仪发射镜头与镜组中的线性分光镜位于同一直线上，激光干涉仪射出光线通过安装在线性分光镜上的线性反射镜反射顺利返回发射点。有益效果是精简对镜步骤，缩短对镜时间。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及辅助测量装置技术领域，具体涉及一种激光干涉仪测量对镜工装。
【背景技术】
激光干涉仪是一种基于激光技术，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量仪器。
分光镜泛指分束镜(Beam splitter)，是一个可以将一束光分成多束的光学装置，通常由光学玻璃镀膜而成。
现阶段我国制造业向着自动化、智能化和更高精度发展，激光干涉仪的应用将会越来越广泛，越来越普及；现在激光干涉仪常用于以激光作为长度测量基准，对数控加工设备的位置精度(定位精度、重复定位精度等)、几何精度(直线度、垂直度等)进行精密测量的高精度测量仪器。
然而在使用激光干涉仪进行测量补偿的过程中，不仅对于周边环境要求很高，而且要求操作人员对于布置及镜组安装校对工作高度熟练。在使用用激光干涉仪测量数控机床各直线运动的轴的定位误差实际操作过程中，经常会花费大量时间用于对镜校准，因此迫切需要一种简易化的设备精简对镜步骤，缩短对镜时间，从而提高效率、降低成本。
本实用新型针对激光干涉仪测量对镜校准花费大量时间的技术特点，对激光干涉仪测量对镜工装及方法进行了技术改进。
【发明内容】
本实用新型的目的是，提供一种精简对镜步骤，缩短对镜时间的激光干涉仪测量对镜工装。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是一种激光干涉仪测量对镜工装，包括底板和调节机构；所述底板上包括激光干涉仪固定区域、镜组固定区域；所述调节机构和所述底板连接用于支撑所述底板，所述工装布置在水平基准面上时，所述调节机构还用于调节所述底板所处高度和水平度；所述激光干涉仪固定区域用于安装固定激光干涉仪，所述镜组固定区域用于安装固定镜组，所述镜组包括线性分光镜和两个线性反射镜，安装固定后激光干涉仪发射镜头与镜组中的线性分光镜位于同一直线上，激光干涉仪射出光线通过安装在线性分光镜上的线性反射镜反射顺利返回发射点。
优选地，所述调节机构包括若干调节螺栓和若干调节底座；所述底板上还包括若干螺栓孔；所述若干调节螺栓分别穿过底板上的若干螺栓孔与所述若干调节底座相连，用于支撑所述工装，旋转所述调节螺栓调节所述底板所处高度和水平度。
优选地，所述激光干涉仪通过螺栓安装固定在激光干涉仪固定区域，所述线性分光镜通过螺栓安装固定在镜组固定区域，所述线性反射镜通过长固定螺栓和所述线性分光镜紧密连接。
本实用新型的又一目的是，提供一种精简对镜步骤，缩短对镜时间的激光干涉仪测量对镜方法。
为实现上述又一目的，本实用新型采取的技术方案是一种激光干涉仪测量对镜方法，基于上述的一种激光干涉仪测量对镜工装，包括以下步骤：
S1、将激光干涉仪用相应螺栓固定在激光干涉仪固定区域；
S2、将线性反射镜按照第一方向测量安装要点，通过长固定螺栓紧密连接在线性分光镜的第二方向，将线性分光镜通过相应螺栓固定在镜组固定区域，安装后激光干涉仪发射镜头与线性分光镜位于同一直线上；
S3、将所述工装放置于水平基准面上，用水平仪检查水平度，通过调节机构调节水平；
S4、将另一线性反射镜安装在所需测量的第一方向轴上，使激光干涉仪射出光线能顺利返回发射点。
优选地，所述的一种激光干涉仪测量对镜方法，使用所述工装进行水平测量，所述第一方向是水平方向，所述第二方向是垂直方向。
优选地，所述的一种激光干涉仪测量对镜方法，使用所述工装进行垂直测量，所述第一方向是垂直方向，所述第二方向是水平方向。
本实用新型一种激光干涉仪测量对镜工装及方法与现有技术相比有益效果是：简化测量前对镜工作，大幅缩短测量前布置时间，提高激光干涉仪工作效率、降低成本，同时提高测量结果准确性。
【附图说明】
图1是一种激光干涉仪测量对镜工装立体示意图。
图2是一种激光干涉仪测量对镜工装水平测量安装图。
图3是一种激光干涉仪测量对镜工装垂直测量安装图。
附图中涉及的附图标记和组成部分如下所示：1、底板，2、调节螺栓，3、调节底座，4、激光干涉仪固定区域，5、镜组固定区域，6、激光干涉仪，7、线性分光镜，8、线性反光镜。
【具体实施方式】
下面结合实施例并参照附图对本实用新型作进一步描述。
实施例1
本实施例实现一种激光干涉仪测量对镜工装。
本实施例一种激光干涉仪测量对镜工装，可以做到简化测量前对镜工作，大幅缩短测量前布置时间，提高激光干涉仪工作效率。
图1是一种激光干涉仪测量对镜工装立体示意图。如附图1所示，本实施例一种激光干涉仪测量对镜工装，包含底板1、若干调节螺栓2和若干调节底座3；所述底板1上包括激光干涉仪固定区域4、镜组固定区域5和若干螺栓孔；各个调节螺栓2穿过底板1上特定位置螺栓孔与各个调节底座3相连。底板1有激光干涉仪固定区域4、镜组固定区域5的一面向上；调节螺栓2通过底板1上的螺栓孔与调节底座3连接；整个工装需布置在水平基准面上，底板1下平面和水平基准面平行。
