CN217587341U - 一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括工作台，还包括：支撑柱，所述支撑柱连接于所述工作台的下端面四周位置；探针卡固定机构，所述探针卡固定机构设置于所述工作台的上端面中部位置；安装板，所述安装板连接于所述工作台的上端面左侧位置；横向滑槽，所述横向滑槽设置于所述安装板的上侧内部位置；横向滑杆，所述横向滑杆的下端滑动连接于所述横向滑槽的内部。该适用于半导体芯片测试系统的探针夹具能便于通过横向滑杆和升降横梁的配合对探针夹取机构进行稳定便捷的移动，从而能够防止夹取探针时造成其弯折损坏，且能便于通过探针夹取机构对探针的一列进行同时夹取，从而提高了对探针夹取更换的效率。

Description

一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具

技术领域

本实用新型涉及探针夹具技术领域，具体为一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具。

背景技术

探针通常安装在探针卡中，用于对半导体芯片与测试仪器之间的电气连接，从而实现对半导体芯片的测试，在检测不同的半导体芯片时需要更换探针卡上插接的探针，中国专利申请号为CN202122293252.6申请日为20210923公开了一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括支架和探针固定器，探针固定器可调节地设置于支架，并且探针固定器设有用于夹持探针的夹持部，但是上述探针夹具还存在以下不足：

1、上述适用于半导体芯片测试系统的探针夹具采用“支架包括底座、连接杆和夹爪，连接杆的一端固设于底座，另一端可转动地设置有用于夹持探针固定器的夹爪”的技术方案对探针固定器进行固定，该方式在对探针夹取时难以精确移动，易导致探针弯折损坏；

2、上述适用于半导体芯片测试系统的探针夹具通过夹持部逐个对探针进行夹取，由于半导体芯片的引脚较多，使得使用的探针数量较多，逐个对探针夹取的方式使得更换探针的效率较低；

因此，需要一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，以解决上述背景技术中提出现有的适用于半导体芯片测试系统的探针夹具支撑调节精度较差且夹取效率较低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括工作台，还包括：

支撑柱，所述支撑柱连接于所述工作台的下端面四周位置；

探针卡固定机构，所述探针卡固定机构设置于所述工作台的上端面中部位置；

安装板，所述安装板连接于所述工作台的上端面左侧位置；

横向滑槽，所述横向滑槽设置于所述安装板的上侧内部位置；

横向滑杆，所述横向滑杆的下端滑动连接于所述横向滑槽的内部；

横向调节螺杆，所述横向调节螺杆通过轴承连接于所述横向滑槽的内部，且所述横向调节螺杆与所述横向滑杆的下端螺纹连接；

调节旋钮，所述调节旋钮固定连接于所述横向调节螺杆的前端位置；

纵向滑槽，所述纵向滑槽设置于所述横向滑杆的右端面内部位置；

升降横梁，所述升降横梁滑动连接于所述纵向滑槽的内部；

探针夹取机构，所述探针夹取机构设置于所述升降横梁的内部位置。

采用上述技术方案，能便于通过横向滑杆和升降横梁的配合对探针夹取机构进行稳定便捷的移动，从而能够防止夹取探针时造成其弯折损坏，且能便于通过探针夹取机构对探针的一列进行同时夹取，从而提高了对探针夹取更换的效率。

