CN217688408U - 一种旋转、冲洗设备的监测结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种旋转、冲洗设备的监测结构，包括清洗腔体和显示屏，显示屏设于清洗腔体外侧；清洗腔体内设有固定结构，清洗腔体下端连接有离心结构，清洗腔体和离心结构间通过控制阀控制连通；离心结构包括：管体，管体内部设有过滤芯，管体两侧设有固体出口和液体出口，固体出口外侧设有固体管，液体出口外部设有液体管，管体下方设有液体箱，液体箱下方设有固体箱，固体箱底部设有重量传感器，重量传感器电性连接显示屏；固体管固定连接固体箱，液体管固定连接液体箱；液体箱固定连接清洗腔体上的入水口，采用重量传感器对清洗过的水离心出的固体颗粒物进行监测，实现对被清洗产品的洁净程度做出判断，保证了清洗的质量。

Description

一种旋转、冲洗设备的监测结构

技术领域

本实用新型涉及清洗设备技术领域，尤其涉及一种旋转、冲洗设备的监测结构。

背景技术

半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，其在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种；

目前在对半导体产品生产加工过程中，表面会沾附灰尘和金属碎渣，在后续加工操作前需要对表面沾附的碎渣和灰尘进行清除，现有的半导体旋转、冲洗设备直接采用水冲洗，并对使用后的水进行回收再利用，此清洗过程中对产品的清洗程度没有进行监测，并且采用使用过后的水含有金属碎渣再次对半导体产品进行清洗时容易造成产品表面出现刮花或损坏的情况。

由此，本实用新型提出一种旋转、冲洗设备的监测结构。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提出一种旋转、冲洗设备的监测结构，以更加确切地解决上述清洗过程中对产品的清洗程度没有进行监测，并且采用使用过后的水含有金属碎渣再次对半导体产品进行清洗时容易造成产品表面出现刮花或损坏的情况的问题。

本实用新型通过以下技术方案实现的：

本实用新型提出一种旋转、冲洗设备的监测结构，包括清洗腔体和显示屏，所述显示屏设于所述清洗腔体外侧；所述清洗腔体内设有固定结构，所述清洗腔体下端连接有离心结构，所述清洗腔体和离心结构间通过管道连接，所述管道内设有控制阀；

所述离心结构包括：管体，所述管体内部设有过滤芯，所述管体两侧设有固体出口和液体出口，所述固体出口外侧设有固体管，所述液体出口外部设有液体管，所述管体下方设有液体箱，所述液体箱下方设有固体箱，所述固体箱底部设有重量传感器，所述重量传感器电性连接所述显示屏；所述固体管固定连接固体箱，所述液体管固定连接液体箱；所述液体箱固定连接所述清洗腔体上的入水口。

进一步的，所述的旋转、冲洗设备的监测结构，所述过滤芯下方设有第一导向板，所述第一导向板设于管体底部且间隔设置在管体内部，所述第一导向板将水导向至液体出口。

进一步的，所述的旋转、冲洗设备的监测结构，所述过滤芯上方设有第二导向板，所述第二导向板一端连接在所述管体内壁上，所述第二导向板将固体颗粒导向至固体出口。

进一步的，所述的旋转、冲洗设备的监测结构，还包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和第二挡板均设于所述管体内壁上，所述第一挡板设于所述第二导向板与所述过滤芯的间隙间，所述第二挡板设于所述过滤芯的下方。

进一步的，所述的旋转、冲洗设备的监测结构，还包括液体管，所述第一导向板上端外侧设有液体出口，所述固体管连通所述固体箱与所述固体出口并相对设置于所述管体两侧。

进一步的，所述的旋转、冲洗设备的监测结构，还包括固体管，所述第二导向板上端外侧设有固体出口，所述液体管连通所述液体箱与所述液体出口并相对设置与所述罐体的两侧。

进一步的，所述的旋转、冲洗设备的监测结构，所述液体出口和所述固体出口内部均设有离心阀，所述离心阀内部设有旋转门阀。

进一步的，所述的旋转、冲洗设备的监测结构，所述旋转门阀门四周均设有支撑杆，所述支撑杆外侧设置有密封圈，所述密封圈与所述固体出口和液体出口间固定连接。

进一步的，所述的旋转、冲洗设备的监测结构，所述所述显示屏内部设有控制终端，所述控制终端电性连接所述控制阀。

进一步的，所述的旋转、冲洗设备的监测结构，所述显示屏上端设有报警灯，所述报警灯与所述显示屏电性连接；

当所述重力传感器数值超过预设值时，所述警报灯报警。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过对清洗过的水进行一个监测，采用重量传感器对清洗过的水离心出的固体颗粒物进行监测，实现对被清洗产品的洁净程度做出判断，防止未被清洁完全的产品流入下一工序，同时保证了清洗的质量。

