CN217499386U - 一种钕铁硼真空镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于真空镀膜机技术领域，尤其为一种钕铁硼真空镀膜机，包括机体，所述机体的上部设置有真空镀膜仓，所述真空镀膜仓内部的底壁上通过轴承座转动连接有转杆，本实用新型，通过设置转杆，并在转杆上设置了可拆装的套杆，把套杆套在转杆上的，利用电机带动转杆转动，转杆就可以带动套杆转动，套杆则利用竖向刮杆和横向刮杆组成清理组件，刮去真空镀膜仓内壁的沉淀物和污垢，不使用时，可以取下转杆上的套杆，从而方便清洗清理组件上的的污垢，同时也避免在使用机体过程中，造成清理组件沾染沉淀物和污垢，提高了机体的清理效率，该装置操作简单，易于拆装，且不易沾染污垢，有效提高了机体的整体清洁，减少了人工清理清理组件的负担。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种钕铁硼真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机包括磁控溅射，MBE分子束外延和电子枪加热蒸发等多种，是一种需要在较高真空度下才能进行的镀膜的机器，一般对钕铁硼进行镀膜则会用到真空镀膜机，真空镀膜机使用过程中，真空镀膜机的仓内会残留大量镀膜材料，这些镀膜材料不清理的情况下就会导致沉淀堆积，影响真空镀膜机的正常工作，且在使用不同的镀膜材料时，也需要清理掉之前残留在真空镀膜机内的镀膜材料，目前的真空镀膜机内部残留的镀膜材料需要人工定期清理，从而确保真空镀膜机的正常使用，这会增加了人工成本和负担，非常的麻烦。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种钕铁硼真空镀膜机，解决了上述背景技术中所提出钕铁硼真空镀膜机内部会附着大量的沉淀物，需要人工清理，非常的麻烦的问题。
(二)技术方案
本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
一种钕铁硼真空镀膜机，包括机体，所述机体的上部设置有真空镀膜仓，所述真空镀膜仓内部的底壁上通过轴承座转动连接有转杆，所述转杆的一端与机体底壁的电机的输出端固定连接，所述转杆的外侧滑动连接有套杆，所述套杆的两侧均设置有竖向刮杆，所述竖向刮杆背离套杆的一侧与真空镀膜仓内壁抵触连接，所述竖向刮杆与套杆之间安装有横向刮杆和连接杆，所述横向刮杆位于连接杆的下方，且横向刮杆的底部与真空镀膜仓内部的底壁抵触连接，所述机体上的上部通过转轴转动连接有盖门，所述盖门与真空镀膜仓的仓口处相适配。
优选的，所述转杆的顶端螺纹连接有螺母，所述螺母的底部与套杆的顶端抵触连接。
优选的，所述真空镀膜仓内部的底壁上开设除垢口，所述除垢口位于转杆的一侧，所述除垢口空腔内螺纹连接有密封塞。
优选的，对应所述机体的外侧抵触套设有固定架，所述机体的底部的四个边角部位处均安装有支撑脚。
优选的，所述机体的一侧开设有检修口，所述检修口与真空镀膜仓贯通连接。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种钕铁硼真空镀膜机，具备以下有益效果：
本实用新型，通过设置转杆，并在转杆上设置了可拆装的套杆，把套杆套在转杆上的，利用电机带动转杆转动，转杆就可以带动套杆转动，套杆则利用竖向刮杆和横向刮杆组成清理组件，刮去真空镀膜仓内壁的沉淀物和污垢，不使用时，可以取下转杆上的套杆，从而方便清洗清理组件上的的污垢，同时也避免在使用机体过程中，造成清理组件沾染沉淀物和污垢，提高了机体的清理效率，该装置操作简单，易于拆装，且不易沾染污垢，有效提高了机体的整体清洁，减少了人工清理清理组件的负担。
附图说明
图1为本实用新型整体立体结构示意图；
图2为本实用新型机体和套杆的配合立体示意图；
图3为本实用机体的剖面立体示意图；
图4为本实用新型套杆、竖向刮杆和横向刮杆的配合立体示意图。
图中：1、机体；2、检修口；3、固定架；4、支撑脚；5、盖门；6、真空镀膜仓；7、转杆；8、套杆；9、连接杆；10、竖向刮杆；11、横向刮杆；12、螺母；13、除垢口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例
如图1至图4所示，本实用新型一个实施例提出的一种钕铁硼真空镀膜机，包括机体1，机体1的上部设置有真空镀膜仓6，真空镀膜仓6内部的底壁上通过轴承座转动连接有转杆7，转杆7的一端与机体1底壁的电机的输出端固定连接，转杆7的外侧滑动连接有套杆8，套杆8的两侧均设置有竖向刮杆10，竖向刮杆10背离套杆8的一侧与真空镀膜仓6内壁抵触连接，竖向刮杆10与套杆8之间安装有横向刮杆11和连接杆9，横向刮杆11位于连接杆9的下方，且横向刮杆11的底部与真空镀膜仓6内部的底壁抵触连接，机体1上的上部通过转轴转动连接有盖门5，盖门5与真空镀膜仓6的仓口处相适配；
