CN217492992U

CN217492992U - 高温真空钎焊炉中抗扭曲易拆装的加热钼带绝缘支撑座

Info

Publication number: CN217492992U
Application number: CN202221270215.1U
Authority: CN
Inventors: 唐宏波; 李建飞; 暴翔; 刘晓蕾; 陈洪
Original assignee: Northwest Electronic Equipment Institute of Technology
Current assignee: Northwest Electronic Equipment Institute of Technology
Priority date: 2022-05-25
Filing date: 2022-05-25
Publication date: 2022-09-27
Anticipated expiration: 2032-05-25

Abstract

本实用新型公开了一种高温真空钎焊炉中抗扭曲易拆装的加热钼带绝缘支撑座，解决了现有支座存在的抗扭曲性差和不易拆装的问题；包括反射屏固定管（1）、加热钼带的U形托架（14）和陶瓷套管，在陶瓷套管的外侧壁上设置有环形台阶，通过四个陶瓷套管嵌入到对应的反射屏固定管（1）上的通孔中，上支撑销（6）和下支撑销（9）将U形托架（14）固定在反射屏固定管（1）顶端正上方，四个陶瓷套管将反射屏固定管（1）与U形托架（14）绝缘隔离开来，从对应的两陶瓷套管穿过的上支撑销（6）和下支撑销（9）与反射屏固定管（1）不接触；使钼带及其制作的扭曲不会牵连到固定在反射屏上的反射屏固定管。

Description

高温真空钎焊炉中抗扭曲易拆装的加热钼带绝缘支撑座

技术领域

本实用新型涉及一种钎焊炉内支撑座，特别涉及一种高温真空钎焊炉中抗扭曲易拆装的加热钼带绝缘支撑座。

背景技术

真空钎焊炉是一种在高真空高温环境中对半导体器件进行钎焊的设备，钎焊过程为：对预焊接的两半导体器件上的需焊接部位，进行清洗去污，然后，涂以助焊剂，并铺上焊料（粉状、粒状、片状焊料），将两个半导体器件对接后，放入钎焊炉内的料盘中；对钎焊炉炉腔进行抽真空，使炉内真空度达到10^-4Pa的高真空状态；加热炉内温度，使料盘中半导体器件的温度达到焊料的熔点温度，焊料熔化，将两半导体器件的焊接处连通在一起；随后降低炉温，使熔化的焊料凝固，从而完成两个半导体器件的焊接。钎焊炉炉腔内的焊接工作温度一般要达到1100℃，温度的控制需要使焊料熔化，而被焊半导体器件不能被融化的状态，并且要求炉内温度热场要稳定，才能保证钎焊的质量，由于炉内处于高真空状态，热量主要靠辐射来进行传递，稳定的辐射热场是完成高质量钎焊的条件；现有技术是通过在钎焊炉的炉腔内均匀布设加热钼带，给加热钼带通以三相交流电流，靠加热钼带通电后的热辐射，对炉腔中央处放置在料盘中的两对接的半导体器件实现钎焊的；在真空钎焊炉的炉膛内，一般设置有多层筒状布置的反射屏，在反射屏内，通过绝缘支架设置有环形布置的加热钼带，加热钼带通电后所发出的辐射热，被炉腔内封闭布置的反射屏反射，使其保持在炉膛内，而不发生泄漏，使腔内形成较稳定的高温热场，以达到对半导体器件钎焊的要求。

现有钎焊炉是通过一个整体式绝缘瓷座，对加热钼带进行绝缘支撑的，绝缘瓷座被固定安装在炉内多层筒状反射屏的内侧，当炉内工作温度高达摄氏1100度时，加热钼带会发生扭曲变形，由于加热钼带的热膨胀系数、绝缘瓷座的热膨胀系数、反射屏的热膨胀系数不相同，使反射屏、整体式绝缘瓷座与钼加热带，三者之间就会产生拉伸扭曲，情况严重时，还会使整体式绝缘瓷座发生破裂，使炉内温度场结构发生变化，导致炉中央料盘中的焊料过熔或欠熔，严重时会影响到钎焊的质量，如何解决整体式绝缘瓷座的扭曲拉伸问题，是钎焊炉保温场结构设计的一个问题；此外，现有的绝缘瓷座还存在不易拆装的缺陷。

发明内容

本实用新型提供了一种高温真空钎焊炉中抗扭曲易拆装的加热钼带绝缘支撑座，解决了现有支座存在的抗扭曲性差和不易拆装的技术问题。

本实用新型是通过以下技术方案解决以上技术问题的：

一种高温真空钎焊炉中抗扭曲易拆装的加热钼带绝缘支撑座，包括反射屏固定管、加热钼带的U形托架和陶瓷套管，在陶瓷套管的外侧壁上设置有环形台阶，在反射屏固定管顶端左侧管壁上，分别设置有管壁左上通孔和管壁左下通孔，在反射屏固定管顶端右侧管壁上，分别设置有管壁右上通孔和管壁右下通孔，管壁左上通孔与管壁右上通孔是对应设置的，管壁左下通孔与管壁右下通孔是对应设置的，在管壁左上通孔中嵌入有左上陶瓷套管，左上陶瓷套管通过其上的环形台阶嵌入到管壁左上通孔中，在管壁右上通孔中嵌入有右上陶瓷套管，在管壁左下通孔中嵌入有左下陶瓷套管，在管壁右下通孔中嵌入有右下陶瓷套管；在U形托架的底板上分别连接有左T形支座板和右T形支座板，在左T形支座板上，分别设置有左T形支座板左上通孔和左T形支座板左下通孔，在右T形支座板上，分别设置有右T形支座板右上通孔和右T形支座板右下通孔；U形托架设置在反射屏固定管顶端的正上方，在左T形支座板左上通孔、管壁左上通孔、管壁右上通孔和右T形支座板右上通孔之间，穿接有上支撑销，在左T形支座板左下通孔、管壁左下通孔、管壁右下通孔和右T形支座板右下通孔之间，穿接有下支撑销。