采用离心结构对清洗过的水进行离心并实现水的循环利用，有利于节约水资源；同时通过设置第一挡板和第二挡板，在离心结构高速逆时针转动下，第一挡板可以防止固体颗粒物继续受离心力的作用向上移动，第二挡板可以防止固体颗粒物在离心结构停转时落入管体底部，避免一部分固体颗粒物与滤液又重新混合在一起，起到了提高分离效果的作用。

附图说明

图1为本实用新型的旋转、冲洗设备的监测结构的结构示意图；

图2为本实用新型的旋转、冲洗设备的监测结构的清洗腔体内部示意图；

图3为本实用新型的旋转、冲洗设备的监测结构离心结构的剖视图；

图4为本实用新型的旋转、冲洗设备的监测结构的离心阀示意图；

图中，清洗腔体1、入水口101、控制阀102、离心结构2、显示屏3、警报灯301、管体4、固体出口401、液体出口402、固体管403、液体管404、液体箱405、固体箱406、过滤芯5、第一导向板501、第二导向板502、第一挡板503、第二挡板504、离心阀6、旋转门阀601、支撑杆602、密封圈603、重量传感器7。

具体实施方式

为了更加清楚完整的说明本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

请参考图1-图4，本实用新型提出一种旋转、冲洗设备的监测结构。

在本实施方式中，一种旋转、冲洗设备的监测结构，包括清洗腔体1和显示屏3，显示屏3设于清洗腔体1外侧；清洗腔体1内设有固定结构，清洗腔体1下端连接有离心结构2，清洗腔体1和离心结构2间通过管道连接，管道内设有控制阀102，通过控制控制阀102的开关闭合实现清洗腔体1与离心结构2间的连通；显示屏3内部设有控制终端，控制终端电性连接控制阀102，显示屏3上端设有报警灯。

离心结构2包括：管体4，管体4内部设有过滤芯5，管体4两侧设有固体出口401和液体出口402，固体出口401外侧设有固体管403，液体出口402外部设有液体管404，管体4下方设有液体箱405，液体箱405下方设有固体箱406，固体箱406底部设有重量传感器7，重量传感器7电性连接显示屏3；固体管403连通固体箱406与固体出口401并相对设置于管体4两侧，当有固体颗粒进入固体管403中时固体颗粒沿着固体管403进入固体箱406；液体管404连通液体箱405与液体出口402并相对设置于管体4两侧，当有水进入液体管404中时水沿着液体管404进入液体箱405；液体箱405固定连接清洗腔体1上的入水口101；过滤芯5下方设有第一导向板501，过滤芯5上方设有第二导向板502；还包括第一挡板503和第二挡板504，第一挡板503和第二挡板504均设于管体4内壁上，第一挡板503设于第二导向板502与过滤芯5的间隙间，第二挡板504设于过滤芯5的下方；第一导向板501上端外侧设有液体出口402，第二导向板502上端外侧设有固体出口401；液体出口402和固体出口401内部均设有离心阀6，离心阀6内部设有旋转门阀601；旋转门阀601门四周均设有支撑杆602，支撑杆602外侧设置有密封圈603，密封圈603固定设于固体出口和液体出口处。

在本实施例中，需要清洗的半导体产品固定在清洗腔体1内部的固定结构上，清洗腔体1内的水氛围下将半导体产品进行旋转冲洗，达到使得半导体产品洁净的目的，在实施例中，清洗腔体1下端通过控制阀102与离心结构2连接，控制阀102与控制终端电性连接，通过控制终端可以控制控制阀102的开闭，实现清洗过的水流入离心结构2的目的，离心结构2内的过滤芯5用于将清洗过的水进行固液分离，将在半导体产品上清洗出的固体颗粒等物质分离出来并送入固体箱406中，防止在重复利用的水中出现固体颗粒并在重复清洗时对半导体产品进行损坏刮花的可能，经过过滤芯5分离出的液体进入液体箱405内，经过一定步骤后重新经过清洗腔体1的入水口101重新进入清洗腔体1内对半导体产品进行清洗，实现水资源的重复利用；固体箱406内的重量传感器7通过是否有重量的增加判断该次清洗过程中是否出现颗粒物，从而判断半导体产品清洁的程度。

