CN217677287U - 一种沉积靶夹具及制坨机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及制坨机技术领域,本实用新型提供了一种沉积靶夹具及制坨机,沉积靶夹具包括底座,底座上沿圆周方向间隔设有若干用于夹持沉积靶的夹持机构,所述夹持机构包括立柱,立柱与所述底座固定连接;至少两个夹块,夹块沿立柱的高度方向间隔布置;数量与夹块数量对应的调节杆,调节杆与立柱通过螺纹连接,且调节杆的一端与夹块转动连接,夹块相对于立柱在调节杆的圆周方向固定。本实用新型能够使不同高度上的夹块均能独立调节,更方便对沉积靶的姿态进行调节。
Description
技术领域
本实用新型涉及制坨机技术领域,具体而言,涉及一种沉积靶夹具及制坨机。
背景技术
石英玻璃制坨机是石英玻璃生产的关键设备,其结构及性能直接影响石英玻璃的尺寸和光学均匀性。沉积靶(又叫沉积基础杆)是通过沉积靶夹具夹持固定的,传统的沉积靶夹具难以适应一种直径的沉积靶;为此,申请人在公开号为“CN215947095U”的专利中提供的制坨机回转驱动装置,该装置中的夹持机构能够很好解决上述问题。然而,现有技术中,夹持机构的一个夹持块在高度方向具有两个夹持点,调节时两个夹持点只能同步靠近或远离沉积靶,在对沉积靶的姿态进行调节(即调节其与水平面的垂直度)不方便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种沉积靶夹具及制坨机,解决现有技术在对沉积靶的姿态进行调节时不方便的技术问题。
本实用新型的实施例通过以下技术方案实现:
一种沉积靶夹具,包括底座,底座上沿圆周方向间隔设有若干用于夹持沉积靶的夹持机构,所述夹持机构包括:
立柱,立柱与所述底座固定连接;
至少两个夹块,夹块沿立柱的高度方向间隔布置;
数量与夹块数量对应的调节杆,调节杆与立柱通过螺纹连接,且调节杆的一端与夹块转动连接,夹块相对于立柱在调节杆的圆周方向固定。
可选地,所述立柱靠近夹块的一侧设有滑槽,所述夹块靠近立柱的一侧设有限位块,限位块的两侧与滑槽的侧壁相抵。
可选地,所述调节杆靠近所述夹块的一端设有球头,所述夹块设有与球头配合的第一半球孔,调节杆上穿设有连接块,连接块上设有与球头配合的第二半球孔,连接块与夹块可拆卸地连接。
可选地,所述夹块的夹紧面呈V型结构。
可选地,所述调节杆远离所述夹块的一端设有旋钮。
可选地,所述调节杆在所述立柱远离所述夹块的一侧设有限位件。
可选地,所述立柱的底部设有连接部,连接部垂直于长度方向的截面呈矩形,所述底座上设有与连接部配合的凹槽,连接部与底座通过紧固件连接。
本实用新型还提供了一种制坨机,包括支撑装置,上述任意一项所述的沉积靶夹具的所述底座安装于支撑装置的顶部。
本实用新型至少具有如下优点和有益效果:本实用新型中,在底座上沿圆周方向设置若干夹持机构,夹持机构的立柱上沿高度方向设置至少两个夹块,通过调节杆可调节夹块的位置,而且不同高度上的夹块均能够独立调节,从而更方便地对沉积靶的姿态进行调节。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为实施例一提供的一种沉积靶夹具及制坨机的结构示意图;
图2为夹持机构的结构示意图;
图3为图2的A-A剖视图;
图4为实施例二提供的一种制坨机的结构示意图;
图标:100-底座,101-法兰,200-夹持机构,201-立柱,201a-滑槽,201b-连接部,202-夹块,202a-限位块,203-调节杆,203a-球头,204-旋钮,205-限位件,206-连接块,300-支撑底板,400-支撑装置,500-沉积靶。
具体实施方式
实施例一
一种沉积靶夹具,包括底座100,本实施例底座100的底部设有法兰101,实际应用中,法兰101通过螺钉与制坨机的支撑装置400连接,底座100上设有支撑底板300,支撑底板300通过螺钉连接方式与底座100连接。底座100上沿圆周方向间隔设有若干用于夹持沉积靶500的夹持机构200,夹持机构200包括立柱201、夹块202和调节杆203。
立柱201与底座100固定连接,立柱201的底部设有连接部201b,连接部201b垂直于长度方向的截面呈矩形,底座100上设有与连接部201b配合的凹槽,如此设置,可防止立柱201与底座100相对转动,而且也方便立柱201的定位安装;进一步地,连接部201b与底座100通过紧固件连接,例如,可在连接部201b的底部设置螺钉孔,通过螺钉将底座100与立柱201连接。
本实施例夹持机构200上夹块202设有两个,容易理解的是,其它实施例中夹块202的数量也可以更多,夹块202的夹紧面呈V型结构,便于适应不同直径的沉积靶500。
夹块202沿立柱201的高度方向间隔布置,即可对沉积靶500高度上的两个夹持点进行夹持,调节杆203与夹块202的数量对应,即一个夹块202对应一个调节杆203,调节杆203与立柱201通过螺纹连接,且调节杆203的一端与夹块202转动连接,即调节杆203与夹块202之间可以相对转动,通过拧动调节杆203可调节夹块202的位置,调节杆203远离夹块202的一端设有旋钮204,便于拧动调节杆203。
进一步地,夹块202相对于立柱201在调节杆203的圆周方向固定,即夹块202只能平移,而无法转动,避免拧动调节杆203时带动夹块202转动。实际应用时,在调节沉积靶500的姿态时,可以分别独立调节每个夹持架构不同高度的夹块202,使得调节更加方便。
本实施例通过以下方式来保证夹块202相对于立柱201在调节杆203的圆周方向固定,立柱201靠近夹块202的一侧设有滑槽201a,夹块202靠近立柱201的一侧设有限位块202a,限位块202a的两侧与滑槽201a的侧壁相抵,即限位块202a与滑槽201a配合,保证夹块202只能平移而无法转动,本实施例夹块202与限位块202a一体成型。容易理解的是,在其它实施例中,限位块202a与夹块202也可焊接或者通过螺钉连接。