在U形托架上设置有钼带压接销，钼带设置在U形托架的底板与钼带压接销之间，在反射屏固定管上设置有定位环板。

本实用新型的腔内加热钼带的绝缘支架的结构克服了高温受热膨胀后与反射屏之间容易发生拉拽和扭曲的缺陷，通过四个陶瓷套管，将反射屏固定管与钼带支撑座绝缘隔离，使钼带及其制作的扭曲不会牵连到固定在反射屏上的反射屏固定管，保证了反射屏所封闭热场的稳定。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的反射屏固定管1与陶瓷套管的配合关系图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行详细说明：

一种高温真空钎焊炉中抗扭曲易拆装的加热钼带绝缘支撑座，包括反射屏固定管1、加热钼带的U形托架14和陶瓷套管，在陶瓷套管的外侧壁上设置有环形台阶，在反射屏固定管1顶端左侧管壁上，分别设置有管壁左上通孔2和管壁左下通孔，在反射屏固定管1顶端右侧管壁上，分别设置有管壁右上通孔3和管壁右下通孔，管壁左上通孔2与管壁右上通孔3是对应设置的，管壁左下通孔与管壁右下通孔是对应设置的，在管壁左上通孔2中嵌入有左上陶瓷套管4，左上陶瓷套管4通过其上的环形台阶嵌入到管壁左上通孔2中，在管壁右上通孔3中嵌入有右上陶瓷套管5，在管壁左下通孔中嵌入有左下陶瓷套管7，在管壁右下通孔中嵌入有右下陶瓷套管8；在U形托架14的底板上分别连接有左T形支座板10和右T形支座板13，在左T形支座板10上，分别设置有左T形支座板左上通孔11和左T形支座板左下通孔12，在右T形支座板13上，分别设置有右T形支座板右上通孔和右T形支座板右下通孔；U形托架14设置在反射屏固定管1顶端的正上方，在左T形支座板左上通孔11、管壁左上通孔2、管壁右上通孔3和右T形支座板右上通孔之间，穿接有上支撑销6，在左T形支座板左下通孔12、管壁左下通孔、管壁右下通孔和右T形支座板右下通孔之间，穿接有下支撑销9；上支撑销6和下支撑销9将U形托架14固定在反射屏固定管1顶端正上方，四个陶瓷套管将反射屏固定管1与U形托架14绝缘隔离开来，从对应的两陶瓷套管穿过的上支撑销6和下支撑销9与反射屏固定管1不接触，实现了与反射屏固定管1的绝缘隔离，U形托架14、左T形支座板10、右T形支座板13、上支撑销6和下支撑销9电连接在一起。

在U形托架14上设置有钼带压接销15，钼带设置在U形托架14的底板与钼带压接销15之间，使U形托架14对钼带起支撑作用；在反射屏固定管1上设置有定位环板16，以定位及固定反射屏固定管1在反射屏上的位置。

Claims

1.一种高温真空钎焊炉中抗扭曲易拆装的加热钼带绝缘支撑座，包括反射屏固定管（1）、加热钼带的U形托架（14）和陶瓷套管，在陶瓷套管的外侧壁上设置有环形台阶，其特征在于，在反射屏固定管（1）顶端左侧管壁上，分别设置有管壁左上通孔（2）和管壁左下通孔，在反射屏固定管（1）顶端右侧管壁上，分别设置有管壁右上通孔（3）和管壁右下通孔，管壁左上通孔（2）与管壁右上通孔（3）是对应设置的，管壁左下通孔与管壁右下通孔是对应设置的，在管壁左上通孔（2）中嵌入有左上陶瓷套管（4），左上陶瓷套管（4）通过其上的环形台阶嵌入到管壁左上通孔（2）中，在管壁右上通孔（3）中嵌入有右上陶瓷套管（5），在管壁左下通孔中嵌入有左下陶瓷套管（7），在管壁右下通孔中嵌入有右下陶瓷套管（8）；在U形托架（14）的底板上分别连接有左T形支座板（10）和右T形支座板（13），在左T形支座板（10）上，分别设置有左T形支座板左上通孔（11）和左T形支座板左下通孔（12），在右T形支座板（13）上，分别设置有右T形支座板右上通孔和右T形支座板右下通孔；U形托架（14）设置在反射屏固定管（1）顶端的正上方，在左T形支座板左上通孔（11）、管壁左上通孔（2）、管壁右上通孔（3）和右T形支座板右上通孔之间，穿接有上支撑销（6），在左T形支座板左下通孔（12）、管壁左下通孔、管壁右下通孔和右T形支座板右下通孔之间，穿接有下支撑销（9）。

2.根据权利要求1所述的一种高温真空钎焊炉中抗扭曲易拆装的加热钼带绝缘支撑座，其特征在于，在U形托架（14）上设置有钼带压接销（15），钼带设置在U形托架（14）的底板与钼带压接销（15）之间，在反射屏固定管（1）上设置有定位环板（16）。