真空镀膜仓6用于钕铁硼镀膜，电机与电源电性连接，用于带动转杆7转动，转杆7用于固定套杆8，并带动套杆8转动，套杆8用于通过横向刮杆11和连接杆9可以带动竖向刮杆10围绕套杆8转动，横向刮杆11和连接杆9用于固定连接竖向刮杆10和套杆8，其中，横向刮杆11也是用于接触真空镀膜仓6内部的底壁，并刮去真空镀膜仓6内部的底壁上的沉淀物和污垢，竖向刮杆10则是用于接触真空镀膜仓6内部的侧壁，并刮去真空镀膜仓6内部的侧壁上的沉淀物和污垢，盖门5用于开关真空镀膜仓6，其中，套杆8和转杆7的设计，也是为了方便在不使用时，可以下套杆8。
进一步的，转杆7的顶端螺纹连接有螺母12，螺母12的底部与套杆8的顶端抵触连接；
螺母12用于限制位于转杆7上的套杆8，使套杆8无法脱离转杆7。
具体的，真空镀膜仓6内部的底壁上开设除垢口13，除垢口13位于转杆7的一侧，除垢口13空腔内螺纹连接有密封塞；
除垢口13用于排出真空镀膜仓6内部的污垢，密封塞则是为了堵住除垢口13。
值得说明的是，对应机体1的外侧抵触套设有固定架3，机体1的底部的四个边角部位处均安装有支撑脚4；
固定架3用于稳定机体1，支撑脚4用于支撑机体1。
进一步的，机体1的一侧开设有检修口2，检修口2与真空镀膜仓6贯通连接；
检修口2是为了方便工作人员检修和观察真空镀膜仓6内部情况用的。
工作原理：需要清理真空镀膜仓6内壁时，把盖门5打开，把套杆8套进转杆7上，然后把螺母12螺纹连接到转杆7顶端并抵住套杆8上的转杆7，关上盖门5，启动电机带动转杆7转动，转杆7带动套杆8转动，套杆8则利用连接杆9和横向刮杆11使竖向刮杆10围绕转杆7转动，其中，竖向刮杆10在转动过程中会刮去真空镀膜仓6内壁上的附着物和污垢，横向刮杆11则会刮去掉真空镀膜仓6内部的底壁上的附着物和污垢。
最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种钕铁硼真空镀膜机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的上部设置有真空镀膜仓(6)，所述真空镀膜仓(6)内部的底壁上通过轴承座转动连接有转杆(7)，所述转杆(7)的一端与机体(1)底壁的电机的输出端固定连接，所述转杆(7)的外侧滑动连接有套杆(8)，所述套杆(8)的两侧均设置有竖向刮杆(10)，所述竖向刮杆(10)背离套杆(8)的一侧与真空镀膜仓(6)内壁抵触连接，所述竖向刮杆(10)与套杆(8)之间安装有横向刮杆(11)和连接杆(9)，所述横向刮杆(11)位于连接杆(9)的下方，且横向刮杆(11)的底部与真空镀膜仓(6)内部的底壁抵触连接，所述机体(1)上的上部通过转轴转动连接有盖门(5)，所述盖门(5)与真空镀膜仓(6)的仓口处相适配。
2.根据权利要求1所述的一种钕铁硼真空镀膜机，其特征在于：所述转杆(7)的顶端螺纹连接有螺母(12)，所述螺母(12)的底部与套杆(8)的顶端抵触连接。
3.根据权利要求1所述的一种钕铁硼真空镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜仓(6)内部的底壁上开设除垢口(13)，所述除垢口(13)位于转杆(7)的一侧，所述除垢口(13)空腔内螺纹连接有密封塞。
4.根据权利要求1所述的一种钕铁硼真空镀膜机，其特征在于：对应所述机体(1)的外侧抵触套设有固定架(3)，所述机体(1)的底部的四个边角部位处均安装有支撑脚(4)。
5.根据权利要求1所述的一种钕铁硼真空镀膜机，其特征在于：所述机体(1)的一侧开设有检修口(2)，所述检修口(2)与真空镀膜仓(6)贯通连接。
Priority Applications (1)
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| CN202221188871.7U CN217499386U (zh) | 2022-05-17 | 2022-05-17 | 一种钕铁硼真空镀膜机 |
Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116657100A (zh) * | 2023-06-12 | 2023-08-29 | 扬州吉山津田光电科技有限公司 | 一种立式真空蒸镀机 |
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2022
- 2022-05-17 CN CN202221188871.7U patent/CN217499386U/zh active Active
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| CN116657100A (zh) * | 2023-06-12 | 2023-08-29 | 扬州吉山津田光电科技有限公司 | 一种立式真空蒸镀机 |
| CN116657100B (zh) * | 2023-06-12 | 2024-01-23 | 扬州吉山津田光电科技有限公司 | 一种立式真空蒸镀机 |
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