进一步的,调节杆203在立柱201远离夹块202的一侧设有限位件205,本实施例限位件205为螺母,螺母与调节杆203连接,限位件205的设置可避免限位块202a脱离滑槽201a而导致夹块202能够转动。
在本实用新型的其它实施例中,夹块202相对于立柱201在调节杆203的圆周方向固定也可采用其它方式,例如可在夹块202上设有一根或两根导向杆,导向杆可滑动地穿设在立柱201上。
本实施例调节杆203与夹块202转动连接的方式如下,调节杆203靠近夹块202的一端设有球头203a,夹块202设有与球头203a配合的第一半球孔,本实施例第一半球孔设于限位块202a上,调节杆203上穿设有连接块206,连接块206上设有与球头203a配合的第二半球孔,连接块206与限位块202a可拆卸地连接(例如通过螺钉连接),容易理解的是,连接块206与限位块202a连接时不可连接的松一些,以保证球头203a在第一半球孔和第二半球孔组成的空腔内顺畅转动。
值得说明的是,本实施例调节杆203与夹块202转动连接的方式便于快速安装,在本实用新型的其它实施例中,调节杆203与夹块202转动连接的方式也可通过轴承实现。
实施例二
本实施例供了一种制坨机,包括支撑装置400,实施例一中的沉积靶夹具的底座100安装于支撑装置400的顶部。
以上仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种沉积靶夹具,包括底座(100),底座(100)上沿圆周方向间隔设有若干用于夹持沉积靶(500)的夹持机构(200),其特征在于,所述夹持机构(200)包括:
立柱(201),立柱(201)与所述底座(100)固定连接;
至少两个夹块(202),夹块(202)沿立柱(201)的高度方向间隔布置;
数量与夹块(202)数量对应的调节杆(203),调节杆(203)与立柱(201)通过螺纹连接,且调节杆(203)的一端与夹块(202)转动连接,夹块(202)相对于立柱(201)在调节杆(203)的圆周方向固定。
2.根据权利要求1所述的沉积靶夹具,其特征在于:所述调节杆(203)靠近所述夹块(202)的一端设有球头(203a),所述夹块(202)设有与球头(203a)配合的第一半球孔,调节杆(203)上穿设有连接块(206),连接块(206)上设有与球头(203a)配合的第二半球孔,连接块(206)与夹块(202)可拆卸地连接。
3.根据权利要求1所述的沉积靶夹具,其特征在于:所述立柱(201)靠近夹块(202)的一侧设有滑槽(201a),所述夹块(202)靠近立柱(201)的一侧设有限位块(202a),限位块(202a)的两侧与滑槽(201a)的侧壁相抵。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的沉积靶夹具,其特征在于:所述夹块(202)的夹紧面呈V型结构。
5.根据权利要求1-3任意一项所述的沉积靶夹具,其特征在于:所述调节杆(203)远离所述夹块(202)的一端设有旋钮(204)。
6.根据权利要求1-3任意一项所述的沉积靶夹具,其特征在于:所述调节杆(203)在所述立柱(201)远离所述夹块(202)的一侧设有限位件(205)。
7.根据权利要求1-3任意一项所述的沉积靶夹具,其特征在于:所述立柱(201)的底部设有连接部(201b),连接部(201b)垂直于长度方向的截面呈矩形,所述底座(100)上设有与连接部(201b)配合的凹槽,连接部(201b)与底座(100)通过紧固件连接。
8.一种制坨机,包括支撑装置(400),其特征在于,权利要求1-7任意一项所述的沉积靶夹具的所述底座(100)安装于支撑装置(400)的顶部。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202221624135.1U CN217677287U (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 一种沉积靶夹具及制坨机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202221624135.1U CN217677287U (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 一种沉积靶夹具及制坨机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN217677287U true CN217677287U (zh) | 2022-10-28 |
Family
ID=83713975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202221624135.1U Active CN217677287U (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 一种沉积靶夹具及制坨机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN217677287U (zh) |
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2022
- 2022-06-27 CN CN202221624135.1U patent/CN217677287U/zh active Active
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