在具体实施时，将半导体产品放入清洗腔体1内部的固定结构上，控制阀102关闭，清洗腔体1的入水口101注水，清洗腔体1内的驱动结构驱动固定结构旋转，半导体产品在水域内经过冲洗后，控制终端打开控制阀102，关闭入水口101，将清洗过的水排入离心结构2内，离心结构2将清洗过的水进行固液分离，固体颗粒在过滤芯5的作用下进入固体箱406，不含固体颗粒的水进入液体箱405，固体颗粒进入固体箱406后会触发重量传感器7，控制终端在接收到重量传感器7的重量后显示在显示屏3上，在离心结构2运行的同时，在水全部排入离心结构2内时，关闭控制阀102，打开入水口101，清洗腔体1内的半导体产品进行第二次清洗，在第二次清洗完成且离心结构2第一次离心运行结束后，将第二次清洗的水打开控制阀102流入离心结构2内，离心结构2进行第二次离心，若无固体颗粒进入固体箱406内，则证明第一次清洗的效果好，半导体产品的清洗完成；若还有固体颗粒进入固体箱406内触发重量传感器7，则控制终端在清洗腔体1内的第二次清洗的水全部排入离心结构2内后，关闭控制阀102，进行第三次清洗，依次类推，直至无固体颗粒进入固体箱406内，完成该半导体产品的清洗；在清洗的同时，控制终端将清洗的数据显示在显示屏3上，其数据具体包括，每个半导体产品清洗的时间、清洗的用水量、清洗的次数、固体箱406内的重量传感器7的显示重量以及一次的清洗合格率；在另一个实施例中，重量传感器7上设有最大值，当重量传感器7的数据超过预设值时，控制终端接收到重量传感器7上的数据并发出警报，显示屏3上端的警报灯301闪烁红色光芒并发出刺耳蜂鸣引起工作人员的注意，在具体实施时，该重量传感器7的预设值为250克，在清洗腔体1长时间进行半导体产品的清洗后，固体箱406内的固体颗粒物达到251克时，显示屏3上端的警报灯301闪烁红色光芒并发出刺耳蜂鸣，工作人员在听到警报声或看到警报灯301后，在清洗腔体1的该次清洗结束后对固体箱406进行一个出渣处理，防止固体箱406内的固体颗粒过重影响了重力传感器的精度和使用寿命。

在另一个实施例中，第二导向板502外侧设置有第一挡板503，第一挡板503的下方设置有第二挡板504，在离心高速旋转下，固体颗粒物的重量大于液体的重量并箱固体内的两侧移动，第一挡板503设置在第二挡板504和管体4之间，固体颗粒物先是被过滤芯5挡住，到管体4内壁时被第一挡板503挡住，第二挡板504设置在第一挡板503正下方，利用第二挡板504和第一挡板503，在离心机高速逆时针转动下，第一挡板503可以防止固体颗粒物继续受离心力的作用向上移动，第二挡板504可以防止固体颗粒物在离心机停转时落入管体4底部，避免离心结构2停下时，会有一部分固体颗粒物与滤液又重新混合在一起，起到了提高分离效果的作用。

第一导向板501上端外侧设置有液体出口402，第二导向板502上端外侧设置有固体出口401，固液混合物完成分离后，离心结构2关闭，此时固体颗粒物在过滤芯5上方，滤液在过滤芯5下方，再启动离心机进行顺时针高速转动，第一导向板501和第二导向板502都具有导向功能，表面设有螺旋段，离心管体4顺时针转动时，滤液随导向第一导向板501向两边扩散至液体出口402，固体颗粒物则随第二导向板502向管体4一侧内壁扩散至固体出口401，利用单向第一导向板501和第二导向板502，可以使滤液和固体颗粒物根据螺旋走向排出管体4，起到了提高排出能力的作用。

