CN217755279U - 一种单晶棒托盘清理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶棒托盘清理装置，包括布置在输送线上的支架，支架内水平布置有一转框，转框的一对平行框边上伸出有转轴，支架上布置有转轴穿过的安装孔，支架上布置有驱动转轴转动的驱动组件，转框上布置有一条放置托盘的辊道，辊道输送方向与输送线输送方向一致，转框上布置有用于支撑托盘的压板，压板位于辊道上方且布置在辊道两侧，支架上布置有吹扫组件，吹扫组件位于转框的下方。本实用新型中将空托盘翻转后吹扫，将托盘上的异物去除，避免出现异物粘附在晶棒上的现象。

Description

一种单晶棒托盘清理装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产线领域，尤其涉及一种单晶棒托盘清理装置。

背景技术

为了减少工人数量，降低工人劳动强度，达到少人化、自动化、信息化的智能制造工厂建设。拆包输送线包含提升机、主输送线、库前线等，该设备可以实现晶棒自动从整包晶棒线输送到晶楼库的工作。放置在托盘上的晶棒通过地面输送线输送到提升机上，再通过提升机输送到拆包输送线上，通过输送线输送到库前输送线，库前输送线将晶棒输送到晶棒库。

现有库前线没有单晶棒托盘内异物自动清理功能，单晶检测完成后，机器人将检测合格的单晶进行下放时，存在因异物影响造成单晶检测异常的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶棒托盘清理装置。

本实用新型的创新点在于将空托盘翻转后吹扫，将托盘上的异物去除，避免出现异物粘附在晶棒上的现象。

为实现上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是：

一种单晶棒托盘清理装置，其特征在于，包括布置在输送线上的支架，支架内水平布置有一转框，转框的一对平行框边上伸出有转轴，支架上布置有转轴穿过的安装孔，支架上布置有驱动转轴转动的驱动组件，转框上布置有一条放置托盘的辊道，辊道输送方向与输送线输送方向一致，转框上布置有用于支撑托盘的压板，压板位于辊道上方且布置在辊道两侧，支架上布置有吹扫组件，吹扫组件位于转框的下方。

输送线的空托盘被输送至辊道上，驱动组件驱动转框转动，将托盘转动至背面，托盘工作面上的异物自然掉落，吹扫组件对粘附在托盘工作面的异物清理，清理完成后，驱动组件带动转框复位，辊道将托盘继续输送，避免出现异物粘附在晶棒上的现象，影响后续工序对晶棒的检测。

进一步地，压板位于辊道的入口一侧布置有喇叭口。喇叭口便于将托盘送入辊道与压板之间。

进一步地，吹扫组件包括固定在支架上的风刀，风刀布置在沿辊道输送方向布置在辊道两侧的下方，两风刀的刀口朝上布置且向内侧倾斜。通过风刀吹托盘表面，使粘附在托盘表面的异物掉落在废渣收集盒上，风刀吹扫效果效果好。

进一步地，支架上布置有废渣收集盒，废渣收集盒位于吹扫组件下方。便于将废渣收集后定期处理，提升工人的工作环境。

进一步地，支架上固定有扫码器，扫码器位于转框的上方，扫码器的工作头朝向辊道。托盘上布置有二维码，二维码为每个托盘的身份证，扫码器可以识别该托盘，确认托盘在流水线上循环过次数，当托盘循环到预定次数时，提醒该托盘需要被清扫，扫码器可以用于判断该托盘是否需要清扫。

进一步地，辊道包括布置在转框内的一排具有内置电机的滚筒；驱动机构包括固定在支架上的驱动电机，驱动电机的输出轴和转框的转轴上布置有带轮，两带轮通过皮带连接；驱动电机、扫码器、内置电机均电信号连通。当托盘需要被清扫时，驱动电机通过皮带带动转轴转动，转框转动，当托盘不需要被清扫时，内置电机驱动滚筒转动，将托盘送出，结构简单，自动化程度高。

进一步地，转框上布置有若干压紧托盘用旋转夹紧气缸，旋转夹紧气缸布置在辊道两侧。用旋转夹紧气缸夹紧后再将托盘翻转，可以避免出现转框在翻转后，吹扫组件吹扫托盘，避免托盘掉落，减小托盘被吹扫时发出的噪音。

