CN217543489U

CN217543489U - 多维复合高精度调整架

Info

Publication number: CN217543489U
Application number: CN202220868525.7U
Authority: CN
Inventors: 张清雷
Original assignee: Leiyu Technology Dalian Co ltd
Current assignee: Leiyu Technology Dalian Co ltd
Priority date: 2022-04-15
Filing date: 2022-04-15
Publication date: 2022-10-04
Anticipated expiration: 2032-04-15

Abstract

本实用新型涉及多维复合高精度调整架，包括干涉仪调整架、CGH调整架、和CGH+干涉仪调整架等。所述干涉仪固定在干涉仪调整架上，CGH固定在CGH调整架的旋转台上，干涉仪调整架和CGH调整架整体坐落在CGH+干涉仪调整架上，干涉仪固定在安装面上，安装面通过第一直线导轨与基座连接一起，第一伺服电通过驱动第一滚珠丝杠使安装面在基座上移动。干涉仪调整架由一个自由度组成，只调整干涉仪前后移动距离，CGH调整架由四个自由度左侧，分别调整CGH的旋转角度，X和Y方向移动距离及Z向移动距离，CGH+干涉仪调整架由四个自由度组成，分别调整CGH+干涉仪整体结构的升降距离、前后俯仰角度、水平回转角度及前后移动距离。

Description

多维复合高精度调整架

技术领域

本实用新型涉及光学技术领域，尤其涉及多维复合高精度调整架。

背景技术

在光学领域当中，涉及到干涉仪和CGH的相对位置和整体位置调整，需要控制多个自由度，并每个自由度的定位精度很高，针对以上问题，我们设计了多维复合高精度调整架。

为此，我们提出多维复合高精度调整架。

实用新型内容

本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供多维复合高精度调整架。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案，多维复合高精度调整架，包括干涉仪调整架、CGH调整架、CGH+干涉仪调整架、基座、第一直线导轨、安装面、第一滚珠丝杠、第一伺服电机、XY向横移组合滑台、旋转台、CGH安装座、第二滚珠丝杠、移动支架、第二伺服电机、旋转基座、滑鞍A、轴承座a、滑台D、滑台A、滑台B、滑台C、轴承座b、滑鞍B、滑鞍C、滑动槽c、滑动槽d、滑鞍D、底座、第二直线导轨、底板、滑动槽、驱动机构、凸轮随动器、连接板、减速器、伺服电机和齿条，其特征在于：所述干涉仪固定在干涉仪调整架上，CGH固定在CGH调整架的旋转台上，干涉仪调整架和CGH调整架整体坐落在CGH+干涉仪调整架上，干涉仪固定在安装面上，安装面通过第一直线导轨与基座连接一起，第一伺服电通过驱动第一滚珠丝杠使安装面在基座上移动；

所述CGH通过CGH安装座固定在旋转台的旋转面上，旋转台固定在XY向横移组合滑台的滑鞍上，XY向横移组合滑台固定在移动支架上，移动支架通过第一直线导轨与基座连接在一起，第二伺服电机带动第二滚珠丝杠旋转；

所述滑台A、滑台B、滑台C和滑台D分别固定在旋转基座上，轴承座a 和轴承b分别固定在基座上，滑鞍A通过轴与轴承座a配合在一起，滑鞍B通过轴与轴承座b配合在一起，基座的两侧面分别固定了滑动槽c和滑动槽d，滑鞍C通过凸轮随动器与滑动槽c配合在一起，滑鞍D通过凸轮随动器与滑动槽d配合在一起，滑台A和滑台B永远同步运行，滑台C和滑台D永远同步运行，旋转基座固定在回转支承的上部旋转台上，回转支承底座固定在底板上，凸轮随动器通过连接板与旋转基座连接在一起，滑动槽的底部固定在驱动机构的移动部位上，驱动机构固定在底板上。

进一步，所述滑动槽的内侧与凸轮随动器紧密配合在一起，底板通过第二直线导轨与底座连接在一起。

进一步，所述齿条固定在底座上，减速器固定在底板上。

进一步，所述减速器的输出轴上设置有小齿轮，小齿轮固定在减速器的输出轴上。

进一步，所述小齿轮与齿条啮合在一起。

有益效果

本实用新型提供了多维复合高精度调整架。具备以下有益效果：

(1)、该多维复合高精度调整架，此多维调整架主要由干涉仪调整架、 CGH调整架和CGH+干涉仪调整架三个部分组成，干涉仪调整架由一个自由度组成，只调整干涉仪前后移动距离，CGH调整架由四个自由度左侧，分别调整 CGH的旋转角度，X和Y方向移动距离及Z向移动距离，CGH+干涉仪调整架由四个自由度组成，分别调整CGH+干涉仪整体结构的升降距离、前后俯仰角度、水平回转角度及前后移动距离。

