CN217755034U - 一种电子级湿化学品供液装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及化工技术领域，公开了一种电子级湿化学品供液装置，包括供液桶、使用管道和清洗管道，所述供液桶连接有进气管道、排气管道、供液管道，所述供液管道上设有供液泵，所述使用管道和清洗管道均与供液管道连接。本实用新型同时具备供液、管道清洗、壳体内取样等功能，满足了半导体制造对于原料洁净度的要求，并设置了漏液传感器和开关传感器，保证操作的安全性，符合半导体厂家的使用要求，大大简化了供液方式。

Description

一种电子级湿化学品供液装置

技术领域

本实用新型涉及化工技术领域，尤其涉及一种电子级湿化学品供液装置。

背景技术

随着半导体制造业的发展，电子级湿化学品如氢氟酸、硝酸、硫酸等将逐步应用于半导体产业，而半导体行业由于其自身的独特性，对高纯原料的要求较为苛刻，且原料在正式进入半导体制程之前需通过多次严格的测试，因此需要一种既能满足半导体要求，又使用方便的电子级湿化学品供液装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的技术问题，本实用新型提供了一种电子级湿化学品供液装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电子级湿化学品供液装置，包括供液桶，还包括使用管道和清洗管道，所述供液桶连接有进气管道、排气管道、供液管道，所述供液管道上设有供液泵，所述使用管道和清洗管道均与供液管道连接。

优选的，所述进气管道上设有进气阀，所述排气管道上设有排气阀，所述使用管道上设有使用阀，所述清洗管道上设有清洗阀。

优选的，所述供液管道上设有供液阀一和供液阀二，所述供液泵设于供液阀一和供液阀二之间。

优选的，所述供液管道上设有过滤器一。

优选的，所述清洗管道连接有清洗桶。

优选的，还包括取样管道，所述取样管道与清洗管道连接，取样管道上设有取样阀。

优选的，还包括壳体和过滤器二，所述供液桶、供液泵、过滤器二均设于壳体内。

优选的，所述壳体采用PP材质，所述进气管道、排气管道、供液管道、取样管道均采用PFA材质。

优选的，所述壳体上设有柜门和开关传感器，壳体内设有声光报警器。

优选的，所述壳体内设有漏液传感器和漏液输送泵，壳体上设有外排口。

本实用新型还包括能够使一种电子级湿化学品供液装置正常使用的其它组件，均为本领域的常规技术手段。另外，本实用新型中未加限定的装置或组件均采用本领域中的常规技术手段。

本实用新型同时具备供液、管道清洗、壳体内取样等功能，满足了半导体制造对于原料洁净度的要求，并设置了漏液传感器和开关传感器，保证操作的安全性，符合半导体厂家的使用要求，大大简化了供液方式。

附图说明

图1是本实施例的结构示意图。

图中：1供液桶、2使用管道、3清洗管道、4进气管道、5排气管道、6供液管道、7供液泵、8供液阀一、9供液阀二、10清洗阀、11过滤器一、12取样管道、13壳体、14过滤器二、15漏液传感器、16外排口、17取样口。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例

参见图1，一种电子级湿化学品供液装置，包括供液桶1、使用管道2和清洗管道3，所述供液桶1连接有进气管道4、排气管道5、供液管道6，所述供液管道6上设有供液泵7，所述使用管道2和清洗管道3均与供液管道6连接。

所述进气管道4上设有进气阀，所述排气管道5上设有排气阀，所述使用管道2上设有使用阀，所述清洗管道3上设有清洗阀10。

所述供液管道6上设有供液阀一8和供液阀二9，所述供液泵7设于供液阀一8和供液阀二9之间。

所述供液管道6上设有过滤器一11。

所述清洗管道3连接有清洗桶。

本实施例还包括取样管道12，所述取样管道12与清洗管道3连接，取样管道12上设有取样阀。

本实施例还包括壳体13和过滤器二14，所述供液桶1、供液泵7、过滤器二14均设于壳体13内。

所述壳体13采用PP材质，所述进气管道4、排气管道、供液管道6、取样管道12均采用PFA材质。

所述壳体13上设有柜门和开关传感器(图中未示出)，壳体13内设有声光报警器(图中未示出)。

所述壳体13内设有漏液传感器15和漏液输送泵，壳体13上设有外排口16。

本实施例中，进气阀、排气阀、使用阀、清洗阀10、供液阀一8、供液阀二9、取样阀、过滤器一11、过滤器二14均设于壳体13内；进气阀、排气阀、使用阀、清洗阀10、供液阀一8、供液阀二9、取样阀均选用气动隔膜阀；过滤器一选用FILTER液体过滤器(内装滤芯)，过滤器二选用HEPA高效过滤器；供液泵7采用高纯材质气动隔膜泵；供液阀二9设有两个；壳体13上设有与取样管道12连接的取样口17；使用管道2将液体原料送至使用点。