优选的，所述探针卡固定机构包括：

固定板，所述固定板滑动连接于所述工作台的上端面两侧位置；

夹持调节螺杆，所述夹持调节螺杆通过轴承连接于所述工作台的内部；

调节摇柄，所述调节摇柄固定连接于所述夹持调节螺杆的一端。

采用上述技术方案，能便于通过摇动调节摇柄带动夹持调节螺杆转动，使得夹持调节螺杆带动固定板对探针卡进行固定，以便于对探针卡上插接的探针进行取下更换。

优选的，所述探针夹取机构包括：

滑动柱，所述滑动柱活动嵌套连接于所述升降横梁的内部侧面上；

夹持板，所述夹持板固定连接于所述滑动柱的一端；

压紧弹簧，所述压紧弹簧连接于所述滑动柱的侧面上；

按压块，所述按压块滑动连接于所述升降横梁的前端面中部位置，且所述按压块的后端与所述夹持板相连接。

采用上述技术方案，能便于通过按动按压块带动夹持板与升降横梁内壁分离，将升降横梁移动至探针上端，松开按压块即可使得夹持板对整列的探针进行夹持。

优选的，所述夹持调节螺杆的左右两端侧面上的螺纹旋向相反。

采用上述技术方案，能便于通过夹持调节螺杆的左右两端侧面上的螺纹旋向相反使得夹持调节螺杆转动时能够带动其左右两侧的固定板相互靠近或相互远离运动。

优选的，所述升降横梁的左端连接有结构形状为“T”形的滑块。

采用上述技术方案，能便于通过升降横梁的左端连接的结构形状为“T”形的滑块使得升降横梁能够更加稳定在纵向滑槽内上下滑动。

优选的，所述横向滑杆与所述工作台的表面垂直设置。

采用上述技术方案，能便于通过横向滑杆与工作台的表面垂直设置使得升降横梁能够与工作台表面平行，从而便于对探针卡上的探针进行夹取。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该适用于半导体芯片测试系统的探针夹具能便于通过横向滑杆和升降横梁的配合对探针夹取机构进行稳定便捷的移动，从而能够防止夹取探针时造成其弯折损坏，且能便于通过探针夹取机构对探针的一列进行同时夹取，从而提高了对探针夹取更换的效率：

1、通过拧动调节旋钮使得其带动横向调节螺杆转动，横向调节螺杆转动带动横向滑杆在横向滑槽内前后移动，能够实现将升降横梁精准的调节至探针的正上方，通过上下滑动升降横梁即可将其内部的探针夹取机构调节到适当的高度，从而能便于通过横向滑杆和升降横梁的配合对探针夹取机构进行稳定便捷的移动，能够防止夹取探针时造成其弯折损坏；

2、通过按动按压块，使得按压块带动夹持板运动与升降横梁内部分离，向下滑动升降横梁，使得探针上端进入到夹持板与升降横梁的内壁之间，松开按压块，使得夹持板在压紧弹簧的弹力作用下对整列探针进行夹持，再通过向上滑动升降横梁即可将探针从探针卡中取出更换，从而能便于通过探针夹取机构对探针的一列进行同时夹取，提高了对探针夹取更换的效率。

附图说明

图1为本实用新型前视立体结构示意图；

图2为本实用新型俯视立体结构示意图；

图3为本实用新型升降横梁仰视结构示意图；

图4为本实用新型图3中A点放大结构示意图；

图5为本实用新型升降横梁剖面结构示意图；

图6为本实用新型图5中B点放大结构示意图。

图中：1、工作台；2、支撑柱；3、探针卡固定机构；301、固定板；302、夹持调节螺杆；303、调节摇柄；4、安装板；5、横向滑槽；6、横向滑杆；7、横向调节螺杆；8、调节旋钮；9、纵向滑槽；10、升降横梁；11、探针夹取机构；1101、滑动柱；1102、夹持板；1103、压紧弹簧；1104、按压块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：

一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括工作台1，还包括：

支撑柱2，支撑柱2连接于工作台1的下端面四周位置；探针卡固定机构3，探针卡固定机构3设置于工作台1的上端面中部位置；探针卡固定机构3包括：固定板301，固定板301滑动连接于工作台1的上端面两侧位置；夹持调节螺杆302，夹持调节螺杆302通过轴承连接于工作台1的内部；调节摇柄303，调节摇柄303固定连接于夹持调节螺杆302的一端；夹持调节螺杆302的左右两端侧面上的螺纹旋向相反；通过将探针卡放置到工作台1的中部位置，摇动调节摇柄303，使得调节摇柄303带动夹持调节螺杆302转动，夹持调节螺杆302转动带动其两侧连接的固定板301相互靠近运动，从而对探针卡进行夹持固定。

