CN217600835U - 一种镀膜真空室的抽气防护装置 - Google Patents
一种镀膜真空室的抽气防护装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN217600835U CN217600835U CN202122738881.5U CN202122738881U CN217600835U CN 217600835 U CN217600835 U CN 217600835U CN 202122738881 U CN202122738881 U CN 202122738881U CN 217600835 U CN217600835 U CN 217600835U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- adjusting
- protective
- vacuum chamber
- coating
- protection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种镀膜真空室的抽气防护装置，包括防护挡板、具有防护网罩的防护罩和设于所述防护挡板与所述防护罩之间且用于调节所述防护罩与所述防护挡板之间的距离的调节组件。本实用新型采用上述结构，在进行真空抽气，镀膜真空室内的空气只能通过防护挡板与防护罩之间所形成的通气空间从侧部进入抽气防护装置，并通过防护网罩后排出，防护挡板可有效对跌落物进行阻隔，而防护罩则可有效对沉积异物进行阻隔，因此本实用新型可同时防止跌落物和沉积异物进入真空泵组，防止这些废物对真空泵组造成损害，而调节组件则可调节防护罩与防护挡板之间的距离，从而调节形成于其二者之间的通气空间的体积，进而实现对抽气的速率进行调节。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是一种镀膜真空室的抽气防护装置。
【背景技术】
在进行真空镀膜时，都需要借助真空泵组对真空镀膜室进行高速抽气以保证真空镀膜室具有足够的真空度。在进行真空镀膜时，真空镀膜室内一般都会产生跌落物和沉积异物等废物，若不在真空抽气口处设置相应的防护装置，则这些废物则会进入真空泵组并造成真空泵组的损坏。为防止跌落物或沉积异物进入，现有的防护装置根据抽口位置的设置情况及实际工作状态，一般分为跌落物防护和沉积异物防护两种方式，其功能相对单一且不具备调整性。
【实用新型内容】
本实用新型要解决的技术问题是提供可同时防止跌落物和沉积异物进入真空泵组且可对抽气速率进行调整的一种镀膜真空室的抽气防护装置。
本实用新型的目的是这样实现的：
一种镀膜真空室的抽气防护装置，包括防护挡板、具有防护网罩的防护罩和设于所述防护挡板与所述防护罩之间且用于调节所述防护罩与所述防护挡板之间的距离的调节组件。
本实用新型采用上述结构，在进行真空抽气，镀膜真空室内的空气只能通过防护挡板与防护罩之间所形成的通气空间从侧部进入抽气防护装置，并通过防护网罩后排出，防护挡板可有效对跌落物进行阻隔，而防护罩则可有效对沉积异物进行阻隔，因此本实用新型可同时防止跌落物和沉积异物进入真空泵组，防止这些废物对真空泵组造成损害，而调节组件则可调节防护罩与防护挡板之间的距离，从而调节形成于其二者之间的通气空间的体积，进而实现对抽气的速率进行调节。
如上所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，所述防护罩包括与镀膜真空室的底部固定连接的固定座板、设于所述固定座板上的进气口和设于所述进气口的周向边缘且向上延伸的台阶圈，所述防护网罩罩设于所述台阶圈的顶部。台阶圈向上延伸可方便供抽气管的连接，同时也可有效对沉积异物进行阻隔。
如上所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，所述调节组件采用连接在所述防护挡板与所述防护罩之间的调节螺杆，从而方便防护罩与防护挡板之间的距离调整。
如上所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，所述调节螺杆的上端穿过所述防护挡板，所述防护挡板的上下两侧分别设有与所述调节螺杆螺纹连接且用于调节所述防护挡板与所述防护罩之间的距离的上调节螺母和下调节螺母，直接拧动上调节螺母和下调节螺母即可调节防护罩与防护挡板之间的距离，非常方便。
如上所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，所述调节螺杆的下端穿过所述防护罩而与镀膜真空室的底部固定连接，所述防护罩的上侧设有与所述调节螺杆螺纹连接且用于将防护罩锁紧于镀膜真空室底部的锁紧螺母，从而保证抽气防护装置与镀膜真空室之间连接的牢固性。
如上所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，所述调节组件包括3组所述调节螺杆，从而保证抽气防护装置整体结构的稳定性。
如上所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，所述防护挡板、防护罩和调节组件均采用金属材料制成，从而保证抽气防护装置整体结构的强度。
如上所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，所述防护挡板和所述固定座板的一侧均设有缺口，即可节省制造成本的同时也可使得本实用新型适用于狭小的安装空间。
【附图说明】
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明，其中：
图1为本实用新型的立体结构示意图之一；
图2为本实用新型所述防护罩的结构示意图；
图3为本实用新型的立体结构示意图之二。
【具体实施方式】
一种镀膜真空室的抽气防护装置，包括防护挡板1、具有防护网罩21的防护罩2和设于防护挡板1与防护罩2之间且用于调节防护罩2与防护挡板1之间的距离的调节组件3。
防护罩2包括与镀膜真空室的底部固定连接的固定座板22、设于固定座板22上的进气口23和设于进气口23的周向边缘且向上延伸的台阶圈24，防护网罩21罩设于台阶圈24的顶部。台阶圈24向上延伸可方便供抽气管的连接，同时也可有效对沉积异物进行阻隔。
为便于调节抽气速率，调节组件3采用连接在防护挡板1与防护罩2之间的调节螺杆31。
优选的，调节螺杆31的上端穿过所述防护挡板1，防护挡板1的上下两侧分别设有与调节螺杆31螺纹连接且用于调节防护挡板1与防护罩2之间的距离的上调节螺母41和下调节螺母42。
为保证抽气防护装置与镀膜真空室之间连接的牢固性，调节螺杆31的下端穿过防护罩2而与镀膜真空室的底部固定连接，防护罩2的上侧设有与调节螺杆31螺纹连接且用于将防护罩2锁紧于镀膜真空室底部的锁紧螺母43。
为保证抽气防护装置整体结构的稳定性，调节组件3包括3组所述调节螺杆31。
为保证抽气防护装置整体结构的强度，防护挡板1、防护罩2和调节组件3均采用金属材料制成。