进一步地，支架上布置有转轴插入的轴承座。轴承座与转轴连接紧密、磨损小，使用寿命长。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中将空托盘翻转后吹扫，将托盘上的异物去除，避免出现异物粘附在晶棒上的现象。

2、本实用新型中喇叭口便于将托盘送入辊道与压板之间。

3、本实用新型中使用扫码器扫托盘上的二维码，判断托盘是否需要清理。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的另一侧面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例1：如图1、2所示，一种单晶棒托盘清理装置，包括布置在输送线上的支架1，支架1内水平布置有一转框2，转框2的一对平行框边上伸出有转轴2.1，支架1上布置有转轴2.1穿过的安装孔1.1，支架1上布置有转轴插入的轴承座3，支架1上布置有驱动转轴2.1转动的驱动组件4，驱动机构4包括固定在支架1上的驱动电机4.1，驱动电机4.1的输出轴和转框的转轴2.1上布置有带轮4.2，两带轮4.2通过皮带4.3连接，转框2上布置有一条放置托盘5的辊道6，辊道6输送方向与输送线输送方向一致，辊道6包括布置在转框2内的一排具有内置电机的滚筒6.1，转框2上布置有用于支撑托盘5的压板7，压板7位于辊道6上方且布置在辊道6两侧，压板7位于辊道的入口一侧布置有喇叭口7.1，转框2上布置有若干压紧托盘5用旋转夹紧气缸10，旋转夹紧气缸10布置在辊道6两侧；支架1上布置有吹扫组件8，吹扫组件8位于转框的下方，吹扫组件8包括固定在支架上的风刀8.1，风刀8.1布置在沿辊道6输送方向布置在辊道6两侧的下方，两风刀8.1的刀口朝上布置且向内侧倾斜；支架上1布置有废渣收集盒11，废渣收集盒11位于吹扫组件8下方；支架1上固定有扫码器9，扫码器9位于转框2的上方，扫码器9的工作头朝向辊道，驱动电机4.1、扫码器9、内置电机均电信号连通。

工作时，输送线将托盘输送至辊道6上，扫码器9对托盘5上的二维码进行扫码，该托盘5如若达到设定循环次数时，需要进行清扫，旋转夹紧气缸10夹住托盘5两侧，驱动电机4.1带动带轮4.2转动，转轴2.1在皮带4.3的牵引下转动，转框2旋转180°，托盘5朝下，托盘5通过压板7支撑，风刀8.1吹扫托盘5，托盘5上垃圾掉入废渣收集盒11内，后续工作人员定期清理废渣收集盒11，驱动电机4.1再次工作，托盘5复位，然后内置电机的滚筒6.1转动，将托盘5送回输送线。

所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

Claims (8)

1.一种单晶棒托盘清理装置，其特征在于，包括布置在输送线上的支架，支架内水平布置有一转框，转框的一对平行框边上伸出有转轴，支架上布置有转轴穿过的安装孔，支架上布置有驱动转轴转动的驱动组件，转框上布置有一条放置托盘的辊道，辊道输送方向与输送线输送方向一致，转框上布置有用于支撑托盘的压板，压板位于辊道上方且布置在辊道两侧，支架上布置有吹扫组件，吹扫组件位于转框的下方。

2.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置，其特征在于，压板位于辊道的入口一侧布置有喇叭口。

3.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置，其特征在于，所述吹扫组件包括固定在支架上的风刀，风刀布置在沿辊道输送方向布置在辊道两侧的下方，两风刀的刀口朝上布置且向内侧倾斜。

4.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置，其特征在于，支架上布置有废渣收集盒，废渣收集盒位于吹扫组件下方。

5.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置，其特征在于，支架上固定有扫码器，扫码器位于转框的上方，扫码器的工作头朝向辊道。

6.根据权利要求5所述的单晶棒托盘清理装置，其特征在于，所述辊道包括布置在转框内的一排具有内置电机的滚筒；驱动机构包括固定在支架上的驱动电机，驱动电机的输出轴和转框的转轴上布置有带轮，两带轮通过皮带连接；驱动电机、扫码器、内置电机均电信号连通。

7.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置，其特征在于，转框上布置有若干压紧托盘用旋转夹紧气缸，旋转夹紧气缸布置在辊道两侧。

8.根据权利要求1所述的单晶棒托盘清理装置，其特征在于，支架上布置有转轴插入的轴承座。

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