安装板4，安装板4连接于工作台1的上端面左侧位置；横向滑槽5，横向滑槽5设置于安装板4的上侧内部位置；横向滑杆6，横向滑杆6的下端滑动连接于横向滑槽5的内部；横向滑杆6与工作台1的表面垂直设置；横向调节螺杆7，横向调节螺杆7通过轴承连接于横向滑槽5的内部，且横向调节螺杆7与横向滑杆6的下端螺纹连接；调节旋钮8，调节旋钮8固定连接于横向调节螺杆7的前端位置；通过拧动调节旋钮8，调节旋钮8带动横向调节螺杆7转动，使得横向调节螺杆7转动带动横向滑杆6在横向滑槽5内前后移动，能够实现将升降横梁10精准的调节至探针的正上方，通过上下滑动升降横梁10即可将其内部的探针夹取机构11调节到适当的高度。

纵向滑槽9，纵向滑槽9设置于横向滑杆6的右端面内部位置；升降横梁10，升降横梁10滑动连接于纵向滑槽9的内部；升降横梁10的左端连接有结构形状为“T”形的滑块；探针夹取机构11，探针夹取机构11设置于升降横梁10的内部位置；探针夹取机构11包括：滑动柱1101，滑动柱1101活动嵌套连接于升降横梁10的内部侧面上；夹持板1102，夹持板1102固定连接于滑动柱1101的一端；压紧弹簧1103，压紧弹簧1103连接于滑动柱1101的侧面上；按压块1104，按压块1104滑动连接于升降横梁10的前端面中部位置，且按压块1104的后端与夹持板1102相连接；通过按动按压块1104，按压块1104带动夹持板1102运动与升降横梁10内部分离，通过向下滑动升降横梁10，使得探针上端进入到夹持板1102与升降横梁10的内壁之间，松开按压块1104，使得夹持板1102在压紧弹簧1103的弹力作用下对整列探针进行夹持，再通过向上滑动升降横梁10即可将探针从探针卡中取出更换，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括工作台(1)，其特征在于，还包括：

支撑柱(2)，所述支撑柱(2)连接于所述工作台(1)的下端面四周位置；

探针卡固定机构(3)，所述探针卡固定机构(3)设置于所述工作台(1)的上端面中部位置；

安装板(4)，所述安装板(4)连接于所述工作台(1)的上端面左侧位置；

横向滑槽(5)，所述横向滑槽(5)设置于所述安装板(4)的上侧内部位置；

横向滑杆(6)，所述横向滑杆(6)的下端滑动连接于所述横向滑槽(5)的内部；

横向调节螺杆(7)，所述横向调节螺杆(7)通过轴承连接于所述横向滑槽(5)的内部，且所述横向调节螺杆(7)与所述横向滑杆(6)的下端螺纹连接；

调节旋钮(8)，所述调节旋钮(8)固定连接于所述横向调节螺杆(7)的前端位置；

纵向滑槽(9)，所述纵向滑槽(9)设置于所述横向滑杆(6)的右端面内部位置；

升降横梁(10)，所述升降横梁(10)滑动连接于所述纵向滑槽(9)的内部；

探针夹取机构(11)，所述探针夹取机构(11)设置于所述升降横梁(10)的内部位置。

2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，所述探针卡固定机构(3)包括：

固定板(301)，所述固定板(301)滑动连接于所述工作台(1)的上端面两侧位置；

夹持调节螺杆(302)，所述夹持调节螺杆(302)通过轴承连接于所述工作台(1)的内部；

调节摇柄(303)，所述调节摇柄(303)固定连接于所述夹持调节螺杆(302)的一端。

3.根据权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，所述探针夹取机构(11)包括：

滑动柱(1101)，所述滑动柱(1101)活动嵌套连接于所述升降横梁(10)的内部侧面上；

夹持板(1102)，所述夹持板(1102)固定连接于所述滑动柱(1101)的一端；

压紧弹簧(1103)，所述压紧弹簧(1103)连接于所述滑动柱(1101)的侧面上；

按压块(1104)，所述按压块(1104)滑动连接于所述升降横梁(10)的前端面中部位置，且所述按压块(1104)的后端与所述夹持板(1102)相连接。

4.根据权利要求2所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述夹持调节螺杆(302)的左右两端侧面上的螺纹旋向相反。

5.根据权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述升降横梁(10)的左端连接有结构形状为“T”形的滑块。

6.根据权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于：所述横向滑杆(6)与所述工作台(1)的表面垂直设置。

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