(2)、该多维复合高精度调整架，本实用新型实现9个自由度的组合调整，位移重复定位精度为0.01mm，分别率为0.001mm，角度重复的定位精度 10″，角度分辨率1″。

附图说明

本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义。

图1为本实用新型的整体结构图；

图2为本实用新型的干涉仪调整架和CGH调整架的结构图；

图3为本实用新型的CGH+干涉仪调整架的调整升降高度和俯仰角的结构图；

图4为本实用新型的CGH+干涉仪整体的水平回转角度和位移装置的结构图。

图例说明：

1、干涉仪调整架；2、CGH调整架；2.1、基座；2.2、第一直线导轨； 2.3、安装面；2.4、第一滚珠丝杠；2.5、第一伺服电机；2.6、XY向横移组合滑台；2.7、旋转台；2.8、CGH安装座；2.9、第二滚珠丝杠；2.10、移动支架；2.11、第二伺服电机；3、CGH+干涉仪调整架；3.1、旋转基座；3.2、滑鞍A；3.3、轴承座a；3.4、滑台D；3.5、滑台A；3.6、滑台B；3.7、滑台C；3.8、轴承座b；3.9、滑鞍B；3.10、滑鞍C；3.11、滑动槽c；3.12、滑动槽d；3.13、滑鞍D；4.1、底座；4.2、第二直线导轨；4.3、底板；4.4、滑动槽；4.5、驱动机构；4.6、凸轮随动器；4.7、连接板；4.8、减速器； 4.9、第三伺服电机；4.10、齿条。

具体实施方式

多维复合高精度调整架，如图1－图4所示，包括干涉仪调整架1、CGH 调整架2、CGH+干涉仪调整架3、基座2.1、第一直线导轨2.2、安装面2.3、第一滚珠丝杠2.4、第一伺服电机2.5、XY向横移组合滑台2.6、旋转台2.7、 CGH安装座2.8、第二滚珠丝杠2.9、移动支架2.10、第二伺服电机2.11、旋转基座3.1、滑鞍A3.2、轴承座a3.3、滑台D3.4、滑台A3.5、滑台B3.6、滑台C3.7、轴承座b3.8、滑鞍B3.9、滑鞍C3.10、滑动槽c3.11、滑动槽d3.12、滑鞍D3.13、底座4.1、第二直线导轨4.2、底板4.3、滑动槽4.4、驱动机构 4.5、凸轮随动器4.6、连接板4.7、减速器4.8、第三伺服电机4.9和齿条 4.10，干涉仪固定在干涉仪调整架1上，CGH固定在CGH调整架的旋转台上，干涉仪调整架1和CGH调整架2整体坐落在CGH+干涉仪调整架3上。

干涉仪固定在安装面2.3上，安装面通过第一直线导轨2.2与基座2.1 连接一起，第一伺服电2.5通过驱动第一滚珠丝杠2.4使安装面2.3在基座 2.1上移动，从而实现干涉仪的位置调整功能。

CGH通过CGH安装座2.8固定在旋转台2.7的旋转面上，通过驱动旋转台 2.7使CGH绕旋转台2.7中心回转360度调整功能，旋转台2.7固定在XY向横移组合滑台的2.6的滑鞍上，驱动XY向伺服电机可以实现CGH在分别X方向和Y方向的位置调整功能，XY向横移组合滑台2.6固定在移动支架2.10上，移动支架2.10通过第一直线导轨2.2与基座2.1连接在一起，第二伺服电机 2.11带动第二滚珠丝杠2.9旋转，从而带动移动支架2.10在基座2.1上移动，从而实现CGH的Z向位移调整功能。

滑台A3.5、滑台B3.6、滑台C3.7和滑台D3.4分别固定在旋转基座3.1 上，轴承座a3.3和轴承b 3.8分别固定在基座2.1上，滑鞍A 3.2通过轴与轴承座a3.3配合在一起，滑鞍B 3.9通过轴与轴承座b 3.8配合在一起，因此基座2.1可以绕轴承a和轴承座b中心做旋转运动，基座2.1的两侧面分别固定了滑动槽c 3.11和滑动槽d 3.12，滑鞍C 3.10通过凸轮随动器与滑动槽c 3.11配合在一起，滑鞍D 3.13通过凸轮随动器与滑动槽d 3.12配合在一起，滑台A和滑台B永远同步运行，滑台C和滑台D永远同步运行，当滑鞍A 3.2和滑鞍B 3.9不动，滑鞍C 3.10和滑鞍D 3.13升降时，可以实现基座2.1绕轴承a和轴承座b中心旋转，从而实现CGH和干涉仪的前后俯仰角度调整功能,当四个滑块同时升降时基座2.1跟着升降，从而实现CGH和干涉仪的升降高度调整功能。