液体出口402与固体出口401内部均设置有离心阀6，离心阀6内部设置有旋转门阀601门，离心机顺时针旋转，离心阀6的旋转门阀601门受离心力打开，固体颗粒物经过导向螺旋板二从固体出口401排出，滤液经过第一导向板501从液体出口402排出，利用离心阀6，在离心机逆时针旋转时可以堵住固体出口401和液体出口402，离心结构2顺时针旋转，滤液和固体颗粒物到达出口时出口已经打开，使滤液和固体颗粒物可以排出，起到了可以自动化排出分离物的作用。

旋转门阀601门四周均匀设置有支撑杆602，支撑杆602外侧设置有密封圈603，旋转门阀601门通过支撑杆602与密封圈603连接在一起，支撑杆602内部设有连轴，可以左右摆动，旋转门阀601门可以通过旋转打开，离心结构2在逆时针高速转动下，支撑杆602受惯性影响，向左摆动，拉住伸缩阀门，当离心机瞬间停止转动后再进行顺时针转动时，支撑杆602受惯性力猛烈向右摆动，支撑杆602推动旋转门阀601门旋转打开，利用离心结构2的离心力，使旋转门阀601门打开，便于排出固体颗粒物和滤液。

当然，本实用新型还可有其它多种实施方式，基于本实施方式，本领域的普通技术人员在没有做出任何创造性劳动的前提下所获得其他实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

Claims (10)

1.一种旋转、冲洗设备的监测结构，其特征在于，包括清洗腔体和显示屏，所述显示屏设于所述清洗腔体外侧；所述清洗腔体内设有固定结构，所述清洗腔体下端连接有离心结构，所述清洗腔体和离心结构间通过管道连接，所述管道内设有控制阀；

所述离心结构包括：管体，所述管体内部设有过滤芯，所述管体两侧设有固体出口和液体出口，所述固体出口外侧设有固体管，所述液体出口外部设有液体管，所述管体下方设有液体箱，所述液体箱下方设有固体箱，所述固体箱底部设有重量传感器，所述重量传感器电性连接所述显示屏；所述固体管固定连接固体箱，所述液体管固定连接液体箱；所述液体箱固定连接所述清洗腔体上的入水口。

2.根据权利要求1所述的旋转、冲洗设备的监测结构，其特征在于，所述过滤芯下方设有第一导向板，所述第一导向板设于管体底部且间隔设置在管体内部，所述第一导向板将水导向至液体出口。

3.根据权利要求1或2所述的旋转、冲洗设备的监测结构，其特征在于，所述过滤芯上方设有第二导向板，所述第二导向板一端连接在所述管体内壁上，所述第二导向板将固体颗粒导向至固体出口。

4.根据权利要求3所述的旋转、冲洗设备的监测结构，其特征在于，还包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和第二挡板均设于所述管体内壁上，所述第一挡板设于所述第二导向板与所述过滤芯的间隙间，所述第二挡板设于所述过滤芯的下方。

5.根据权利要求2所述的旋转、冲洗设备的监测结构，其特征在于，还包括液体管，所述第一导向板上端外侧设有液体出口，所述固体管连通所述固体箱与所述固体出口并相对设置于所述管体两侧。

6.根据权利要求3所述的旋转、冲洗设备的监测结构，其特征在于，还包括固体管，所述第二导向板上端外侧设有固体出口，所述液体管连通所述液体箱与所述液体出口并相对设置与所述管体的两侧。

7.根据权利要求1所述的旋转、冲洗设备的监测结构，其特征在于，所述液体出口和所述固体出口内部均设有离心阀，所述离心阀内部设有旋转门阀。

8.根据权利要求7所述的旋转、冲洗设备的监测结构，其特征在于，所述旋转门阀门四周均设有支撑杆，所述支撑杆外侧设置有密封圈，所述密封圈与所述固体出口和液体出口间固定连接。

9.根据权利要求1所述的旋转、冲洗设备的监测结构，其特征在于，所述显示屏内部设有控制终端，所述控制终端电性连接所述控制阀。

10.根据权利要求1所述的旋转、冲洗设备的监测结构，其特征在于，所述显示屏上端设有报警灯，所述报警灯与所述显示屏电性连接；

当所述重量传感器数值超过预设值时，所述报警灯报警。

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