本实用新型的工作原理为：

(1)管道清洗：当本装置第一次使用或者长时间未使用再次使用时，需要在供液之前清洗管道3，否则管道内的杂质会混入液体中，影响原料的洁净度；管道清洗时，打开进气阀、供液阀一8、供液阀二9、清洗阀10，关闭排气阀、使用阀和取样阀，启动供液泵7，供液桶1内的液体对管道进行充分清洗，清洗后的废液通过清洗桶收集，与此同时通过进气管道4向供液桶1内补充氮气，防止供液桶1被抽瘪。

(2)取样：管道清洗后，需要取样以验证是否清洗合格，取样时，打开进气阀、供液阀一8、供液阀二9、清洗阀10、取样阀，关闭排气阀、使用阀，在清洗管道3的同时进行取样。

(3)供液：取样分析合格，满足半导体使用要求后，可以进行供液。供液时，打开进气阀、供液阀一8、供液阀二9、使用阀，关闭排气阀、清洗阀10、取样阀，启动供液泵7，供液桶1内的液体经使用管道2进入使用点，实现供液。

在供液过程中，如果未停止供液泵7而打开柜门，开关传感器检测到开门信号，并发出信号使声光报警器报警提醒工作人员；如果供液桶1内液体漏出或者溢出，漏液传感器15检测到漏液信号，并发出信号使漏液输送泵启动，将漏出或流出的液体从外排口16及时排出，同时漏液传感器15发出信号使声光报警器报警。

壳体13内的过滤器二14用于过滤空气中的杂质，保证壳体13内环境的洁净度和取样环境不受外界影响。

本实用新型同时具备供液、管道清洗、壳体内取样等功能，满足了半导体制造对于原料洁净度的要求，并设置了漏液传感器和开关传感器，保证操作的安全性，符合半导体厂家的使用要求，大大简化了供液方式。

以上已经描述了本实用新型的实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的实施例。在不偏离所说明实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。

Claims (10)

1.一种电子级湿化学品供液装置，包括供液桶，其特征在于：还包括使用管道和清洗管道，所述供液桶连接有进气管道、排气管道、供液管道，所述供液管道上设有供液泵，所述使用管道和清洗管道均与供液管道连接。

2.根据权利要求1所述的一种电子级湿化学品供液装置，其特征在于：所述进气管道上设有进气阀，所述排气管道上设有排气阀，所述使用管道上设有使用阀，所述清洗管道上设有清洗阀。

3.根据权利要求1所述的一种电子级湿化学品供液装置，其特征在于：所述供液管道上设有供液阀一和供液阀二，所述供液泵设于供液阀一和供液阀二之间。

4.根据权利要求1所述的一种电子级湿化学品供液装置，其特征在于：所述供液管道上设有过滤器一。

5.根据权利要求1所述的一种电子级湿化学品供液装置，其特征在于：所述清洗管道连接有清洗桶。

6.根据权利要求1所述的一种电子级湿化学品供液装置，其特征在于：还包括取样管道，所述取样管道与清洗管道连接，取样管道上设有取样阀。

7.根据权利要求1所述的一种电子级湿化学品供液装置，其特征在于：还包括壳体和过滤器二，所述供液桶、供液泵、过滤器二均设于壳体内。

8.根据权利要求7所述的一种电子级湿化学品供液装置，其特征在于：所述壳体采用PP材质，所述进气管道、排气管道、供液管道、取样管道均采用PFA材质。

9.根据权利要求7所述的一种电子级湿化学品供液装置，其特征在于：所述壳体上设有柜门和开关传感器，壳体内设有声光报警器。

10.根据权利要求7所述的一种电子级湿化学品供液装置，其特征在于：所述壳体内设有漏液传感器和漏液输送泵，壳体上设有外排口。

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