本实施例一种激光干涉仪测量对镜工装，底板1上有激光干涉仪固定区域4，可使用相应固定螺栓与激光干涉仪6紧密连接。底板1上有镜组固定区域5，可使用相应固定螺栓与线性分光镜紧密连接。调节螺栓2和调节底座3可对整个装置起到支撑作用，旋转调节螺栓2可以调节底板1所处高度和水平度。
实施例2
本实施例实现一种激光干涉仪测量对镜方法。本实施例一种激光干涉仪测量对镜方法，使用实施例1所述的一种激光干涉仪测量对镜工装。
图2是一种激光干涉仪测量对镜工装水平测量安装图。如附图2所示，本实施例一种激光干涉仪测量对镜方法，使用实施例1工装进行水平测量时，首先将激光干涉仪6用相应螺栓固定在底板1上的激光干涉仪固定区域4。再将线性分光镜7与线性反射镜8按照水平测量时安装要点，通过长固定螺栓紧密连接，然后安装在镜组固定区域5。安装后激光干涉仪6发射镜头与镜组中的线性分光镜7已位于同一直线上。将整个实施例1工装放置于水平基准面上，用简易水平仪检查装置水平度，如果不满足水平要求可以通过调节螺栓调节水平。最后将另一线性反射镜8安装在所需测量的水平轴上，使激光干涉仪6射出光线能顺利返回接受点。以上激光干涉仪6完成水平测量对镜工作。
图3是一种激光干涉仪测量对镜工装垂直测量安装图。如附图3所示，与实施例1工装水平测量安装不同的是，需根据测量方向将镜组按图示进行重新组装，再固定到镜组固定区域5。具体而言，本实施例一种激光干涉仪测量对镜方法，使用实施例1工装进行垂直测量时，首先将激光干涉仪6用相应螺栓固定在底板1上的激光干涉仪固定区域4。再将线性分光镜7与线性反射镜8按照垂直测量时安装要点，通过长固定螺栓紧密连接，然后安装在镜组固定区域5。安装后激光干涉仪6发射镜头与镜组中的线性分光镜7已位于同一直线上。将整个实施例1工装放置于水平基准面上，用简易水平仪检查装置水平度，如果不满足水平要求可以通过调节螺栓调节水平。最后将另一线性反射镜8安装在所需测量的垂直轴上，使激光干涉仪6射出光线能顺利返回接受点。以上激光干涉仪6完成垂直测量对镜工作。
本实施例一种激光干涉仪测量对镜方法，激光干涉仪测量辅助装置，精简对镜步骤，缩短对镜时间，提高测量效率，同时提高测量结果准确性。
本实施例一种激光干涉仪测量对镜方法，可实现数控设备用激光干涉仪测量时快速对镜，使得在测量操作中更加方便快捷，提高了生产效率和经济效益。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和补充，这些改进和补充也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种激光干涉仪测量对镜工装，其特征在于：包括底板(1)和调节机构；所述底板(1)上包括激光干涉仪固定区域(4)、镜组固定区域(5)；所述调节机构和所述底板(1)连接用于支撑所述底板(1)，所述工装布置在水平基准面上时，所述调节机构还用于调节所述底板(1)所处高度和水平度；所述激光干涉仪固定区域(4)用于安装固定激光干涉仪(6)，所述镜组固定区域(5)用于安装固定镜组，所述镜组包括线性分光镜(7)和两个线性反射镜(8)，安装固定后激光干涉仪(6)发射镜头与镜组中的线性分光镜(7)位于同一直线上，激光干涉仪(6)射出光线通过安装在线性分光镜(7)上的线性反射镜(8)反射顺利返回发射点。
2.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪测量对镜工装，其特征在于：所述调节机构包括若干调节螺栓(2)和若干调节底座(3)；所述底板(1)上还包括若干螺栓孔；所述若干调节螺栓(2)分别穿过底板(1)上的若干螺栓孔与所述若干调节底座(3)相连，用于支撑所述工装，旋转所述调节螺栓(2)调节所述底板(1)所处高度和水平度。
3.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪测量对镜工装，其特征在于：所述激光干涉仪(6)通过螺栓安装固定在激光干涉仪固定区域(4)，所述线性分光镜(7)通过螺栓安装固定在镜组固定区域(5)，所述线性反射镜(8)通过长固定螺栓和所述线性分光镜(7)紧密连接。
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| CN202222842940.8U CN218723881U (zh) | 2022-10-27 | 2022-10-27 | 一种激光干涉仪测量对镜工装 |
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| CN202222842940.8U Active CN218723881U (zh) | 2022-10-27 | 2022-10-27 | 一种激光干涉仪测量对镜工装 |
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2022
- 2022-10-27 CN CN202222842940.8U patent/CN218723881U/zh active Active
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