为节省制造成本，防护挡板1和固定座板22的一侧均设有缺口5。缺口5的设置也可使得本抽气防护装置适用于狭小的安装空间。
优选的，防护挡板1和防护罩2的外轮廓均呈圆形，防护挡板1的外径稍大于防护罩2的进气口23的口径。
本实用新型使用时，真空泵组驱动镀膜真空室内的空气通过防护挡板1与防护罩2之间所形成的通气空间(从侧部)进入抽气防护装置，然后通过防护网罩21(根据实际的使用情况，可对防护网罩21的网格大小进行调整)进入真空管并排出，防护挡板1可有效对跌落物进行阻隔，而防护罩2则可有效对沉积异物进行阻隔，因此本实用新型可同时防止跌落物和沉积异物进入真空泵组，防止这些废物对真空泵组造成损害。若需要调节抽气的速率，可通过调节组件3来调节防护罩2与防护挡板1之间的距离，从而调节形成于其二者之间的通气空间的体积，进而实现对抽气速率的调节。
Claims (7)
1.一种镀膜真空室的抽气防护装置，其特征在于包括防护挡板(1)、具有防护网罩(21)的防护罩(2)和设于所述防护挡板(1)与所述防护罩(2)之间且用于调节所述防护罩(2)与所述防护挡板(1)之间的距离的调节组件(3)，所述防护罩(2)包括与镀膜真空室的底部固定连接的固定座板(22)、设于所述固定座板(22)上的进气口(23)和设于所述进气口(23)的周向边缘且向上延伸的台阶圈(24)，所述防护网罩(21)罩设于所述台阶圈(24)的顶部。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，其特征在于所述调节组件(3)采用连接在所述防护挡板(1)与所述防护罩(2)之间的调节螺杆(31)。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，其特征在于所述调节螺杆(31)的上端穿过所述防护挡板(1)，所述防护挡板(1)的上下两侧分别设有与所述调节螺杆(31)螺纹连接且用于调节所述防护挡板(1)与所述防护罩(2)之间的距离的上调节螺母(41)和下调节螺母(42)。
4.根据权利要求3所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，其特征在于所述调节螺杆(31)的下端穿过所述防护罩(2)而与镀膜真空室的底部固定连接，所述防护罩(2)的上侧设有与所述调节螺杆(31)螺纹连接且用于将防护罩(2)锁紧于镀膜真空室底部的锁紧螺母(43)。
5.根据权利要求4所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，其特征在于所述调节组件(3)包括3组所述调节螺杆(31)。
6.根据权利要求1所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，其特征在于所述防护挡板(1)、防护罩(2)和调节组件(3)均采用金属材料制成。
7.根据权利要求1所述的一种镀膜真空室的抽气防护装置，其特征在于所述防护挡板(1)和所述固定座板(22)的一侧均设有缺口(5)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122738881.5U CN217600835U (zh) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | 一种镀膜真空室的抽气防护装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122738881.5U CN217600835U (zh) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | 一种镀膜真空室的抽气防护装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217600835U true CN217600835U (zh) | 2022-10-18 |
Family
ID=83561288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122738881.5U Active CN217600835U (zh) | 2021-11-10 | 2021-11-10 | 一种镀膜真空室的抽气防护装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217600835U (zh) |
-
2021
- 2021-11-10 CN CN202122738881.5U patent/CN217600835U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN217600835U (zh) | 一种镀膜真空室的抽气防护装置 | |
| CN208230488U (zh) | 一种汽车尾气抽排装置 | |
| CN202255983U (zh) | 空气捕集装置 | |
| CN106762260B (zh) | 预滤器及采用该预滤器的发动机进气过滤装置 | |
| CN109647066A (zh) | 核电设备专用除尘器 | |
| CN210964276U (zh) | 一种油雾回收器的进口挡板 | |
| CN110394348B (zh) | 一种电脑主机内杂物高效收集装置 | |
| CN210623169U (zh) | 一种进出口可调的屋顶风机 | |
| CN211237719U (zh) | 一种蒸汽排放消声器 | |
| CN206996105U (zh) | 干粉除尘装置 | |
| CN220274652U (zh) | 一种害虫检测辅助结构 | |
| CN209423199U (zh) | 分体式结构的粉尘过滤装置 | |
| CN213591353U (zh) | 一种土建施工用降尘装置 | |
| CN211423977U (zh) | 一种便于cng加气站用的污气回收装置 | |
| CN213775736U (zh) | 一种鼓风机 | |
| CN218760448U (zh) | 一种螺杆式空压机 | |
| CN104676699A (zh) | 一种带多层油烟分离网的t型油烟机 | |
| CN219019336U (zh) | 一种四象限无功补偿控制器 | |
| CN215454694U (zh) | 一种鸡舍用风窗 | |
| CN209548934U (zh) | 一种除尘器 | |
| CN210615964U (zh) | 铝合金移门铝屑收集装置 | |
| CN216199237U (zh) | 一种真空泵隔离挡板 | |
| CN209069649U (zh) | 一种粉尘采集器 | |
| CN218370499U (zh) | 真空吸料机 | |
| CN209423156U (zh) | 滤筒快速安装结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |