CN217691075U - 一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，包括：甲酸压力桶、真空炉和惰性气体源，甲酸压力桶与惰性气体源通过第一通气管道相连接，第一通气管道一端位于甲酸压力桶内，并且与鼓泡器相连接；真空炉与甲酸压力桶通过第二通气管道相连接，第一通气管道上设置有电气比例阀。通过第一通气管道使惰性气体进入到装有甲酸液体的甲酸压力桶，通过鼓泡器发生鼓泡对甲酸液体进行搅拌，从而产生甲酸饱和气体，甲酸饱和气体通过第二通气管道进入真空炉，从而达到对真空炉内的金属氧化物还原的目的，电气比例阀根据控制信号的大小来调整阀芯的截面面积，从而达到对氮气流量的实时控制，以此来实时调节甲酸饱和气体的流量。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备领域，具体为一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置。
背景技术
在半导体晶圆与底板、晶圆与金属电路导体的焊接过程中，由于晶圆、底板、导体等金属或金属镀层表面被氧化，会导致用合金焊料进行焊接时无法可靠焊接，所以在焊料熔接前需要对金属氧化物进行还原。
现有的焊接设备在对金属氧化物的还原过程中，一般都是预先设定好气体流量，然后通入气体对金属氧化物进行还原，这样无法对金属氧化物的还原过程实现动态控制，容易造成气流量不足导致还原效果差，或者气体流量过多导致还原失败和浪费原料。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，克服了背景技术中现有技术手段无法对金属氧化物的还原过程实现动态控制，从而影响还原效果的缺点，
为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，包括：
甲酸压力桶，用于放置甲酸液体；
真空炉，用于金属氧化物还原的焊接炉；
惰性气体源，用于提供惰性气体；
所述甲酸压力桶与惰性气体源通过第一通气管道相连接，所述第一通气管道一端位于甲酸压力桶内，并且与鼓泡器相连接；所述真空炉与甲酸压力桶通过第二通气管道相连接，所述第一通气管道上设置有电气比例阀。
在一些可能的实施方式中，所述鼓泡器(6)包括与第一通气管道(5)连接的壳体(61)，所述壳体(61)内设置有与第一通气管道(5)连通的缓冲腔(62)，所述壳体(61)上均与分布有若干连通缓冲腔(62)和甲酸压力桶(2)的出气孔(63)。
在一些可能的实施方式中，所述第二通气管道上设置有开关调节阀，开关调节阀用于控制第二通气管道的通断，以控制甲酸压力桶和真空炉间的通断，当开关调节阀关闭时，真空炉和甲酸压力桶阻断；当开关调节阀打开时，真空炉和甲酸压力桶连通。
在一些可能的实施方式中，所述电气比例阀靠近所述惰性气体源的一侧。
在一些可能的实施方式中，所述第一通气管道上还设置有流量计，所述流量计靠近所述甲酸压力桶的一侧。
在一些可能的实施方式中，还包括PLC,所述PLC与电气比例阀连接。
在一些可能的实施方式中，所述流量计与PLC通讯连接。
在一些可能的实施方式中，所述第一通气管道和第二通气管道均能通过管接头进行加长。
在一些可能的实施方式中，所述PLC与计算机通讯连接。
本实用新型的有益效果在于，通过第一通气管道使惰性气体进入到装有甲酸液体的甲酸压力桶，通过鼓泡器发生鼓泡对甲酸液体进行搅拌，从而产生甲酸饱和气体，甲酸饱和气体通过第二通气管道进入真空炉，从而达到对真空炉内的金属氧化物还原的目的，电气比例阀根据控制信号的大小来调整阀芯的截面面积，从而达到对氮气流量的实时控制，以此来实时调节甲酸饱和气体的流量。
附图说明
图1为本申请实施例一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置的结构示意图；
图2为本申请实施例鼓泡器的截面示意图；
图3为本申请实施例鼓泡器的侧面示意图。
图中：1、真空炉；2、甲酸压力桶；3、惰性气体源；4、第二通气管道；5、第一通气管道；6、鼓泡器；7、开关调节阀；8、电气比例阀；9、流量计；10、PLC；11、计算机；61、壳体；62、缓冲腔；63、出气孔。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参见附图1所示，本实施例中的一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，包括：甲酸压力桶2，用于放置甲酸液体；真空炉1，用于金属氧化物还原的半导体焊接炉；惰性气体源3，用于提供惰性气体；所述甲酸压力桶2与惰性气体源3通过第一通气管道5相连接，所述第一通气管道5一端位于甲酸压力桶2内，并且与鼓泡器6相连接；所述真空炉1与甲酸压力桶2通过第二通气管道4相连接，所述第一通气管道5上设置有电气比例阀8，所述电气比例阀8靠近所述惰性气体源3的一侧。
惰性气体源3可为氮气源，压缩氮气通过第一通气管道5进入到装有甲酸液体的甲酸压力桶2，通过鼓泡器6发生鼓泡对甲酸液体进行搅拌，从而产生甲酸饱和气体，甲酸饱和气体通过第二通气管道4进入真空炉1，从而达到对真空炉1内的金属氧化物还原的目的，电气比例阀8根据控制信号的大小来调整阀芯的截面面积，从而达到对氮气流量的控制，以此来调节甲酸饱和气体的流量。
参照附图2和附图3所示，所述鼓泡器6包括与第一通气管道5连接的壳体61，所述壳体61内设置有与第一通气管道5连通的缓冲腔62，所述壳体61上均与分布有若干连通缓冲腔62和甲酸压力桶2的出气孔63。压缩氮气依次流经第一通气管道5和缓冲腔62，经缓冲腔62流出，然后通过出气孔63与甲酸压力桶2中的甲酸液体接触，对甲酸液体进行搅拌。
所述第二通气管道4上设置有开关调节阀7，开关调节阀7可以控制甲酸饱和气体进入真空炉1的通断。
所述第一通气管道5上还设置有流量计9，所述流量计9靠近所述甲酸压力桶2的一侧，流量计9用来实时监测并反馈甲酸的流量。
一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，还包括PLC(可编程逻辑控制器)10,所述PLC10与电气比例阀8连接，与流量计9通讯连接,与计算机11通讯连接。计算机11上设定甲酸流量，然后将甲酸流量的设定值发送给PLC10，PLC10根据流量计9反馈的值与设定值做比较，发出控制信号来实时调整电气比例阀8的输出压力，从而得到设定的甲酸流量。
所述第一通气管道5和第二通气管道4均能通过管接头进行加长，管接头根据需要对管道进行加长的同时方便了管道结构的拆卸，同时也方便对管道结构进行布局。
工作原理：
氮气通过第一通气管道5进入装有甲酸液体的甲酸压力桶2，通过鼓泡器6发生鼓泡对甲酸液体进行搅拌，产生甲酸饱和气体，开关调节阀7开启状态下，甲酸饱和气体通过第二通气管道4进入到真空炉1对金属氧化物进行还原，开关调节阀7关闭状态下，甲酸饱和气体停止进入真空炉1。
计算机11上设定甲酸流量，然后将甲酸流量的设定值给PLC10，PLC10根据流量计9反馈的值与设定值做比较，发出控制信号来实时调整电气比例阀8的输出压力，通过控制氮气流量，来控制甲酸饱和气体的流量，从而得到设定的甲酸流量。
示例性的，所述第二通气管道4上设置有开关调节阀7。
示例性的，所述电气比例阀8靠近所述惰性气体源3的一侧。
示例性的，所述第一通气管道5上还设置有流量计9，所述流量计9靠近所述甲酸压力桶2的一侧，
示例性的，还包括PLC10,所述PLC10与电气比例阀8连接。
示例性的，所述流量计9与PLC10通讯连接。
示例性的，所述第一通气管道5和第二通气管道4均能通过管接头进行加长。
示例性的，所述PLC10与计算机11通讯连接。
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (9)
1.一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，其特征在于，包括：
甲酸压力桶(2)，用于放置甲酸液体；
真空炉(1)，用于金属氧化物还原的半导体焊接炉；
惰性气体源(3)，用于提供惰性气体；
所述甲酸压力桶(2)与惰性气体源(3)通过第一通气管道(5)相连接，所述第一通气管道(5)一端位于甲酸压力桶内，并且与鼓泡器(6)相连接；所述真空炉(1)与甲酸压力桶(2)通过第二通气管道(4)相连接，所述第一通气管道(5)上设置有电气比例阀(8)。
2.根据权利要求1所述的一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，其特征在于：所述鼓泡器(6)包括与第一通气管道(5)连接的壳体(61)，所述壳体(61)内设置有与第一通气管道(5)连通的缓冲腔(62)，所述壳体(61)上均与分布有若干连通缓冲腔(62)和甲酸压力桶(2)的出气孔(63)。
3.根据权利要求1所述的一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，其特征在于：所述第二通气管道(4)上设置有开关调节阀(7)。
4.根据权利要求1所述的一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，其特征在于：所述电气比例阀(8)靠近所述惰性气体源(3)的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，其特征在于：所述第一通气管道(5)上还设置有流量计(9)，所述流量计(9)靠近所述甲酸压力桶(2)的一侧。
6.根据权利要求1所述的一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，其特征在于：还包括PLC(10),所述PLC(10)与电气比例阀(8)连接。
7.根据权利要求5所述的一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，其特征在于：所述流量计(9)与PLC(10)通讯连接。
8.根据权利要求1所述的一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，其特征在于：所述第一通气管道(5)和第二通气管道(4)均能通过管接头进行加长。
9.根据权利要求6所述的一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置，其特征在于：所述PLC(10)与计算机(11)通讯连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221016416.9U CN217691075U (zh) | 2022-04-28 | 2022-04-28 | 一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN217691075U true CN217691075U (zh) | 2022-10-28 |
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ID=83734626
Family Applications (1)
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| CN202221016416.9U Active CN217691075U (zh) | 2022-04-28 | 2022-04-28 | 一种用于在线式真空固晶炉的甲酸供给装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN217691075U (zh) |
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2022
- 2022-04-28 CN CN202221016416.9U patent/CN217691075U/zh active Active
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