旋转基座3.1固定在回转支承的上部旋转台上，回转支承底座固定在底板4.3上，因此旋转底座3.1可以绕回转支承中心旋转，凸轮随动器4.6通过连接板4.7与旋转基座3.1连接在一起，滑动槽4.4的底部固定在驱动机构4.5的移动部位上，驱动机构4.5固定在底板4.3上，滑动槽4.4的内侧与凸轮随动器4.6紧密配合在一起，因此当驱动机构4.5运行时推动凸轮随动器移动，从而间接推动连接板4.7，使旋转基座3.1做旋转运动，最终实现 CGH+干涉仪的整体水平回转角度调整功能。底板4.3通过第二直线导轨4.2 与底座4.1连接在一起，齿条4.10固定在底座4.1上，减速器4.8固定在底板4.3上，减速器4.8的输出轴上设置有小齿轮，小齿轮固定在减速器4.8 的输出轴上，小齿轮与齿条4.10啮合在一起，当第三伺服电机4.9通过减速器4.8带动小齿轮旋转，通过齿轮齿条的啮合使底板4.3在底座4.1上移动，最终CGH+干涉仪的整体水平位置调整功能。

此多维调整架主要由干涉仪调整架1、CGH调整架2和CGH+干涉仪调整架 3三个部分组成，干涉仪调整架由一个自由度组成，只调整干涉仪前后移动距离，CGH调整架2由四个自由度左侧，分别调整CGH的旋转角度，X和Y方向移动距离及Z向移动距离，CGH+干涉仪调整架3由四个自由度组成，分别调整CGH+干涉仪整体结构的升降距离、前后俯仰角度、水平回转角度及前后移动距离。本实用新型实现9个自由度的组合调整，位移重复定位精度为0.01mm，分别率为0.001mm，角度重复的定位精度10″，角度分辨率1″。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims

1.多维复合高精度调整架，包括干涉仪调整架、CGH调整架、CGH+干涉仪调整架、基座、第一直线导轨、安装面、第一滚珠丝杠、第一伺服电机、XY向横移组合滑台、旋转台、CGH安装座、第二滚珠丝杠、移动支架、第二伺服电机、旋转基座、滑鞍A、轴承座a、滑台D、滑台A、滑台B、滑台C、轴承座b、滑鞍B、滑鞍C、滑动槽c、滑动槽d、滑鞍D、底座、第二直线导轨、底板、滑动槽、驱动机构、凸轮随动器、连接板、减速器、伺服电机和齿条，其特征在于：所述干涉仪固定在干涉仪调整架上，CGH固定在CGH调整架的旋转台上，干涉仪调整架和CGH调整架整体坐落在CGH+干涉仪调整架上，干涉仪固定在安装面上，安装面通过第一直线导轨与基座连接一起，第一伺服电通过驱动第一滚珠丝杠使安装面在基座上移动；

所述滑台A、滑台B、滑台C和滑台D分别固定在旋转基座上，轴承座a和轴承b分别固定在基座上，滑鞍A通过轴与轴承座a配合在一起，滑鞍B通过轴与轴承座b配合在一起，基座的两侧面分别固定了滑动槽c和滑动槽d，滑鞍C通过凸轮随动器与滑动槽c配合在一起，滑鞍D通过凸轮随动器与滑动槽d配合在一起，滑台A和滑台B永远同步运行，滑台C和滑台D永远同步运行，旋转基座固定在回转支承的上部旋转台上，回转支承底座固定在底板上，凸轮随动器通过连接板与旋转基座连接在一起，滑动槽的底部固定在驱动机构的移动部位上，驱动机构固定在底板上。

2.根据权利要求1所述的多维复合高精度调整架，其特征在于：所述滑动槽的内侧与凸轮随动器紧密配合在一起，底板通过第二直线导轨与底座连接在一起。

3.根据权利要求1所述的多维复合高精度调整架，其特征在于：所述齿条固定在底座上，减速器固定在底板上。

4.根据权利要求1所述的多维复合高精度调整架，其特征在于：所述减速器的输出轴上设置有小齿轮，小齿轮固定在减速器的输出轴上。

5.根据权利要求4所述的多维复合高精度调整架，其特征在于：所述小齿轮与齿条啮合在一起。